外延片挤捏式移栽工具制造技术

本实用新型专利技术揭示了一种外延片挤捏式移栽工具，包括夹持机构，包括相对设置的两个活动夹臂，两个所述夹臂之间形成有外延片的夹持空间，每一夹臂内侧设置有柔性接触部，且柔性接触部具有弧形轮廓，所述弧形轮廓与所述外延片的周缘部吻合；驱动机构，包括驱动杆，驱动杆与旋转轴连接，并可绕所述旋转轴转动，且驱动杆还通过传动机构分别与两个所述夹臂传动配合，使两个所述夹臂能够随驱动杆的转动而相向移动或相背移动。本实用新型专利技术提供的外延片挤捏式移栽工具，对外延片的侧周边进行夹持，这样不会对外延片的上下表面造成损伤，而且在对侧周边进行夹持时，并通过驱动杆与传动机构配合，能够更好的用力操作，不用将工具从外延片的底面插入进行夹持。面插入进行夹持。面插入进行夹持。

【技术实现步骤摘要】
外延片挤捏式移栽工具


[0001]本技术属于晶片夹具
，具体涉及一种外延片挤捏式移栽工具。

技术介绍

[0002]外延片是在衬底上做好外延层的硅片，因有些制造商只做外延之后的工艺生产，所以购买做好外延工艺的外延片来接着做后续工艺。在制作好外延片进行转移的时候，现有的通常是使用镊子夹取外延片，这种镊子有的时候不能很好的夹持外延片，外延片在夹持转移的过程中会发生晃动。如果在外延片发生晃动的过程中，大镊子的夹持力，在操作中会发生使一些外延片表层的表层划伤、衬底的表层产生凹坑或者外延片的表层受损等现象。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的在于提供一种外延片挤捏式移栽工具，以克服现有技术中存在的不足。
[0004]为实现前述目的，本技术实施例采用的技术方案包括：
[0005]本技术实施例提供了一种外延片挤捏式移栽工具，其特征在于，包括：
[0006]夹持机构，包括相对设置的两个活动夹臂，两个所述夹臂之间形成有外延片的夹持空间，每一夹臂内侧设置有柔性接触部，所述柔性接触部具有弧形轮廓，所述弧形轮廓与所述外延本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种外延片挤捏式移栽工具，其特征在于，包括：夹持机构，包括相对设置的两个活动夹臂，两个所述夹臂之间形成有外延片的夹持空间，每一夹臂内侧设置有柔性接触部，所述柔性接触部具有弧形轮廓，所述弧形轮廓与所述外延片的周缘部吻合；驱动机构，包括驱动杆，所述驱动杆与旋转轴连接，并可绕所述旋转轴转动，且所述驱动杆还通过传动机构分别与两个所述夹臂传动配合，使两个所述夹臂能够随所述驱动杆的转动而相向移动或相背移动。2.根据权利要求1所述的外延片挤捏式移栽工具，其特征在于：所述传动机构包括齿轮传动机构、连杆传动机构或弹性传动机构。3.根据权利要求1或2所述的外延片挤捏式移栽工具，其特征在于：所述传动机构包括齿轮和齿条；所述齿条设置在所述夹臂上，并与齿轮啮合；所述齿轮套设在所述旋转轴上，并与所述驱动杆连接，且能与所述驱动杆同步转动。4.根据权利要求1所述的外延片挤捏式移栽工具，其特征在于，还包括机架，所述旋转轴设置在所述机架上。5.根据权利要求1所述的外延片挤捏...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡雨，戴冬云，
申请(专利权)人：江苏第三代半导体研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：