【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片清洗后烘干机
[0001]本技术涉及单晶硅片
,更具体的说,尤其涉及一种单晶硅片清洗后烘干机。
技术介绍
[0002]单晶硅片具有金刚石晶格,晶体硬而脆,具有金属光泽,能导电,但导电率不及金属,且随着温度升高而增加,具有半导体性质。单晶硅片是重要的半导体材料。在单晶硅中掺入微量的第IIA族元素,形成P型半导体,掺入微量的第VA族元素,形成N型,N型和P型半导体结合在一起,就可做成太阳能电池,将辐射能转变为电能。
[0003]单晶硅片的生产工艺为单晶生长
→
切断
→
外径滚磨
‑→
端面磨削、抛光
→
切片、倒角
→
研磨、腐蚀
‑‑
抛光
‑
+清洗
→
包装,而清洗过后为节省时间大多需要对清洗完毕后的单晶硅片放入烘干机进行烘干操作。
[0004]现有的单晶硅片烘干机,多是将清洗完毕的单晶硅片防止于烘干机内部,烘干机的内壁大多是盘有能够产生热量的电钨丝,而电钨丝产 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片清洗后烘干机,包括:框架(1)、插板(2)、单晶硅片(3)、外壳(4)、电机座(5)、伺服电机(6)、主动齿轮(7)、传动齿轮(8)、齿条(9)、灯座(10)、烤灯(11)、反射板(12)、定位环(13)、转轴(14)、检修盖(15)、第一把手(16)、第二把手(17);其特征在于:所述框架(1)为矩形板状机构,且插板(2)通过滑轨插接安装在框架(1)的顶端;所述单晶硅片(3)插接安装在插板(2)的顶端;所述外壳(4)安装在框架(1)的上部,且外壳(4)与框架(1)焊接连接;所述电机座(5)通过螺栓固定安装在外壳(4)的外壁上;所述伺服电机(6)通过螺栓固定安装在电机座(5)的顶端;所述主动齿轮(7)通过键插接安装在伺服电机(6)的端部;所述传动齿轮(8)位于主动齿轮(7)的一侧,且传动齿轮(8)与主动齿轮(7)啮合;所述齿条(9)插接安装在定位环(13)的内壁上,且齿条(9)与传动齿轮(8)啮合;所述定位环(13)通过螺栓固定安装在外壳(4)的内壁上;所述灯座(10)通过螺栓固定安装在齿条(9)的内壁上;所述烤灯(11)插接安装在灯座(10)的内部;所述反射板(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:冯艳林,
申请(专利权)人:天津创昱达光伏科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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