下载外延片挤捏式移栽工具的技术资料

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本实用新型揭示了一种外延片挤捏式移栽工具,包括夹持机构,包括相对设置的两个活动夹臂,两个所述夹臂之间形成有外延片的夹持空间,每一夹臂内侧设置有柔性接触部,且柔性接触部具有弧形轮廓,所述弧形轮廓与所述外延片的周缘部吻合;驱动机构,包括驱动杆,...
该专利属于江苏第三代半导体研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏第三代半导体研究院有限公司授权不得商用。

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