一种单晶硅片自动装篮装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅片自动装篮装置，包括：滚筒线；定位机构，设置于滚筒线的传输末端；插片台，设置于定位机构远离滚筒线的一侧；抓取插片机构，设置于定位机构与插片台之间；料篮搬运机构，设置于插片台的上方。本实用新型专利技术的自动装篮装置可实现单晶硅片的自动装篮，有效降低了工人的劳动强度，装篮效率高。高。高。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片自动装篮装置


[0001]本技术涉及单晶硅片脱胶
，尤其涉及一种单晶硅片自动装篮装置。

技术介绍

[0002]单晶硅片的生产过程中，是将半导体晶圆粘接到料座上，然后通过切割设备将其切割成硅片，再进行加热脱胶处理，将硅片从料座上脱下。硅片完成脱胶后，需将硅片装入料篮内，以方便后续的自动化加工处理。人工进行硅片装篮，不仅效率低，而且工人的劳动强度大。

技术实现思路

[0003]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种可实现单晶硅片的自动装篮，有效降低工人劳动强度，装篮效率高的单晶硅片自动装篮装置。
[0004]本技术提供的一种单晶硅片自动装篮装置，包括：
[0005]滚筒线；
[0006]定位机构，设置于所述滚筒线的传输末端，用于对硅片进行定位；
[0007]插片台，设置于所述定位机构远离滚筒线的一侧，所述插片台的顶面远离所述定位机构的一侧设置有若干第一定位座，所述第一定位座上放置有空的料篮，所述若干第一定位座的一侧设置有若干第二定位座，用于放置装满后的所述料篮，所述插片台的顶面靠近所述定位机构的一侧设置有至少一个第三定位座，用于放置所述料篮供装篮；
[0008]抓取插片机构，设置于所述定位机构与插片台之间，用于抓取所述定位机构上的硅片，并将其插入所述第三定位座上的料篮内；
[0009]料篮搬运机构，设置于所述插片台的上方，用于将所述第一定位座上的空料篮搬运至所述第三定位座，以及将所述第三定位座上装满的料篮搬运至所述第二定位座。
[0010]进一步的，所述定位机构包括设置于所述滚筒线传输末端的空位槽，所述空位槽的宽度小于所述硅片的宽度，所述空位槽的两侧对称的设置有若干传送辊，所述传送辊的顶面高出所述空位槽，所述空位槽的两侧对称的设置有第一安装架，所述第一安装架的一侧设置有驱动其沿靠近或远离所述空位槽的方向移动的第一驱动气缸，所述第一安装架上安装有侧限位滚轮，用于对所述硅片的两侧进行限位，所述空位槽远离所述滚筒线的一端设置有第二安装架，所述第二安装架的一侧设置有驱动其沿靠近或远离所述空位槽的方向移动的第二驱动气缸，所述第二安装架上安装有端限位滚轮，用于对所述硅片的移动末端进行限位。
[0011]进一步的，所述抓取插片机构包括升降气缸，所述升降气缸的顶端固定连接有三轴机械臂，所述三轴机械臂远离所述升降气缸的一端连接有抓取架，所述抓取架的宽度小于所述空位槽的宽度，所述抓取架的顶面均布有若干真空吸孔，所述真空吸孔通过软管连接至真空泵或真空发生器。
[0012]进一步的，所述料篮搬运机构包括两条平行设置的X轴，两条所述X轴之间传动连
接有Y轴，所述Y轴的一侧传动连接有Z轴，所述Z轴的底端通过连接架传动连接有气动夹手。
[0013]进一步的，所述料篮包括篮体，所述篮体的一侧设置有装篮开口，所述篮体内位于所述装篮开口的两侧对称的设置有若干插片槽。
[0014]进一步的，所述第三定位座设置有两个。
[0015]相对于现有技术而言，本技术的有益效果是：
[0016]本技术的自动装篮装置设置有滚筒线、定位机构、插片台、抓取插片机构和料篮搬运机构。进行硅片装篮作业时，硅片经滚筒线传输至定位机构后，对硅片进行定位。然后抓取插片机构将定位机构上的硅片抓起并插入插片台上的料篮内。料篮装满后，料篮搬运机构将满料篮搬运走，再将新的空料篮搬运过来，继续插片装篮作业。作业连续性好，自动化程度高，降低了工人的劳动强度，装篮作业效率高。
[0017]应当理解，
技术实现思路
部分中所描述的内容并非旨在限定本技术的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本技术的范围。本技术的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。
附图说明
