本实用新型专利技术公开了一种单晶硅片脱胶设备的分片输出装置，包括：箱体，其底部的两侧对称的设置有滑轨；驱动机构，设置于箱体顶面的一侧；提升机构，设置于箱体内；滚筒线，安装于箱体的顶面；抓取机构，设置于箱体的一侧，用于抓取提升机构提升的硅片，并将其放置到滚筒线上。本实用新型专利技术的分片输出装置可自动将料框内的硅片逐一输出，有效的降低了工人的劳动强度，输出效率高。输出效率高。输出效率高。
【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片脱胶设备的分片输出装置
[0001]本技术涉及单晶硅片脱胶
，尤其涉及一种单晶硅片脱胶设备的分片输出装置。
技术介绍
[0002]单晶硅片的生产过程中，是将半导体晶圆粘接到料座上，然后通过切割设备将其切割成硅片，再将硅片和料座一同安置到料框内，随同料框一起进行加热脱胶处理，将硅片从料座上脱下。硅片完成脱胶后，需将硅片取出并装入料蓝内，以方便后续的自动化加工处理。料框内的硅片采用人工取出，不仅效率低，而且工人的劳动强度大。
技术实现思路
[0003]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种可自动将料框内的硅片逐一输出，有效的降低了工人的劳动强度，输出效率高的单晶硅片脱胶设备的分片输出装置。
[0004]本技术提供的一种单晶硅片脱胶设备的分片输出装置，用于将完成脱胶后盛装于料框内的硅片的分片输出，所述料框的一端开设有面积小于所述硅片的窗口，所述分片输出装置包括：
[0005]箱体，其顶面敞开，所述箱体具有相对的第一端和第二端，所述第一端至第二端的方向为第一方向，所述箱体内的底部位于第一方向的两侧对称的设置有滑轨；
[0006]驱动机构，设置于所述箱体顶面的一侧，用于驱动所述料框沿第一方向移动；
[0007]提升机构，设置于所述箱体内，位于所述第一端与第二端之间，用于穿过所述窗口将硅片逐一提升；
[0008]滚筒线，安装于所述箱体的顶面，位于所述提升机构远离第一端的一侧，用于硅片的传送输出；
[0009]抓取机构，设置于所述箱体的一侧，用于抓取所述提升机构提升的硅片，并将其放置到所述滚筒线上。
[0010]进一步的，所述驱动机构包括：
[0011]直线电机，平行于第一方向的固定设置于所述箱体顶面的一侧；
[0012]滑动板，设置于所述直线电机的顶面，所述直线电机驱动所述滑动板沿第一方向移动；
[0013]传动架，设置于所述箱体内靠近所述第一端，所述传动架的一端与所述滑动板的顶面固定连接，另一端伸至所述箱体的底部位于两条所述滑轨之间；
[0014]挂钩，固定连接于所述传动架的底端靠近所述第二端的一侧。
[0015]进一步的，所述抓取机构包括设置于所述箱体一侧的六轴机械臂，所述六轴机械臂的端部连接有安装板，所述安装板上安装有真空吸盘。
[0016]进一步的，所述提升机构包括：
[0017]第一安装架，固定设置于所述箱体内，位于所述窗口的移动轨迹上，所述第一安装
架的面积小于所述窗口的面积；
[0018]多个传动辊，通过轴杆对称的安装于所述第一安装架的两侧，所述传动辊上均布有若干皮带槽，同侧相邻的所述传动辊之间套设有传动皮带，所述传动皮带凸出所述第一安装架靠近第一端的一侧；
[0019]驱动电机，通过传动组件与所述传动辊传动连接，用于驱动多个所述传动辊同步转动；
[0020]多根安装杆，平行的固定设置于所述箱体内，位于所述第一安装架上方的竖直面内，所述安装杆上位于所述第一安装架的上方转动套接有支撑辊。
[0021]进一步的，所述箱体内位于所述料框的一侧设置有第一烘干机构；所述第一烘干机构包括固定设置于所述箱体内的第二安装架，所述第二安装架上均布的安装有电加热管。
[0022]进一步的，所述滚筒线上设置有第二烘干机构；所述第二烘干机构包括设置于所述滚筒线上的封装箱，所述封装箱上沿所述第一方向设置有供硅片通过的输送通道，所述封装箱内位于所述滚筒线的上下两侧对称的设置有风刀。
[0023]相对于现有技术而言，本技术的有益效果是：
[0024](1)本技术的分片输出装置设置有驱动机构、提升机构、滚筒线和抓取机构。进行硅片的输出作业时，驱动机构带动料框沿滑轨向提升机构移动，随着料框的移动，提升机构穿过窗口伸入料框内，硅片贴在提升机构上，提升机构带动硅片向上移动，然后抓取机构将硅片抓取并放置到滚筒线上，通过滚筒线输出。第一片硅片被抓取机构取走后，驱动机构驱动料框继续移动，使第二片硅片贴到提升机构上，进行提升输出，如此逐一将料框内的硅片输出。实现了料框内硅片的逐一自动输出，有效的降低了工人的劳动强度，输出效率高。
