【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及断路短路电学检测，尤其涉及一种精密气浮传感器装置。
技术介绍
1、玻璃基板断路短路检测是一种利用电学线路通断来测定线路电阻值从而判定线路断路短路的检测方法，主要是通过线路两端各布置一个气浮传感器，一段传感器放电另外一端传感器得电的方式通过算法分析得出线路阻值，与标准电阻值进行比对得出线路的断路短路状态。随着现有玻璃基板尺寸越大越大，要求电学检测传感器检测扫描速度及设备整体效率提高，电学检测传感器是通过气浮式非接触扫描的检测方式进行断路短路检测。
2、玻璃基板内部线路线宽越来越窄及两段线路之间的距离越来越小，对非接触式检测传感器的要求越来越高，非接触式传感器对传感器与玻璃基板之间的距离感应十分敏感，传统中对于传感器与玻璃基板之间的距离感应敏感问题并未得到有效解决，造成传感器与玻璃基板之间的距离总是偏离设定值，从而影响了传感器对窄线宽及小距离线路断路短路检测准确性。
技术实现思路
1、基于
技术介绍
存在的技术问题，本专利技术提出了一种精密气浮传感器装置，有效提高了非接触式电学传感器对窄线宽及小距离线路断路短路检测。
2、本专利技术提出的一种精密气浮传感器装置，用于调节检测传感器与基板之间距离，包括支撑架、用于固定检测传感器的框架组件、用于调节检测传感器与基板之间距离的气浮组件和用于检测基板与检测传感器之间距离的检测组件，支撑架与框架组件通过弹性组件连接。
3、进一步地，所述框架包括连接条、横板和连接块，连接条与检测传感器固定连接，两个相互
4、进一步地，所述框架组件还包括环形板，环形板环绕设置于横板和连接块的下方，支撑架与环形板连接。
5、进一步地，所述气浮组件包括气浮板、用于向气浮板输送气流的气路管和用于将气浮板与环形板连接的水平调节组件，气浮板设置于环形板下方、并环绕设置于检测传感器的底部的外周，气路管的一端与外接供气机构连通、另一端与插入环形板中设置，环形板上开设出气口，气路管通过出气口与气浮板中的腔体连通。
6、进一步地，至少三个水平调节组件分别设置于环形板的至少三个方向，至少三个气路管分别设置于环形板的至少三个方向。
7、进一步地，水平调节组件包括水平调节块、水平调节螺栓、水平调节螺母和水平调节锁紧螺母，水平调节块设置于环形板上，水平调节螺栓的一端与气浮板固定连接、另一端依次穿过环形板、水平调节块、水平调节锁紧螺母后与水平调节螺母螺接，水平调节锁紧螺母的一侧与环形板抵接、另一侧与水平调节螺母抵接。
8、进一步地，至少三个检测组件分别设置于环形板的至少三个方向。
9、进一步地，所述检测组件包括精度传感器和用于固定精度传感器的传感器支架，传感器支架与环形板固定连接。
10、进一步地，所述弹性组件包括弹簧片和底板，底板设置于检测传感器上、并通过连接条抵接固定，弹簧片的一部分与底板固定连接、另一部分与支撑架固定连接。
11、本专利技术提供的一种精密气浮传感器装置的优点在于：本专利技术结构中提供的一种精密气浮传感器装置，可以实现更窄线路及小间距线路的断路短路检测，实现非接触式电学检测传感器与基板之间间距控制更精细且稳定，将电学检测设备适用领域扩大，也能够提高oled/高清tft-lcd产品良率；弹簧片的设置，通过弹簧片上第一孔和第二孔的弹性变化，来实现底板与支撑架之间的位置变动，为检测传感器与基板之间的位置调节提供了结构可执行性；多孔陶瓷精密气浮板与检测传感器底部贴合为一体，便于通过控制多孔陶瓷精密气浮板的浮动作用来直接调节气浮板与基板之间的距离；通过水平调节组件可以调节检测传感器与环形板之间的平行度，提高了检测传感器与基板被测每个位置之间的平行度，以有效提高非接触式电学传感器对窄线宽及小距离线路断路短路检测。
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1.一种精密气浮传感器装置，用于调节检测传感器(3)与基板(7)之间距离，其特征在于，包括支撑架(1)、用于固定检测传感器(3)的框架组件(2)、用于调节检测传感器(3)与基板(7)之间距离的气浮组件(4)和用于检测基板(7)与检测传感器(3)之间距离的检测组件(5)，支撑架(1)与框架组件(2)通过弹性组件(6)连接。
