本发明专利技术涉及一种用于将工件(30)保持在处理室中的装置(10)。本发明专利技术还涉及一种涂覆系统(20)和一种用于对工件(30)进行涂覆的方法。本发明专利技术的目的是允许精确调节工件(30)的位置的高度同时以安全且稳定的方式支承工件。这由于下述而实现：保持装置(10)包括用于工件(30)的托盘(72)、以及用于托盘(72)的高度可调节的第一支承元件(22)和高度可调节的第二支承元件(48)，其中，支承元件(22、48)中的每个支承元件包括至少一个第一和第二肢部元件(26、56)，并且在每种情况下，第一和第二肢部元件(26、56)联接成围绕枢转轴线X、Y相对于彼此枢转，第一支承元件(22)的枢转轴线X布置成与第二支承元件(48)的枢转轴线Y成一角度。件(48)的枢转轴线Y成一角度。件(48)的枢转轴线Y成一角度。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于处理室的基底接纳区域
[0001]本专利技术涉及用于将工件保持在处理室中的装置。本专利技术还涉及涂覆系统和用于对工件进行涂覆的方法。
技术介绍
[0002]用于保持工件的装置用于接纳工件，使得工件被保持在处理室中的特定位置中。例如，可以将工件保持在诸如CVD或PVD系统之类的涂覆系统中以便经受涂覆方法。
[0003]在现有技术的各种设计中已知用于保持工件的装置。
[0004]DE10156615B4公开了一种基底保持台，该基底保持台包括具有剪刀式机构的台面。基底保持台可以在各个方向上移位或旋转。
技术实现思路
[0005]该目的可以认为是提供一种用于保持工件的装置、一种涂覆系统以及一种用于对工件进行涂覆的方法，其中，可以对工件位置的高度进行精确调节，同时所述工件被以牢固且稳定的方式支承。
[0006]本专利技术借助于根据权利要求1的用于保持工件的装置、根据权利要求11的涂覆系统以及根据权利要求14的方法实现了该目的。在各个从属权利要求中阐述了本专利技术的有利改进。
[0007]根据本专利技术的用于保持工件的装置包括：托盘，该托盘用于工件；高度可调节的第一支承元件和高度可调节的第二支承元件，第一支承元件和第二支承元件用于托盘，其中，支承元件中的每个支承元件包括至少一个第一肢部元件和至少一个第二肢部元件，其中，相应的第一肢部元件和相应的第二肢部元件联接成能够围绕枢转轴线相对于彼此枢转，并且其中，第一支承元件的枢转轴线布置成与第二支承元件的枢转轴线成一角度。
[0008]托盘也可以被不同地设计。例如，托盘可以被设计成使得托盘提供下述区域：该区域可以接纳工件以便将工件保持在给定位置中。为了确保高度的灵活性，使得托盘可以保持大量不同的工件，例如，托盘可以优选地设计成大致平面的，使得具有工件的工件特定保持器可以定位在托盘上。此外，托盘区域还可以包括用于工件特定保持器的保持装置、例如凹口或凹槽。
[0009]托盘布置在第一支承元件和第二支承元件上。支承元件被设计成能够以稳定的方式将托盘保持在给定位置中。在这方面，支承元件被设计成是高度可调节的，以便允许托盘在高度方向上改变其位置。所述高度方向应理解成是指托盘与布置在托盘下方的边界、例如处理室的地板之间的距离方向。在下面，将设置在托盘下方的边界称为竖立表面，但不限于特定实施方式。通常，在这种情况下，高度方向垂直于竖立表面定向，并且优选地，大致平面的托盘也垂直于高度方向定向。
[0010]两个支承元件各自包括第一肢部元件和第二肢部元件。相应的第一肢部元件和第二肢部元件用于调节对应支承元件的高度。为此目的，肢部元件彼此以可变的枢转角度布
置。枢转角度的变化因此改变了包括两个肢部元件的整个支承元件的高度。为此目的，肢部元件可以优选地设计为刚性的。肢部元件在枢转轴线的区域中以可枢转的方式联接，例如在共同的连接部段中以可枢转的方式联接，并且肢部元件可以围绕枢转轴线移动，优选地彼此独立地围绕枢转轴线移动，并且因此可以改变枢转角度。可枢转的联接实现枢转角度的连续调节，并且因此实现连续的高度调节。枢转轴线可以由直线限定，肢部元件围绕该直线进行旋转运动。另外，枢转轴线可以设计为杆元件，使得肢部元件在肢部元件的连接部段中包围杆元件。
[0011]第一支承元件和第二支承元件相对于彼此定位成使得第一支承元件的枢转轴线布置成与第二支承元件的枢转轴线成一角度。所述成一角度的布置使得能够在至少两个方向上支承托盘。借助于具有第二枢转轴线的支承元件可以防止托盘旋转、例如围绕第一枢转轴线旋转。该角度可以是锐角或钝角。优选地，枢转轴线布置成彼此成直角，使得每个支承元件垂直于由另一支承元件所允许的运动定向。
[0012]根据本专利技术的用于保持工件的装置能够以特别可靠的方式、以稳固且稳定的方式保持工件。支承元件各自防止托盘朝着一些自由度的运动，并且因此防止工件朝着一些自由度的运动。枢转轴线成一角度的布置有利地增加运动的限制，这是因为由第一支承元件引起的运动的限制与由第二支承元件引起的运动的限制叠加。同时，保持高度可调节性，使得工件、例如涂覆系统中的工件可以相应地定位在用于涂覆方法的处理室内部。例如，托盘的高度然后可以单独适应不同尺寸的工件。
[0013]可以不同地设计第一支承元件和/或第二支承元件的高度可调节性。根据有利的改进，第一支承元件和/或第二支承元件包括调节元件，该调节元件设计成改变支承元件的高度。为此目的，调节元件例如可以引起支承元件的运动。调节元件可以对整个支承元件或单个部件、例如肢部元件进行作用。优选地，调节元件可以包括驱动器，该驱动器可以设计为线性或旋转驱动器。例如，旋转驱动器可以是曲柄或马达，并且线性驱动器可以是推杆或牵引缆索，并且优选地是主轴驱动器。
[0014]为了调节高度，例如，调节元件可以使第一肢部元件和第二肢部元件逆着或朝向彼此移位，使得改变支承元件的总高度。在优选的实施方式中，调节元件被设计成改变第一肢部元件与第二肢部元件之间的枢转角度。为此目的，调节元件可以例如联接至第一肢部元件和/或第二肢部元件，以便使第一肢部元件和/或第二肢部元件围绕枢转轴线枢转，并且因此以便改变第一肢部元件和第二肢部元件相对于彼此的位置。