[0025](2)本技术的分片输出装置还设置有第一烘干机构和第二烘干机构。在料框向提升机构移动的过程中，通过第一烘干机构对料框内的硅片进行烘干处理，将硅片脱胶后残留的水烘干；硅片在滚筒线上传输时穿过第二烘干机构，对硅片逐一进行烘干处理，确保了硅片的烘干效果。避免影响后续的加工处理。
[0026]应当理解，
技术实现思路
部分中所描述的内容并非旨在限定本技术的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本技术的范围。本技术的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。
附图说明
[0027]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0028]图1为料框的结构示意图；
[0029]图2为分片输出装置的结构示意图；
[0030]图3为箱体内部结构的结构示意图；
[0031]图4为驱动机构的结构示意图；
[0032]图5为提升机构的结构示意图(传动皮带未示出)；
[0033]图6为抓取机构的结构示意图。
[0034]图中标号：1、料框；2、硅片；3、箱体；4、驱动机构；5、提升机构；6、滚筒线；7、抓取机构；8、第一烘干机构；9、第二烘干机构；
[0035]11、窗口；
[0036]31、第一端；32、第二端；33、滑轨；
[0037]41、直线电机；42、滑动板；43、传动架；44、挂钩；
[0038]51、第一安装架；52、传动辊；53、驱动电机；54、传动组件；55、安装杆；56、支撑辊；
[0039]71、六轴机械臂；72、安装板；73、真空吸盘；
[0040]81、第二安装架；82、电加热管；
[0041]91、封装箱；92、输送通道；93、风刀。
具体实施方式
[0042]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关技术，而非对该技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与技术相关的部分。
[0043]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0044]请参考图1～图6，本技术的实施例提供了一种单晶硅片脱胶设备的分片输出装置，用于将完成脱胶后盛装于料框1内的硅片2的分片输出，料框1的一端开设有面积小于硅片2的窗口11，分片输出装置包括：
[0045]箱体3，其顶面敞开，箱体3具有相对的第一端31和第二端32，第一端31至第二端32的方向为第一方向，箱体3内的底部位于第一方向的两侧对称的设置有滑轨33；<本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片脱胶设备的分片输出装置，用于将完成脱胶后盛装于料框内的硅片的分片输出，所述料框的一端开设有面积小于所述硅片的窗口，其特征在于，所述分片输出装置包括：箱体，其顶面敞开，所述箱体具有相对的第一端和第二端，所述第一端至第二端的方向为第一方向，所述箱体内的底部位于第一方向的两侧对称的设置有滑轨；驱动机构，设置于所述箱体顶面的一侧，用于驱动所述料框沿第一方向移动；提升机构，设置于所述箱体内，位于所述第一端与第二端之间，用于穿过所述窗口将硅片逐一提升；滚筒线，安装于所述箱体的顶面，位于所述提升机构远离第一端的一侧，用于硅片的传送输出；抓取机构，设置于所述箱体的一侧，用于抓取所述提升机构提升的硅片，并将其放置到所述滚筒线上。2.根据权利要求1所述的单晶硅片脱胶设备的分片输出装置，其特征在于，所述驱动机构包括：直线电机，平行于所述第一方向的固定设置于所述箱体顶面的一侧；滑动板，设置于所述直线电机的顶面，所述直线电机驱动所述滑动板沿第一方向移动；传动架，设置于所述箱体内靠近所述第一端，所述传动架的一端与所述滑动板的顶面固定连接，另一端伸至所述箱体的底部位于两条所述滑轨之间；挂钩，固定连接于所述传动架的底端靠近所述第二端的一侧。3.根据权利要求2所述的单晶硅片脱胶设备的分片输出装置，其特征在于，所述抓取机构包括设置...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯艳林，
申请(专利权)人：天津创昱达光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。