一种晶圆清洗设备的卡盘组件及使用方法和晶圆清洗设备技术

本发明专利技术公开了一种晶圆清洗设备技术领域的一种晶圆清洗设备的卡盘组件及使用方法和晶圆清洗设备，旨在解决现有技术中人为方式解除对晶圆的夹持会影响整体的清洗效率的问题。其包括依次连接的晶圆卡盘和夹持组件，所述夹持组件包括设置于晶圆卡盘底端的齿盘，所述齿盘的顶端两侧均固定安装有连接柱，所述连接柱的另一端与晶圆卡盘的底侧壁滑动连接，所述齿盘的两侧均传动连接有同步齿轮，所述同步齿轮的另一端固定安装有螺纹轴，所述螺纹轴的另一端螺纹安装有同步套；本发明专利技术适用于晶圆清洗设备，能够达到晶圆清洗前的夹持以及清洗完毕后晶圆夹持的自动解除的技术效果。晶圆夹持的自动解除的技术效果。晶圆夹持的自动解除的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆清洗设备的卡盘组件及使用方法和晶圆清洗设备


[0001]本专利技术涉及一种晶圆清洗设备的卡盘组件及使用方法和晶圆清洗设备，属于晶圆清洗设备


技术介绍

[0002]在晶圆清洗设备对晶圆进行清洗前，需要通过卡盘组件来对晶圆进行夹持固定。
[0003]现有的卡盘组件对夹持的固定多是通过离心力来实现的，这种夹持方式能够保证晶圆夹持的稳定性，由于是通过离心力来实现固定的，在完成清洗后，需要通过人为的方式来解除对晶圆的夹持，这就会影响整体的清洗效率，具有一定的局限性，可见，亟需一种晶圆清洗设备的卡盘组件。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种晶圆清洗设备的卡盘组件，包括依次连接的晶圆卡盘和夹持组件。
[0005]所述夹持组件包括设置于晶圆卡盘底端的齿盘，所述齿盘的顶端两侧均固定安装有连接柱，所述连接柱的另一端与晶圆卡盘的底侧壁滑动连接，所述齿盘的两侧均传动连接有同步齿轮，所述同步齿轮能够随齿盘同步转动，所述同步齿轮的另一端固定安装有螺纹轴，所述螺纹轴的另一端螺纹安装有同步套，所述同步套的另一端固定安装有夹持板，所述齿盘的中部开设有连接槽，所述连接槽的内侧插接有与驱动源相连接的驱动轴，所述螺纹轴的中部外表面活动安装有限位板，所述限位板的顶端与晶圆卡盘的底侧壁固定连接，所述同步套的顶端固定安装有稳定板，所述稳定板的另一端与晶圆卡盘的底侧壁滑动连接，所述夹持板两侧为圆角设置，所述夹持板的内侧顶端固定安装有限位条。
[0006]所述齿盘的底侧设置有用于限位驱动轴的限位机构。
[0007]所述晶圆卡盘与连接柱的接触处开设有弧形槽。
[0008]在一些实施例中，所述限位机构包括固定安装于齿盘底端的限位环，所述限位环的内部一侧转动安装有螺纹杆，所述螺纹杆的另一端螺纹安装有限位柱。
[0009]在一些实施例中，所述螺纹杆的中部外表面固定安装有联动齿轮，所述联动齿轮的顶端啮合连接有齿环，所述齿环的侧面固定安装有同步杆，所述同步杆的另一端贯穿限位环的内壁并活动安装有调节套，所述限位环与同步杆接触处开设有活动槽。
[0010]在一些实施例中，所述齿环的顶端两侧均固定安装有稳定柱，所述稳定柱的另一端与齿盘的底侧壁滑动连接，所述限位柱的顶端固定安装有稳定条，所述稳定条的另一端与齿盘的底侧壁滑动连接。
[0011]在一些实施例中，所述调节套与限位环螺纹连接，所述调节套与同步杆接触处开设有同步槽。
[0012]在一些实施例中，所述弧形槽的两侧均设置有用于保护连接柱的缓冲保护机构。
[0013]在一些实施例中，所述缓冲保护机构包括开设于弧形槽两侧的缓冲槽，所述缓冲
槽的内侧粘接有缓冲海绵。
[0014]在一些实施例中，所述缓冲保护机构还包括设置于弧形槽底端两侧的缓冲弧形板，所述缓冲弧形板相远离的一侧固定安装有弹簧柱，所述弹簧柱的另一端固定连接有支撑板，所述支撑板与晶圆卡盘固定连接。
[0015]本专利技术还提供一种晶圆清洗设备，包括上述的晶圆清洗设备的卡盘组件。
[0016]一种晶圆清洗设备的卡盘组件的使用方法，所述方法包括，将驱动轴通过连接槽与齿盘进行插接。
[0017]转动调节套，直至调节套处于相对于限位环的拧紧状态，以实现限位柱对驱动轴的限位。
[0018]将晶圆置于晶圆卡盘上，启动驱动源带动齿盘进行转动，齿盘会先相对于晶圆卡盘发生转动，以实现夹持组件对晶圆的夹持，完成夹持后，齿盘会带动晶圆卡盘同步转动，此时进行对晶圆的清洗。
[0019]当晶圆完成清洗时，驱动源不再给予动力，齿盘停止转动，由于惯性的原因，夹持组件会解除对晶圆的夹持。
[0020]与现有技术相比，本专利技术所达到的有益效果：1、通过设置夹持组件，当晶圆完成清洗时，驱动源不再给予动力，齿盘停止转动，由于惯性的原因，此时晶圆卡盘会相对于齿盘转动一定的距离，即连接柱由弧形槽的一端移动至弧形槽的另一端。在晶圆卡盘相对于齿盘转动的过程中，齿盘会带动同步齿轮朝着与夹持时相反的方向进行转动，螺纹轴随之转动，带动同步套进行移动，同步套随之带动夹持板朝着远离晶圆的方向移动，当齿盘结束与晶圆卡盘的相对移动时，夹持板恰好解除对晶圆的夹持，以实现清洗完毕后晶圆夹持的自动解除。
