一种单晶硅片清洗后烘干机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种单晶硅片清洗后烘干机，包括：框架、插板、单晶硅片、外壳、电机座、伺服电机、主动齿轮、传动齿轮、齿条、灯座、烤灯、反射板、定位环、转轴、检修盖、第一把手；所述框架为矩形板状机构，且插板通过滑轨插接安装在框架的顶端；所述单晶硅片插接安装在插板的顶端；所述外壳安装在框架的上部，且外壳与框架焊接连接；所述电机座通过螺栓固定安装在外壳的外壁上；所述伺服电机通过螺栓固定安装在电机座的顶端；本实用新型专利技术通过对一种单晶硅片清洗后烘干机的改进，具有结构设计合理，单晶硅片受热均匀，烘干效果好，便于安装与拆卸，热效率高的优点，从而有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。出现的问题和不足。出现的问题和不足。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片清洗后烘干机


[0001]本技术涉及单晶硅片
，更具体的说，尤其涉及一种单晶硅片清洗后烘干机。

技术介绍

[0002]单晶硅片具有金刚石晶格，晶体硬而脆，具有金属光泽，能导电，但导电率不及金属，且随着温度升高而增加，具有半导体性质。单晶硅片是重要的半导体材料。在单晶硅中掺入微量的第IIA族元素,形成P型半导体，掺入微量的第VA族元素,形成N型,N型和P型半导体结合在一起，就可做成太阳能电池，将辐射能转变为电能。
[0003]单晶硅片的生产工艺为单晶生长
→
切断
→
外径滚磨
‑→
端面磨削、抛光
→
切片、倒角
→
研磨、腐蚀
‑‑
抛光
‑
+清洗
→
包装，而清洗过后为节省时间大多需要对清洗完毕后的单晶硅片放入烘干机进行烘干操作。
[0004]现有的单晶硅片烘干机，多是将清洗完毕的单晶硅片防止于烘干机内部，烘干机的内壁大多是盘有能够产生热量的电钨丝，而电钨丝产生的热量会一直照射到单晶硅片上，对温度的控制要求较高，容易因温度局部过高而对单晶硅片造成损坏，不便于操作，因此该装置存在可以改进的空间。
[0005]有鉴于此，针对现有的问题予以研究改良，提供一种单晶硅片清洗后烘干机，旨在通过该技术，达到解决问题与提高实用价值性的目的。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种单晶硅片清洗后烘干机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题和不足。
[0007]为实现上述目的，本技术提供了一种单晶硅片清洗后烘干机，由以下具体技术手段所达成：
[0008]一种单晶硅片清洗后烘干机，包括：框架、插板、单晶硅片、外壳、电机座、伺服电机、主动齿轮、传动齿轮、齿条、灯座、烤灯、反射板、定位环、转轴、检修盖、第一把手、第二把手；所述框架为矩形板状机构，且插板通过滑轨插接安装在框架的顶端；所述单晶硅片插接安装在插板的顶端；所述外壳安装在框架的上部，且外壳与框架焊接连接；所述电机座通过螺栓固定安装在外壳的外壁上；所述伺服电机通过螺栓固定安装在电机座的顶端；所述主动齿轮通过键插接安装在伺服电机的端部；所述传动齿轮位于主动齿轮的一侧，且传动齿轮与主动齿轮啮合；所述齿条插接安装在定位环的内壁上，且齿条与传动齿轮啮合；所述定位环通过螺栓固定安装在外壳的内壁上；所述灯座通过螺栓固定安装在齿条的内壁上；所述烤灯插接安装在灯座的内部；所述反射板通过螺栓固定安装在灯座的上下两端；所述转轴插接安装在外壳的内部；所述检修盖安装在转轴的外壁上，且检修盖与转轴插接连接；所述第一把手通过螺栓固定安装在检修盖的外壁上；所述第二把手通过螺栓固定安装在插板的端部。
[0009]作为本技术方案的进一步优化，本技术一种单晶硅片清洗后烘干机所述定位环为横截面外观呈英文字母“L”形圆环状结构，且定位环在外壳的内壁上对称安装有两处。
[0010]作为本技术方案的进一步优化，本技术一种单晶硅片清洗后烘干机所述齿条为横截面外观呈英文字母“T”形圆环状结构，且齿条插接安装在定位环的内壁上为滑动装置。
[0011]作为本技术方案的进一步优化，本技术一种单晶硅片清洗后烘干机所述外壳的外壁一侧开设有用于安装检修盖的矩形孔，且检修盖通过转轴插接安装在所述矩形孔内为旋转装置。
[0012]作为本技术方案的进一步优化，本技术一种单晶硅片清洗后烘干机所述反射板的内壁为铝箔结构制成，且反射板在灯座上对称安装有两处。