2.根据权利要求1所述的精密气浮传感器装置，其特征在于，所述框架组件(2)包括连接条(21)、横板(22)和连接块(23)，连接条(21)与检测传感器(3)固定连接，两个相互设置的横板(22)和两个相互设置的连接块(23)组成的空腔用于放置检测传感器(3)，连接条(21)上开设与连接块(23)卡接的卡槽(211)。
3.根据权利要求1所述的精密气浮传感器装置，其特征在于，所述框架组件(2)还包括环形板(24)，环形板(24)环绕设置于横板(22)和连接块(23)的下方，支撑架(1)与环形板(24)连接。
4.根据权利要求3所述的精密气浮传感器装置，其特征在于，所述气浮组件(4)包括气浮板(41)、用于向气浮板(41)输送气流的
5.根据权利要求4所述的精密气浮传感器装置，其特征在于，至少三个水平调节组件(43)分别设置于环形板(24)的至少三个方向，至少三个气路管(42)分别设置于环形板(24)的至少三个方向。
6.根据权利要求5所述的精密气浮传感器装置，其特征在于，水平调节组件(43)包括水平调节块(431)、水平调节螺栓(432)、水平调节螺母(433)和水平调节锁紧螺母(434)，水平调节块(431)设置于环形板(24)上，水平调节螺栓(432)的一端与气浮板(41)固定连接、另一端依次穿过环形板(24)、水平调节块(431)、水平调节锁紧螺母(434)后与水平调节螺母(433)螺接，水平调节锁紧螺母(434)的一侧与环形板(24)抵接、另一侧与水平调节螺母(433)抵接。
7.根据权利要求3所述的精密气浮传感器装置，其特征在于，至少三个检测组件(5)分别设置于环形板(24)的至少三个方向。
8.根据权利要求3所述的精密气浮传感器装置，其特征在于，所述检测组件(5)包括精度传感器(51)和用于固定精度传感器(51)的传感器支架(52)，传感器支架(52)与环形板(24)固定连接。
9.根据权利要求3所述的精密气浮传感器装置，其特征在于，所述弹性组件(6)包括弹簧片(61)和底板(62)，底板(62)与检测传感器(3)固定连接，连接条(21)的端部设置于底板62上，弹簧片(61)的一部分与底板(62)固定连接、另一部分与支撑架(1)固定连接。
...【技术特征摘要】
1.一种精密气浮传感器装置，用于调节检测传感器(3)与基板(7)之间距离，其特征在于，包括支撑架(1)、用于固定检测传感器(3)的框架组件(2)、用于调节检测传感器(3)与基板(7)之间距离的气浮组件(4)和用于检测基板(7)与检测传感器(3)之间距离的检测组件(5)，支撑架(1)与框架组件(2)通过弹性组件(6)连接。
2.根据权利要求1所述的精密气浮传感器装置，其特征在于，所述框架组件(2)包括连接条(21)、横板(22)和连接块(23)，连接条(21)与检测传感器(3)固定连接，两个相互设置的横板(22)和两个相互设置的连接块(23)组成的空腔用于放置检测传感器(3)，连接条(21)上开设与连接块(23)卡接的卡槽(211)。
3.根据权利要求1所述的精密气浮传感器装置，其特征在于，所述框架组件(2)还包括环形板(24)，环形板(24)环绕设置于横板(22)和连接块(23)的下方，支撑架(1)与环形板(24)连接。
4.根据权利要求3所述的精密气浮传感器装置，其特征在于，所述气浮组件(4)包括气浮板(41)、用于向气浮板(41)输送气流的气路管(42)和用于将气浮板(41)与环形板(24)连接的水平调节组件(43)，气浮板(41)设置于环形板(24)下方、并环绕设置于检测传感器(3)的底部的外周，气路管(42)的一端与外接供气机构连通、另一端与插入环形板(24)中设置，环形板(24)上开设出气口，气路管(42)通过出气口与气浮板(41)中的腔体连...
【专利技术属性】
技术研发人员：熊海军，李言，郭朝霞，刘晏，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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