[0021]2、通过设置限位机构，在对驱动轴与齿盘之间的连接关系进行限位时，先将驱动轴通过连接槽与齿盘进行插接，而后转动调节套，同步杆带动齿环发生转动，齿环带动联动齿轮进行转动，螺纹杆随之带动限位柱朝着驱动轴处的孔进行移动，直至限位柱与驱动轴处的孔完全接触，此时调节套也已处于相对于限位环的拧紧状态，从而完成对驱动轴的限位，以保证驱动轴在驱动源作用下带动齿盘转动时的稳定性，使得在齿盘与驱动轴可拆卸的前提下，能够保证齿盘与驱动轴之间连接的稳定性，以此保证齿盘在驱动轴的作用下转动时的稳定性。
[0022]3、通过设置缓冲保护机构，能够在晶圆卡盘在惯性的作用下相对于夹持组件发生转动时，对连接柱进行缓冲保护，以保障连接柱及相关结构的使用寿命。
附图说明
[0023]图1是本专利技术一实施例的晶圆清洗设备的卡盘组件的结构示意图；图2是本专利技术图1中晶圆清洗设备的卡盘组件的结构正视示意图；图3是本专利技术图1中夹持组件的结构示意图；图4是本专利技术图3中夹持盘的结构示意图；图5是本专利技术图4中A处结构的放大示意图；图6是本专利技术图1中限位机构的结构示意图；图7是本专利技术图6中限位环的结构示意图；
图8是本专利技术图6中调节套的结构侧视剖面示意图；图9是本专利技术图1中缓冲保护机构的结构示意图；图10是本专利技术图1中缓冲保护机构的结构示意图；图11是本专利技术驱动轴的结构示意图。
[0024]图中：1、晶圆卡盘；101、弧形槽；2、夹持组件；201、齿盘；202、连接柱；203、同步齿轮；204、螺纹轴；205、同步套；206、夹持板；207、连接槽；208、驱动轴；209、限位板；210、稳定板；211、限位条；3、限位机构；301、限位环；302、螺纹杆；303、限位柱；304、联动齿轮；305、齿环；306、同步杆；307、调节套；308、稳定柱；309、稳定条；310、同步槽；311、活动槽；4、缓冲保护机构；401、缓冲槽；402、缓冲海绵；403、缓冲弧形板；404、弹簧柱；405、支撑板。
具体实施方式
[0025]下面结合附图对本专利技术作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本专利技术的技术方案，而不能以此来限制本专利技术的保护范围。
[0026]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、
ꢀ“
底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗设备的卡盘组件，其特征在于：包括依次连接的晶圆卡盘（1）和夹持组件（2）；所述夹持组件（2）包括设置于晶圆卡盘（1）底端的齿盘（201），所述齿盘（201）的顶端两侧均固定安装有连接柱（202），所述连接柱（202）的另一端与晶圆卡盘（1）的底侧壁滑动连接，所述齿盘（201）的两侧均传动连接有同步齿轮（203），所述同步齿轮（203）能够随齿盘（201）同步转动，所述同步齿轮（203）的另一端固定安装有螺纹轴（204），所述螺纹轴（204）的另一端螺纹安装有同步套（205），所述同步套（205）的另一端固定安装有夹持板（206），所述齿盘（201）的中部开设有连接槽（207），所述连接槽（207）的内侧插接有与驱动源相连接的驱动轴（208），所述螺纹轴（204）的中部外表面活动安装有限位板（209），所述限位板（209）的顶端与晶圆卡盘（1）的底侧壁固定连接，所述同步套（205）的顶端固定安装有稳定板（210），所述稳定板（210）的另一端与晶圆卡盘（1）的底侧壁滑动连接，所述夹持板（206）两侧为圆角设置，所述夹持板（206）的内侧顶端固定安装有限位条（211）；所述晶圆卡盘（1）与连接柱（202）的接触处开设有弧形槽（101）；所述齿盘（201）的底侧设置有用于限位驱动轴（208）的限位机构（3）。2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗设备的卡盘组件，其特征在于：所述限位机构（3）包括固定安装于齿盘（201）底端的限位环（301），所述限位环（301）的内部一侧转动安装有螺纹杆（302），所述螺纹杆（302）的另一端螺纹安装有限位柱（303）。3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗设备的卡盘组件，其特征在于：所述螺纹杆（302）的中部外表面固定安装有联动齿轮（304），所述联动齿轮（304）的顶端啮合连接有齿环（305），所述齿环（305）的侧面固定安装有同步杆（306），所述同步杆（306）的另一端贯穿限位环（301）的内壁并活动安装有调节套（307），所述限位环（301）与同步杆（306）接触处开设有活动槽（311）。4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗设备的卡盘组件...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵天祥，蔡超，
申请(专利权)人：智程半导体设备科技昆山有限公司，
类型：发明
国别省市：