本发明专利技术公开了一种具有监测功能的晶圆清洗设备，属于晶圆清洗设备技术领域，包括稳定机构、接通管、切换机构、管路组、遮挡机构、传动机构、连通管和清洗容器稳定机构内装有晶圆，稳定机构内设置有阻尼组件，通过阻尼组件对运送过程起到稳定作用，稳定机构放置在清洗容器内，接通管内装有待清洗的晶圆，清洗容器下侧安装有接通管，接通管与传动机构连接，管路组安装在清洗容器内侧，遮挡机构安装在管路组上，传动机构为遮挡机构的运动提供动力，连通管安装在传动机构上，通过连通管向管路组内注入药液，清洗容器侧面装有转速检测仪用来检测连通管的转速，切换机构安装在连通管上，通过切换机构实现控制药液是否能从连通管流入管路组中。路组中。路组中。
【技术实现步骤摘要】
一种具有监测功能的晶圆清洗设备
[0001]本专利技术涉及晶圆清洗设备
，特别涉及一种具有监测功能的晶圆清洗设备。
技术介绍
[0002]在晶圆制造工艺中，对晶圆进行的处理包括研磨、腐蚀、氧化、淀积、光刻、刻蚀、离子注入等工艺，在相关工艺完成之后，需要对晶圆进行清洗以去除晶圆表面的残留物。
[0003]晶圆进行清洗前，将晶圆装载到花篮内，之后利用机械手移动花篮，将花篮放入到清洗容器内，最后对晶圆进行清洗。
[0004]晶圆在清洗过程中可能会产生碎片，晶圆发生碎片后，可能回落到花篮中，也可能卡在相邻晶圆之间或掉落到花篮底部与清洗槽底面之间的空间内，若不及时发现并处理，会对花篮、清洗机台产生损害，且破损的碎片会刮伤后续的晶圆，降低晶圆的合格率。
[0005]现有的监测方法是：在晶圆进入清洗槽之前，利用设置在机械手上的激光检测器对晶圆进行检测，得到初始检测信号；在晶圆清洗完毕从清洗槽中取出后，再次对晶圆进行检测，得到二次检测信号，将二次检测信号与初始检测信号进行对比分析，若不一致则表示有碎片产生。但晶圆的碎片一般发生在清洗过程中，若等清洗完成后再进行检测，产生的碎片在清洗槽中滞留的时间较长，而碎片滞留的时间越长，对花篮、清洗机台产生的伤害越大。
[0006]公开号为CN105789096A的中国专利技术专利公开了一种晶圆清洗设备，该专利技术的技术方案为：包括清洗单元、刷洗单元、甩干单元及机械手，该设备包括至少一个清洗单元、至少两个刷洗单元及至少一个甩干单元，清洗单元、刷洗单元、甩干单元依次排列，各单元之间的距离与机械手的行程配合设置；清洗单元上设置有清洗旋转轮，该清洗旋转轮使晶圆竖向设置；刷洗单元上设置有刷洗旋转轮，该刷洗旋转轮使晶圆竖向设置；甩干单元上设置有固定块，固定块和固定爪安装在升降台上，固定块和固定爪抓紧晶圆，该固定块使晶圆水平设置。但是该专利技术无法实现对清洗过程中的药液液面进行监测，无法实现药液液面准确达到指定高度，当药液液面未达到指定高度时停止注入药液会造成清洗过程的不充分，当药液液面达到指定高度后仍未停止注入药液时，会造成清洗液的浪费，因此针对该缺陷专利技术了一种具有监测功能的晶圆清洗设备。
技术实现思路
[0007]针对上述技术问题，本专利技术的技术方案为，一种具有监测功能的晶圆清洗设备，所述的清洗容器内侧安装有管路组，所述的管路组与连通管连通，清洗药液通过连通管流入管路组中，管路组外表面设置有出水口，所述的切换机构侧面安装有接通管，接通管内安装有活塞结构，所述的接通管与传动机构连接，通过清洗容器内的药液推动接通管内的活塞结构为传动机构提供动力来源，传动机构与遮挡机构连接，传动机构带动遮挡机构将管路组的出水口遮挡住。
[0008]所述的切换机构设置有连接短管和弹簧杆，所述的管路组设置有十字管；所述的弹簧杆由一段竖轴和一个半球形突起构成，弹簧杆竖轴外表面安装有弹性部件一；弹簧杆的半球形突起焊接在竖轴上侧，所述的连接短管由一段圆筒和一块挡片焊接而成，连接短管圆筒固定安装在十字管侧面，药液从十字管流入管路组内，连接短管挡片侧面转动安装在连通管侧面，弹簧杆的半球形突起滑动安装在连接短管挡片靠近连通管的侧面，所述的连通管靠近连接短管挡片的一端设置有半圆形孔洞，弹簧杆半球形突起与连接短管圆筒内壁直径相等，通过弹性部件一带动弹簧杆半球形突起运动，通过弹簧杆半球形突起的运动与连接短管圆筒结构的配合实现控制药液是否能从连通管流入管路组中。
[0009]进一步的，所述的弹簧杆的半球形突起与连通管的半圆形孔洞半径相等。
[0010]进一步的，所述的连通管的半圆形孔洞与连接短管挡片相接，所述的连通管转动安装在连接短管挡片侧面。
[0011]进一步的，当连通管的半圆形孔洞与弹簧杆的半球形突起相通时，在弹簧杆的弹性部件一的作用下弹簧杆进入连通管内部，当弹性部件一稳定时弹簧杆的半球形突起与连接短管的圆筒同轴心，进而实现将连接短管的圆筒封闭。
[0012]进一步的，所述的连通管的内壁直径大于连接短管圆筒内壁直径，所述的连通管的外壁直径小于连接短管挡片直径。
[0013]进一步的，所述的十字管由四段直径相等的圆筒焊接成十字形状，所述的连接短管圆筒内壁直径小于十字管圆筒内壁直径，所述的十字管的四段圆筒相互贯通。
[0014]进一步的，所述十字管的一段圆筒被封堵住，十字管一段圆筒与双排孔管连通，十字管一段圆筒与单排孔管连通。