[0015]在另一有利的实施方式中，调节元件设计成使枢转轴线横向于高度方向移位。横向于高度方向定向的方向可以理解成调节方向并且因此可以优选地水平定向。优选地，当枢转轴线移动时，肢部元件的与枢转轴线间隔开的端部在调节方向上基本保持不动。更优选地，肢部元件的端部以铰接的方式连接至托盘，并且特别优选地，也以铰接的方式连接至竖立表面。结果，枢转角度的变化也可以导致肢部元件与托盘之间和/或肢部元件与竖立表面之间的角度变化。以这种方式，托盘可以在保持其定向的同时改变其高度，使得托盘例如与竖立表面保持平行地对准。
[0016]在优选的实施方式中，第一支承元件和/或第二支承元件包括至少一个轴向弹簧元件，该轴向弹簧元件用于在第一支承元件和/或第二支承元件的枢转轴线的方向上施加力作用。轴向弹簧元件可以优选地附接至沿着枢转轴线布置的杆元件。轴向弹簧元件可以
设计为扭转弹簧、弯曲弹簧、拉伸弹簧或压缩弹簧，并且优选地为压缩弹簧。作为螺旋弹簧，轴向弹簧元件可以有利地围绕杆元件布置。轴向弹簧元件可以优选地布置成在肢部元件与杆元件之间进行作用，因为轴向弹簧元件一方面抵接肢部元件并且另一方面抵接位于杆元件上的第一锁定元件。优选地，肢部元件还被夹持在轴向弹簧元件与例如位于杆元件上的第二锁定元件之间。以这种方式，轴向弹簧元件可以对肢部元件进行作用，优选地以轴向弹簧元件的弹簧力对肢部元件进行作用，以便借助于预加载来减小肢部元件与杆元件之间的间隙，并借助于额外的摩擦力为肢部元件运动赋予惯性。以这种方式，可以提高托盘的稳定性。此外，支承元件包括用于施加力作用的多个轴向弹簧元件可能是有利的。例如，至少两个轴向弹簧元件可以在相反方向上对肢部元件进行作用并且夹持肢部元件。由于多个轴向弹簧元件的相反的弹簧作用，可以特别有利地减小第一肢部元件和/或第二肢本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于将工件保持在处理室中的装置，所述装置包括：
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托盘(72)，所述托盘(72)用于工件(30)，
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高度可调节的第一支承元件(22)和高度可调节的第二支承元件(48)，所述第一支承元件(22)和所述第二支承元件(48)用于所述托盘(72)，
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其中，所述支承元件(22、48)中的每个支承元件包括至少一个第一肢部元件(26)和至少一个第二肢部元件(56)，
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其中，相应的所述第一肢部元件(26)和相应的所述第二肢部元件(56)联接成能够围绕枢转轴线(X、Y)相对于彼此枢转，
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并且其中，所述第一支承元件(22)的枢转轴线(X)布置成与所述第二支承元件(48)的枢转轴线(Y)成一角度。2.根据权利要求1所述的装置，其中，
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所述第一支承元件(22)和/或所述第二支承元件(48)包括调节元件(54)，所述调节元件(54)设计成改变所述支承元件(22、48)的高度。3.根据权利要求2所述的装置，其中，
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所述调节元件(54)设计成改变所述第一肢部元件(26)与所述第二肢部元件(56)之间的枢转角度。4.根据前述权利要求中的一项所述的装置，其中，
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所述第一支承元件(22)和/或所述第二支承元件(48)包括至少一个轴向弹簧元件(38)，所述轴向弹簧元件(38)用于在所述第一支承元件(22)和/或所述第二支承元件(48)的所述枢转轴线(X、Y)的方向上施加力作用。5.根据权利要求4所述的装置，其中，
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围绕所述枢转轴线(X、Y)布置有锥形元件(44)，
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其中，所述轴向弹簧元件(38)对所述锥形元件(44)进行作用。6.根据前述权利要求中的一项所述的装置，其中，
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沿着所述枢转轴线布置有杆元件(34、58)，
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并且其中，径向弹簧元件(42)布置成在所述第一肢部元件(26)和/或所述第二肢部元件(56)与所述杆元件(34、58)之间径向地作用。7.根据前述权利要求中的一项所述的装置，其中，
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所述第一肢部元件(26、56)是叉状的并且具有第一叉状臂(28a)和第二叉状臂(28b)，
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并且其中，所述第二肢部元件(26、56)接合在所述第一叉状臂(28a)与所述第二叉状臂(28b)之间，以便与所述第一肢部元件(26、56)联接。8.根据前述权利要求中的一项所述的装置，其中，
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所述托盘(72)在横向于竖向方向的侧向方向上能够至少部分地进行侧向调节。9.根据前述权利要求中的一项所述的装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：沃尔特，
申请(专利权)人：塞梅孔公司，
类型：发明
国别省市：
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