一种传输装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种传输装置，涉及晶圆盒运输技术领域，用于解决在晶圆盒运输过程中，需要将晶圆盒存储于位于轨道两侧的存储区内的问题。传输装置用于固定在起重设备上，传输装置包括抓取设备、伸缩机构和驱动组件。抓取设备用于抓取待移动设备；伸缩机构与抓取设备连接，伸缩机构用于沿第一方向伸长或者缩短，第一方向与起重设备的运行方向垂直；伸缩机构伸长的情况下，待移动设备在水平面上的正投影位于起重设备的正投影的一侧；驱动组件固定于起重设备上，并用于驱动伸缩机构运动。本实用新型专利技术用于运输设备。新型用于运输设备。新型用于运输设备。

【技术实现步骤摘要】
一种传输装置


[0001]本技术涉及晶圆盒运输
，尤其涉及一种传输装置。

技术介绍

[0002]晶圆作为制作硅半导体电路的重要材料，被广泛应用于半导体领域。晶圆在被生产出后会被装入晶圆盒内，然后被运输至存储区。
[0003]在现有技术中，为提高晶圆盒的运输效率，一般会利用轨道和天车的配合运输晶圆盒，将晶圆盒吊于天车的下方，启动天车，天车在轨道上进行移动，将晶圆盒运输至存储区域。由于运输路线的规划以及存储区域的分布，在轨道的两侧，一般会存在一些存储区，用于存储晶圆盒。为了将晶圆盒存储于存储区内，天车上需要具有能够带动晶圆盒在左右方向上进行伸缩的传输装置，以将晶圆盒传输至轨道的一侧，然后再将晶圆盒存储于存储区内。