[0015]进一步的，所述的双排孔管外表面设置有两段出水口，所述的单排孔管设置有一段出水口。
[0016]进一步的，所述的双排孔管和单排孔管的出水孔是倾斜的，所述的双排孔管和单排孔管的出水孔朝向清洗容器中心位置倾斜。
[0017]进一步的，清洗容器侧面装有转速检测仪，转速检测仪用来检测连通管的转速，通过检测连通管的转速判断清洗容器是否有破损处。
[0018]本专利技术与现有技术相比的有益效果是：(1)通过设置平稳机构避免机械手移动花篮的过程中发生碰撞而造成的损坏；(2)通过设置液位检测机构，避免药液喷洒不充足而造成的清洗不彻底与药液喷洒过多而造成的铺张浪费；(3)通过设置同步推动机构，在液面升高的过程中逐渐对出水口进行封闭，当液面升至没过花篮的高度后将出水口全部关闭，从而避免空气进入水管而对药液造成污染；(4)通过转速检测仪检测连通管的转速来判断清洗容器是否有破损。
附图说明
[0019]图1为本专利技术总体结构示意图。
[0020]图2为本专利技术花篮与晶圆盛放盒连接关系示意图。
[0021]图3为本专利技术阻尼组件总体结构示意图。
[0022]图4为本专利技术阻尼组件侧视图。
[0023]图5为图4中阻尼组件A
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A方向剖视图。
[0024]图6为本专利技术花篮与下层盘连接关系示意图。
[0025]图7为本专利技术管路组与清洗容器连接关系示意图。
[0026]图8为本专利技术接通管与清洗容器连接关系示意图。
[0027]图9为本专利技术单排孔管正视图。
[0028]图10为图9中单排孔管B
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B方向剖视图。
[0029]图11为图10中单排孔管B
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B方向剖视图A处局部放大示意图。
[0030]图12为本专利技术遮挡机构总体结构示意图。
[0031]图13为图12中遮挡机构总体结构B处局部放大示意图。
[0032]图14为图12中遮挡机构总体结构C处局部放大示意图。
[0033]图15为本专利技术清洗容器总体结构示意图。
[0034]图16为图15中清洗容器总体结构D处局部放大示意图。
[0035]图17为本专利技术双排孔管与连通管连接关系示意图。
[0036]图18为图17中双排孔管与连通管连接关系E处局部放大示意图。
[0037]图19为本专利技术传动机构总体结构示意图。
[0038]图20为图19中传动机构总体结构F处局部放大示意图。
[0039]图本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有监测功能的晶圆清洗设备，包括，连通管(7)和清洗容器(8)，其特征在于：还包括切换机构(3)和传动机构(6)，所述的清洗容器(8)内侧安装有管路组(4)，所述的管路组(4)与连通管(7)连通，清洗药液通过连通管(7)流入管路组(4)中，管路组(4)外表面设置有出水口，所述的切换机构(3)侧面安装有接通管(2)，接通管(2)内安装有活塞结构，所述的接通管(2)与传动机构(6)连接，通过清洗容器(8)内的药液推动接通管(2)内的活塞结构为传动机构(6)提供动力来源，传动机构(6)与遮挡机构(5)连接，传动机构(6)带动遮挡机构(5)将管路组(4)的出水口遮挡住；所述的切换机构(3)设置有连接短管(301)和弹簧杆(302)，所述的管路组(4)设置有十字管(401)；所述的弹簧杆(302)由一段竖轴和一个半球形突起构成，弹簧杆(302)竖轴外表面安装有弹性部件一；弹簧杆(302)的半球形突起焊接在竖轴上侧，所述的连接短管(301)由一段圆筒和一块挡片焊接而成，连接短管(301)圆筒固定安装在十字管(401)侧面，药液从十字管(401)流入管路组(4)内，连接短管(301)挡片侧面转动安装在连通管(7)侧面，弹簧杆(302)的半球形突起滑动安装在连接短管(301)挡片靠近连通管(7)的侧面，所述的连通管(7)靠近连接短管(301)挡片的一端设置有半圆形孔洞，弹簧杆(302)半球形突起与连接短管(301)圆筒内壁直径相等，通过弹性部件一带动弹簧杆(302)半球形突起运动，通过弹簧杆(302)半球形突起的运动与连接短管(301)圆筒结构的配合实现控制药液是否能从连通管(7)流入管路组(4)中。2.根据权利要求1所述的一种具有监测功能的晶圆清洗设备，其特征在于：所述的弹簧杆(302)的半球形突起与连通管(7)的半圆形孔洞半径相等。3.根据权利要求2所述的一种具有监测功能的晶圆清洗设备，其特征在于：所述的连通管(7)的半圆形孔洞...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙先淼，吴求，
申请(专利权)人：智程半导体设备科技昆山有限公司，
类型：发明
国别省市：
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