一种石墨舟及气相沉积设备制造技术

本申请实施例提供一种石墨舟及气相沉积设备，涉及光伏电池生产设备领域。石墨舟包括两个上下、间隔设置的电极块，每个电极块上均电连接有不少于两片的舟页，两个电极块上连接的所有舟页交错、间隔设置；两个电极块上还分别插设有至少两个、且数量相同的电极头，每个电极头与对应的电极块之间电连接。当石墨舟工作时，每个电极头上通过的电流较小，但是通入石墨舟的总电流不变，能减小电极头与石墨舟之间的电场强度，降低电极头和电极块之间的Si

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟及气相沉积设备


[0001]本申请涉及光伏电池生产设备领域，具体而言，涉及一种石墨舟及气相沉积设备。

技术介绍

[0002]在光伏太阳能电池生产制造过程中，通常会使用等离子体增强化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)将Si或N等原子电离，从而使两者发生反应，在硅片上沉积出想要的Si
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薄膜，以达到钝化和减反射目的。在PECVD制备Si
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薄膜时，一般是以石墨舟作为反应场所，强电流通过电极头和电极块导入到石墨舟中，石墨舟的舟片之间存在一定间隙，能产生适合Si
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薄膜沉积的强电场。
[0003]但由于石墨舟中的电极头和电极块之间同样也存在间隙，也能产生电场，Si
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薄膜也会在电极头和舟孔之间沉积，这会导致该位置导电性能变差，容易使石墨舟发生打弧现象，需要经常更换或清理电极头，影响生产效率。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供一种石墨舟及气相沉积设备，能极大地减少电极头和电极块之间沉积产生的Si
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的量，既能减少石墨舟发生打弧现象，又能降低更换或清理电极头的频率，从而提升生产效率。
[0005]第一方面，本申请实施例提供了一种石墨舟，其包括两个上下、间隔设置的电极块，每个电极块上均电连接有不少于两片的舟页，两个电极块上连接的所有舟页交错、间隔设置；两个电极块上还分别插设有至少两个、且数量相同的电极头，每个电极头与对应的电极块之间电连接。
[0006]在上述实现过程中，由于电极块是上下、间隔设置的，因此两个电极块上可以通过电极头分别与外接电源的正负极相连接，这样两个电极块上就可以分别带有正、负电荷了，连接在不同电极块上的舟页也会带有不同的电荷；而且由于两个电极块上连接的舟页之间是交错、间隔设置的，相邻的舟页之间会形成电场，能在电场中沉积生成Si
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薄膜。
[0007]而且由于每个电极块上设有不少于两个电极头，当石墨舟工作时，相同的电极块上的电极头之间会形成并联电路，此时每个电极头上通过的电流较小，但是通入石墨舟的总电流不变。当电极头上流通的电流小时，电极头和电极块之间产生的电场的强度就会减小，Si
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就更不容易在电极头和电极块之间积累。
[0008]在一种可能的实现方式中，每个电极头远离电极块的一端还设置有电极杆，电极杆的其中一端与电极头连接，且电极杆的外部套设有弹性件，弹性件的其中一端与电极头抵接。
[0009]在上述实现过程中，电流通过电极杆传导至电极头上，并通过电极头传导至石墨舟中，保证石墨舟能正常工作；位于限位件和电极头之间的弹性件能很好地起到缓冲作用，减少电极杆和电极头之间的损耗，延长石墨舟的使用寿命。
[0010]在一种可能的实现方式中，电极杆远离电极头的一端还设有用于防止弹性件掉落
的限位件。
[0011]在上述实现过程中，在电极杆远离电极头的一端设置限位件，能防止电极杆上的弹性件掉落。
[0012]在一种可能的实现方式中，电极头的内部还设有用于连接电极杆的连接槽。
[0013]在上述实现过程中，在电极头的内部设置连接槽，方便电极杆插入到电极头中，保证电极杆能更好地固定在电极头上，不容易掉落。
[0014]在一种可能的实现方式中，每个电极头插入电极块内部的区域为插接段，位于电极块的外部的区域为连接段；且每个电极块的内部均设有若干条与电极头相对应的通道，每个电极头的插接段插入相对应通道并与电极块之间电连接。
[0015]在上述实现过程中，每个电极块的通道内都插设有电极头的插接段，这样能保证电极头和电极块之间形成电连接；电极头的连接段能为导体提供安装位点。
[0016]在一种可能的实现方式中，每个电极头为圆柱形，且电极头上的插接段的直径小于连接段的直径。
[0017]在上述实现过程中，插接段的直径小于连接段的直径，能更好的和石墨舟电极孔形成锥面接触。
[0018]在一种可能的实现方式中，同一个电极块上的所有的电极头之间相互平行。
[0019]在上述实现过程中，相同电极头之间相互平行，能很好地保证电极头之间不会相互接触，这样就避免了电极头之间形成通路，有利于减少每个电极头上的电流，减少Si
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在电极头和电极块之间的沉积。
[0020]在一种可能的实现方式中，所有舟页之间相互平行，相邻的舟页之间的距离为11～12mm。
[0021]在上述实现过程中，相邻的舟页之间距离太小会导致电场强度变化，薄膜均匀性差，且对设备装卸片要求变高，太大也会导致生成的薄膜均匀性不好。
[0022]在一种可能的实现方式中，每片舟页的面积为3220～4958cm2。
[0023]在上述实现过程中，舟页的面积太大会影响石墨舟的延展性能，导致舟叶形变，太小会导致产出低，因此需要控制在合适的范围内。
[0024]第二方面，本申请实施例提供了一种气相沉积设备，其包括壳体、电源和上述的石墨舟，石墨舟位于壳体的内部，电源的正、负极通过电极头分别与两个电极块电连接。
[0025]在上述实现过程中，含有上述石墨舟的气相沉积设备，能保证石墨舟上沉积出Si
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薄膜，而且既能减少石墨舟发生打弧现象，又能降低电极头的更换或清理频率；将石墨舟放在壳体内，能降低石墨舟由于碰撞而发生损坏的概率。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0027]图1为本申请实施例提供的一种石墨舟的结构示意图；
[0028]图2为本申请实施例提供的电极杆和电极头连接时的结构示意图；
[0029]图3为本申请实施例提供的弹性件压缩时的结构示意图。
[0030]图标：001
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石墨舟；100
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电极块；110
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通道；200
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电极头；210
‑
插接段；220
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连接段；221
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连接槽；230
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过渡段；300
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电极杆；310
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插接杆；320
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限位件；330
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弹性件；400
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舟页。
具体实施方式
[0031]下面将结合本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟，其特征在于，其包括两个上下、间隔设置的电极块，每个所述电极块上均电连接有不少于两片的舟页，两个所述电极块上连接的所有所述舟页交错、间隔设置；两个所述电极块上还分别插设有至少两个、且数量相同的电极头，每个所述电极头与对应的所述电极块之间电连接。2.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，每个所述电极头远离所述电极块的一端还设置有电极杆，所述电极杆的其中一端与所述电极头连接，且所述电极杆的外部套设有弹性件，所述弹性件的其中一端与所述电极头抵接。3.根据权利要求2所述的石墨舟，其特征在于，所述电极杆远离所述电极头的一端还设有用于防止所述弹性件掉落的限位件。4.根据权利要求2所述的石墨舟，其特征在于，所述电极头的内部还设有用于连接所述电极杆的连接槽。5.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，每个所述电极头插入所述电极块内部的区域为插接段，位于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊记伟，王亚楠，李继跃，
申请(专利权)人：通威太阳能眉山有限公司，
类型：新型
国别省市：