[0018]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0019]图1为单晶硅片自动装篮装置的结构示意图；
[0020]图2为定位机构的结构示意图；
[0021]图3为插片台的结构示意图；
[0022]图4为抓取插片机构的结构示意图；
[0023]图5为搬运机构的结构示意图。
[0024]图中标号：11、硅片；12、滚筒线；13、定位机构；14、插片台；15、料篮；16、抓取插片机构；17、料篮搬运机构；
[0025]31、空位槽；32、传送辊；33、第一安装架；34、第一驱动气缸；35、侧限位滚轮；36、第二安装架；37、第二驱动气缸；38、端限位滚轮；
[0026]41、第一定位座；42、第二定位座；43、第三定位座；
[0027]51、篮体；52、装篮开口；
[0028]61、升降气缸；62、三轴机械臂；63、抓取架；64、真空吸孔；
[0029]71、X轴；72、Y轴；73、Z轴；74、连接架；75、气动夹手。
具体实施方式
[0030]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关技术，而非对该技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与技术相关的部分。
[0031]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0032]请参考图1～图5，本技术的实施例提供了一种单晶硅片自动装篮装置，包括：
[0033]滚筒线12；
[0034]定位机构13，设置于滚筒线12的传输末端，用于对硅片11进行定位；
[0035]插片台14，设置于定位机构13远离滚筒线12的一侧，插片台14的顶面远离定位机构13的一侧设置有若干第一定位座41，第一定位座41上放置有空的料篮15，若干第一定位座15的一侧设置有若干第二定位座42，用于放置装满后的料篮15，插片台14的顶面靠近定位机构13的一侧设置有至少一个第三定位座43，用于放置料篮15供装篮；
[0036]抓取插片机构16，设置于定位机构13与插片台14之间，用于抓取定位机构13上的硅片11，并将其插入第三定位座43上的料篮15内；
[0037]料篮搬运机构17，设置于插片台14的上方，用于将第一定位座41上的空料篮15搬运至第三定位座43，以及将第三定位座43上装满的料篮15搬运至第二定位座42。
[0038]在本实施例中，进行硅片11装篮作业时，首先工人将空的料篮15逐一放置到插片台14上的各个第一定位座41，完成准备工作。然后启动装置，料篮搬运机构17将第一定位座41上的空料篮15搬运至第三定位座43上。硅片11完成脱胶后，经滚筒线12逐一进行传输，硅片11经滚筒线12的传输末端输出后，进入定位机构13。硅片11经定位机构13定位后，抓取插片机构16将其抓起，然后插入第三定位座43上的料篮15内。当第三定位座43上的料篮15被装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片自动装篮装置，其特征在于，包括：滚筒线；定位机构，设置于所述滚筒线的传输末端，用于对硅片进行定位；插片台，设置于所述定位机构远离滚筒线的一侧，所述插片台的顶面远离所述定位机构的一侧设置有若干第一定位座，所述第一定位座上放置有空的料篮，所述若干第一定位座的一侧设置有若干第二定位座，用于放置装满后的所述料篮，所述插片台的顶面靠近所述定位机构的一侧设置有至少一个第三定位座，用于放置所述料篮供装篮；抓取插片机构，设置于所述定位机构与插片台之间，用于抓取所述定位机构上的硅片，并将其插入所述第三定位座上的料篮内；料篮搬运机构，设置于所述插片台的上方，用于将所述第一定位座上的空料篮搬运至所述第三定位座，以及将所述第三定位座上装满的料篮搬运至所述第二定位座。2.根据权利要求1所述的单晶硅片自动装篮装置，其特征在于，所述定位机构包括设置于所述滚筒线传输末端的空位槽，所述空位槽的宽度小于所述硅片的宽度，所述空位槽的两侧对称的设置有若干传送辊，所述传送辊的顶面高出所述空位槽，所述空位槽的两侧对称的设置有第一安装架，所述第一安装架的一侧设置有驱动其沿靠近或远离所述空位槽的方向移动的第一驱动气缸，所述第一安...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯艳林，
申请(专利权)人：天津创昱达光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：