下载一种石墨舟及气相沉积设备的技术资料

文档序号:34862591

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本申请实施例提供一种石墨舟及气相沉积设备,涉及光伏电池生产设备领域。石墨舟包括两个上下、间隔设置的电极块,每个电极块上均电连接有不少于两片的舟页,两个电极块上连接的所有舟页交错、间隔设置;两个电极块上还分别插设有至少两个、且数量相同的电极头...
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