技术实现思路

[0004]本技术的实施例提供一种传输装置，用于解决在晶圆盒运输过程中，需要将晶圆盒存储于位于轨道两侧的存储区内的问题。
[0005]为达到上述目的，本技术的实施例采用如下技术方案：
[0006]一种传输装置，用于固定在起重设备上，传输装置包括抓取设备、伸缩机构和驱动组件。抓取设备用于抓取待移动设备；伸缩机构与抓取设备连接，伸缩机构用于沿第一方向伸长或者缩短，第一方向与起重设备的运行方向垂直；伸缩机构伸长的情况下，待移动设备在水平面上的正投影位于起重设备的正投影的一侧；驱动组件固定于起重设备上，并用于驱动伸缩机构运动。
[0007]随着起重设备的开启，起重设备沿一定的方向运行，在起重设备上设置伸缩机构，利用驱动组件驱动伸缩机构沿第一方向伸长或者缩短。由于第一方向与起重设备的运行方向垂直，因此，伸缩机构能够向起重设备的一侧伸长或者缩短，又由于在伸缩机构伸长的情况下，待移动设备在水平面上的正投影位于起重设备的正投影的一侧，因此，伸缩机构能够伸长至起重设备的左右两侧。由于抓取设备与伸缩机构连接，因此当伸缩机构伸长至起重设备的一侧时，抓取设备也会移动至起重设备的一侧，又由于抓取设备用于抓取待移动设备，因此会随抓取设备一同移动至起重设备的一侧，以此实现将移动至起重设备的一侧。
[0008]在本申请的一些实施例中，伸缩机构包括多块伸缩板，多块伸缩板沿竖直方向依次分布，相邻的两块伸缩板之间均设置有传动组件，传动组件和驱动组件用于使多个伸缩板沿第一方向依次伸出，且沿靠近起重设备的方向，多块伸缩板的伸出距离依次减小；抓取设备固定于多块伸缩板中远离起重设备的伸缩板上；驱动组件用于驱动多块伸缩板中接近起重设备的伸缩板沿第一方向运动。
[0009]在本申请的一些实施例中，多块伸缩板包括第一伸缩板和第二伸缩板，第一伸缩板位于第二伸缩板与起重设备之间，第一伸缩板与第二伸缩板之间设置有第一传动组件；
[0010]第一传动组件包括第一转动部、第一传动部以及第二传动部，第一转动部固定于第一伸缩板上，第一传动部与起重设备固定连接，第二传动部与第二伸缩板固定连接；第一传动部以及第二传动部均能够绕第一转动部转动；
[0011]在伸缩机构伸长的过程中，第一传动部相对于第一转动部沿第一方向向远离起重设备的方向移动；第二传动部相对于第一转动部沿第一方向向远离起重设备的方向移动。
[0012]在本申请的一些实施例中，第一传动组件包括至少两个第一带轮和第一传动带，至少两个第一带轮沿第一方向依次分布，第一传动带绕至少两个第一带轮设置；至少两个第一带轮为第一转动部，第一传动带包括第一部分和第二部分，第一部分位于第二部分的上方，第一部分为第一传动部，第二部分为第二传动部。
[0013]在本申请的一些实施例中，第一传动组件还包括第一固定件和第二固定件，第一部分与起重设备通过第一固定件固定连接，第二部分与第二伸缩板通过第二固定件固定连接。
[0014]在本申请的一些实施例中，多块伸缩板还包括第三伸缩板，第三伸缩板设置于第二伸缩板远离第一伸缩板的一侧，第二伸缩板与第三伸缩板之间设置有第二传动组件；
[0015]第二传动组件包括第二转动部、第三传动部以及第四传动部，第二转动部固定于第二伸缩板上，第三传动部固定于第一伸缩板上，第四传动部固定于第三伸缩板上；第三传动部以及第四传动部均能够绕第二转动部转动；
[0016]在伸缩机构伸长的过程中，第三传动部相对于第二转动部沿第一方向向远离起重设备的方向移动；第四传动部相对于第二转动部沿第一方向向远离起重设备的方向移动。
[0017]在本申请的一些实施例中，第二传动组件包括至少两个第二带轮和第二传动带，至少两个第二带轮沿第一方向依次分布，第二传动带绕至少两个第二带轮设置；至少两个第二带轮为第二转动部，第二传动带包括第三部分和第四部分，第三部分位于第四部分的上方，第三部分为第三传动部，第四部分为第四传动部。
[0018]在本申请的一些实施例中，相邻两块伸缩板之间，以及邻近起重设备的伸缩板与起重设备之间均设置有滑动组件，滑动组件的滑动方向与第一方向相同。
[0019]在本申请的一些实施例中，滑动组件包括滑轨和滑动块，滑动块与滑轨滑动配合。
[0020]在本申请的一些实施例中，伸缩板上设置有滑动组件的表面上形成有凹槽，凹槽沿第一方向延伸，滑动组件设置于凹槽内。
[0021]在本申请的一些实施例中，驱动组件包括驱动装置、丝杆以及滑块，驱动装置与起重设备固定，丝杆的轴向与第一方向平行，丝杆贯穿滑块，并与滑块螺纹配合，滑块与邻近起重设备的伸缩板固定连接，驱动装置的输出轴与丝杆传动连接。
[0022]在本申请的一些实施例中，驱动组件还包括支撑壳，支撑壳固定于起重设备上，丝杆转动设置于支撑壳内，驱动装置固定于支撑壳内。
[0023]在本申请的一些实施例中，丝杆的两端以及中部均设置有位移传感器。
附图说明
[0024]图1为本申请实施例提供的传输装置的第一种外部结构图；
[0025]图2为本申请实施例提供的传输装置的第二种外部结构图；
[0026]图3为本申请实施例提供的传输装置的第三种外部结构图；
[0027]图4为本申请实施例提供的伸缩机构包括一块伸缩板时的第一种外部结构图；
[0028]图5为本申请实施例提供的伸缩机构包括一块伸缩板时的第二种外部结构图；
[0029]图6为本申请实施例提供的驱动组件的第一种外部结构图；
[0030]图7为本申请实施例提供的驱动组件的第二种外部结构图；
[0031]图8为本申请实施例提供的驱动组件的第三种外部结构图；
[0032]图9为本申请实施例提供的驱动组件的第四种外部结构图；
[0033]图10为本申请实施例提供的位移传感器的外部结构图；
[0034]图11为本申请实施例提供的支撑壳的外部结构图；
[0035]图12为本申请实施例提供的滑动组件的外部结构图；
[0036]图13为本申请实施例提供的凹槽和滑动组件的外部结构图；
[0037]图14为本申请实施例提供的滑动块和滑轨的第一种外部结构图；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种传输装置，用于固定在起重设备上，其特征在于，包括：抓取设备，用于抓取待移动设备；伸缩机构，与所述抓取设备连接，所述伸缩机构用于沿第一方向伸长或者缩短，所述第一方向与所述起重设备的运行方向垂直；所述伸缩机构伸长的情况下，所述待移动设备在水平面上的正投影位于所述起重设备的正投影的一侧；驱动组件，固定于所述起重设备上，并用于驱动所述伸缩机构运动。2.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，所述伸缩机构包括多块伸缩板，所述多块伸缩板沿竖直方向依次分布，相邻的两块所述伸缩板之间均设置有传动组件，所述传动组件和所述驱动组件用于使所述多块伸缩板沿所述第一方向依次伸出，且沿靠近所述起重设备的方向，多块所述伸缩板的伸出距离依次减小；所述抓取设备固定于多块所述伸缩板中远离所述起重设备的所述伸缩板上。3.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，所述多块伸缩板包括第一伸缩板和第二伸缩板，所述第一伸缩板位于所述第二伸缩板与所述起重设备之间，所述第一伸缩板与所述第二伸缩板之间设置有第一传动组件；所述第一传动组件包括第一转动部、第一传动部以及第二传动部，所述第一转动部固定于所述第一伸缩板上，所述第一传动部与所述起重设备固定连接，所述第二传动部与所述第二伸缩板固定连接；所述第一传动部以及所述第二传动部均能够绕所述第一转动部转动；在所述伸缩机构伸长的过程中，所述第一传动部相对于所述第一转动部沿所述第一方向向远离所述起重设备的方向移动；所述第二传动部相对于所述第一转动部沿所述第一方向向远离所述起重设备的方向移动。4.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，所述第一传动组件包括至少两个第一带轮和第一传动带，至少两个所述第一带轮沿所述第一方向依次分布，所述第一传动带绕至少两个所述第一带轮设置；至少两个所述第一带轮为所述第一转动部，所述第一传动带包括第一部分和第二部分，所述第一部分位于所述第二部分的上方，所述第一部分为所述第一传动部，所述第二部分为所述第二传动部。5.根据权利要求4所述的传输装置，其特征在于，所述第一传动组件还包括第一固定件和第二固定件，所述第一部分与所述起重设备通过所述第一固定件固定连接，所述第二部分与所述第二伸缩板通过所述第二固定件固定连接。6.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，所述多块伸缩板还包括第...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪易，刘保千，金虎，葛军，金敏衡，郑元焕，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器股份有限公司，
类型：新型
国别省市：