【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，尤其涉及一种尾气处理装置及半导体生产设备。
技术介绍
1、在半导体的生产中，为了控制半导体中特定区域内杂质的类型、浓度及pn结，通常采用扩散工艺来实现，例如，将bcl3、n2、o2等气体通入扩散设备以在硼与磷衬底之间完成扩散并形成pn结，在此过程中，扩散设备将会产生尾气如bcl3、b2o3、cl2、n2、o2等，为了保证扩散设备继续进行扩散工艺，需通过动力泵抽出尾气，但是，由于b2o3遇水极易腐蚀动力泵，因此，在扩散设备内的尾气在通过动力泵之前，需进行冷凝以除去如b2o3等气体对动力泵有腐蚀作用的尾气。
2、相关技术中，在扩散设备与动力泵之间设置冷凝管，冷凝管内设置有冷凝剂，冷凝剂能够将尾气如b2o3等具有腐蚀的气体冷凝于冷凝管内，但是，由于在实际生产过程中，随着扩散工艺的持续进行，冷凝管内冷凝的尾气将会越来越多，从而缩小了冷凝管的冷凝空间以影响冷凝管的冷凝效果，进而使得部分尾气无法冷凝于冷凝管内而是被动力泵抽出以对动力泵造成腐蚀损伤，影响了动力泵的使用寿命。
技术实现思路
1、针对现有技术中上述不足，本技术提供了一种尾气处理装置及半导体生产设备，能够持续对尾气进行冷凝，从而延长动力泵的使用寿命。
2、为了解决上述技术问题，第一方面，本技术提供了一种尾气处理装置，尾气处理装置包括：
3、液冷箱，所述液冷箱内盛装有一定量的冷却水，所述液冷箱上设置有进液口和排液口；
4、进气管，所述进气管的一端伸入所述液冷箱内并位于所述
5、出气管，所述出气管伸入所述液冷箱内且位于所述冷却水的液面上方；
6、动力泵，所述动力泵与所述出气管连通，以将经过所述冷却水的尾气抽出。
7、在第一方面可能的实现方式中，所述尾气处理装置还包括ph检测器，用于检测进入所述出气管的尾气的ph值；
8、所述进液口和所述排液口上均设置有与所述ph检测器电连接的控制阀，所述控制阀能够根据所述ph值控制所述进液口和所述排液口的打开或关闭。
9、在第一方面可能的实现方式中，所述ph检测器设置于所述液冷箱内且位于所述冷却水的液面上方，或，所述ph检测器设置于所述出气管靠近所述液冷箱的端部。
10、在第一方面可能的实现方式中，所述进液口靠近所述液冷箱的顶部设置，所述排液口靠近所述液冷箱的底部设置。
11、在第一方面可能的实现方式中，所述尾气处理装置还包括反回流件，所述反回流件设置于所述进气管，以阻止所述液冷箱内的所述冷却水通过所述进气管反向流出。
12、在第一方面可能的实现方式中，所述进气管包括第一进气管和第二进气管，所述第二进气管位于所述液冷箱内且沿所述液冷箱的高度方向延伸至所述冷却水的液面下方；
13、所述反回流件为反回流管，所述反回流管沿所述液冷箱的高度方向延伸，所述反回流管的两端分别与所述第一进气管和所述第二进气管连接，所述反回流管的直径为d1，所述进气管的直径为d2，d1≥3d2。
14、在第一方面可能的实现方式中，所述反回流件包括导向片，所述导向片的四周侧壁与所述进气管的内壁密封贴合，所述导向片沿所述进气管的径向具有第一端和第二端，所述第一端在所述液冷箱的高度方向上高于所述第二端，且所述第一端与所述进气管的内壁转动连接，以使进入所述进气管内的所述尾气能够推动所述导向片朝向所述冷却水的方向转动。
15、在第一方面可能的实现方式中，所述液冷箱包括防护箱以及设置于所述防护箱内的溶液箱，所述溶液箱用于盛放冷却水。
16、在第一方面可能的实现方式中，在所述防护箱与溶液箱之间设置有沙土层，所述沙土层用于吸收溶液箱外漏的冷却水。
17、第二方面，本技术提供了一种半导体生产设备，半导体生产设备包括第一方面中任一项所述的尾气处理装置。
18、与现有技术相比，本申请至少具有如下有益效果：
19、在本申请中，由于进气管的一端伸入液冷箱内并位于冷却水的液面下方、另一端用于与扩散设备的排气口连通，动力泵与出气管连通，因此，当扩散设备进行扩散工艺时，扩散设备排出的尾气通过进气管导入至冷却水中，以对尾气中的部分(例如bcl3、b2o3、cl2)进行冷却和溶解，然后将其他的尾气如n2、o2通过出气管排出至液冷箱外部，可见，溶解于冷却水中的部分尾气能够被回收，既能节约能源，又能减少环境的污染，另外，当冷却水中溶解的部分尾气的浓度较高时，也即是说，冷却水溶解尾气达到饱和时，将液冷箱中的已饱和的冷却水通过排液口排出，并通过进液口注入新的冷却水，以保证尾气处理装置的处理效果，另外，由于尾气中的部分尾气能够溶解于水，因此，能够阻止因尾气冷却不到位而造成尾气对动力泵的腐蚀，从而提高了动力泵的使用寿命。
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1.一种尾气处理装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述尾气处理装置还包括pH检测器，用于检测进入所述出气管的尾气的pH值；
3.根据权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于，所述pH检测器设置于所述液冷箱内且位于所述冷却水的液面上方，或，所述pH检测器设置于所述出气管靠近所述液冷箱的端部。
4.根据权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于，所述进液口靠近所述液冷箱的顶部设置，所述排液口靠近所述液冷箱的底部设置。
5.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述尾气处理装置还包括反回流件，所述反回流件设置于所述进气管，以阻止所述液冷箱内的所述冷却水通过所述进气管反向流出。
6.根据权利要求5所述的尾气处理装置，其特征在于，所述进气管包括第一进气管和第二进气管，所述第二进气管位于所述液冷箱内且沿所述液冷箱的高度方向延伸至所述冷却水的液面下方；
7.根据权利要求5所述的尾气处理装置，其特征在于，所述反回流件包括导向片，所述导向片的四周侧壁与所述进气管的内壁密封贴合，所
8.根据权利要求1-7任一项所述的尾气处理装置，其特征在于，
9.根据权利要求8所述的尾气处理装置，其特征在于，在所述防护箱与溶液箱之间设置有沙土层，所述沙土层用于吸收溶液箱外漏的冷却水。
10.一种半导体生产设备，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的尾气处理装置。
...【技术特征摘要】
1.一种尾气处理装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述尾气处理装置还包括ph检测器，用于检测进入所述出气管的尾气的ph值；
3.根据权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于，所述ph检测器设置于所述液冷箱内且位于所述冷却水的液面上方，或，所述ph检测器设置于所述出气管靠近所述液冷箱的端部。
4.根据权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于，所述进液口靠近所述液冷箱的顶部设置，所述排液口靠近所述液冷箱的底部设置。
5.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述尾气处理装置还包括反回流件，所述反回流件设置于所述进气管，以阻止所述液冷箱内的所述冷却水通过所述进气管反向流出。
6.根据权利要求5所述的尾气处理装置，其特征在于，所述进气管包括第一进气...
【专利技术属性】
技术研发人员：王凯，
申请(专利权)人：通威太阳能眉山有限公司，
类型：新型
国别省市：
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