[0013]由于上述技术方案的运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：
[0014]1、本技术定位环为横截面外观呈英文字母“L”形圆环状结构，且定位环在外壳的内壁上对称安装有两处，齿条为横截面外观呈英文字母“T”形圆环状结构，且齿条插接安装在定位环的内壁上为滑动装置的设置，齿条能够通过伺服电机驱动在定位环的内壁上滑动，使齿条底部灯座上的烤灯能够沿外壳内壁进行往复旋转，从而满足对单晶硅片不同角度的烘干，使单晶硅片受热更均匀，烘干效果好，防止了局部受热过大造成单晶硅片的损坏。
[0015]2、本技术外壳的外壁一侧开设有用于安装检修盖的矩形孔，且检修盖通过转轴插接安装在所述矩形孔内为旋转装置的设置，检修盖通过转轴安装在外壳的外壁一侧便于外壳内部零件的更换与维护，便于安装与拆卸。
[0016]3、本技术反射板的内壁为铝箔结构制成，且反射板在灯座上对称安装有两处的设置，反射板的内壁为铝箔结构制成使烤灯产生的热量更加集中的照射到单晶硅片上，提高了热效率，节省了能源。
[0017]4、本技术通过对一种单晶硅片清洗后烘干机的改进，具有结构设计合理，单晶硅片受热均匀，烘干效果好，便于安装与拆卸，热效率高的优点，从而有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。
附图说明
[0018]构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0019]图1为本技术的结构示意图；
[0020]图2为本技术的定位环结构示意图；
[0021]图3为本技术的检修盖结构示意图；
[0022]图4为本技术的齿条的剖面结构示意图。
[0023]图中：框架1、插板2、单晶硅片3、外壳4、电机座5、伺服电机6、主动齿轮7、传动齿轮8、齿条9、灯座10、烤灯11、反射板12、定位环13、转轴14、检修盖15、第一把手16、第二把手17。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0025]需要说明的是，在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0026]此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0027]同时，在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电性连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]请参见图1至图4，本技术提供一种单晶硅片清洗后烘干机的具体技术实施方案：
[0029]一种单晶硅片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片清洗后烘干机，包括：框架(1)、插板(2)、单晶硅片(3)、外壳(4)、电机座(5)、伺服电机(6)、主动齿轮(7)、传动齿轮(8)、齿条(9)、灯座(10)、烤灯(11)、反射板(12)、定位环(13)、转轴(14)、检修盖(15)、第一把手(16)、第二把手(17)；其特征在于：所述框架(1)为矩形板状机构，且插板(2)通过滑轨插接安装在框架(1)的顶端；所述单晶硅片(3)插接安装在插板(2)的顶端；所述外壳(4)安装在框架(1)的上部，且外壳(4)与框架(1)焊接连接；所述电机座(5)通过螺栓固定安装在外壳(4)的外壁上；所述伺服电机(6)通过螺栓固定安装在电机座(5)的顶端；所述主动齿轮(7)通过键插接安装在伺服电机(6)的端部；所述传动齿轮(8)位于主动齿轮(7)的一侧，且传动齿轮(8)与主动齿轮(7)啮合；所述齿条(9)插接安装在定位环(13)的内壁上，且齿条(9)与传动齿轮(8)啮合；所述定位环(13)通过螺栓固定安装在外壳(4)的内壁上；所述灯座(10)通过螺栓固定安装在齿条(9)的内壁上；所述烤灯(11)插接安装在灯座(10)的内部；所述反射板(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯艳林，
申请(专利权)人：天津创昱达光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：