一种单晶硅片清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种单晶硅片清洗装置，包括：箱体、电机、丝杠；所述箱体为矩形壳体结构，且电机固定安装在箱体顶面的一侧；所述支架固定安装在滑块、丝杠螺母顶面上，且支架下端与主水管固定连接，并且分水管设置在主水管的下方；所述支撑板固定设置在箱体内壁的下部两侧；所述底板放置在支撑板的上方，且固定夹板阵列设置在底板顶面的一侧；所述固定槽开设在底板的两端，且固定螺栓穿过固定槽将活动夹板与底板固定；所述排水口开设在箱体的底部；本实用新型专利技术通过对单晶硅片清洗装置的改进，具有使用方便，可以夹装不同尺寸的单晶硅片，对单晶硅片的清洗更彻底，不留死角的优点，从而有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片清洗装置


[0001]本技术涉及单晶硅片制造
，更具体的说，尤其涉及一种单晶硅片清洗装置。

技术介绍

[0002]单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等，由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势。
[0003]单晶硅片是制造半导体硅器件的原料，用于制大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等的主要材料，在硅片加工过程中，单晶硅片易附着颗粒、有机物、金属或是吸附杂质分子，需要对其进行清洗，清洗时首先需要将单晶硅片放置在固定装置内，保持其稳定性。
[0004]现有清洗装置中单晶硅片固定装置一般只能固定一种尺寸的单晶硅片，清洗不同尺寸的单晶硅片时需要更换不同尺寸的固定装置，固定装置的使用效率较低，成本较高，同时单晶硅片摆放比较密集，水流冲洗时容易留有死角，存在清洗不彻底的现象。
[0005]有鉴于此，针对现有的问题予以研究改良，提供一种单晶硅片清洗装置，旨在通过该技术，达到解决问题与提高实用价值性的目的。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片清洗装置，包括：箱体(1)、电机(2)、丝杠(3)、导轨(4)、支架(5)、滑块(6)、轴座(7)、分水管(8)、支撑板(9)、固定夹板(10)、固定槽(11)、活动夹板(12)、底板(13)、固定螺栓(14)、箱门(15)、主水管(16)、丝杠螺母(17)、排水口(18)；其特征在于：所述箱体(1)为矩形壳体结构，且电机(2)固定安装在箱体(1)顶面的一侧，并且轴座(7)安装在箱体(1)顶面的另一侧；所述丝杠(3)两端分别与电机(2)、轴座(7)连接，且丝杠螺母(17)安装在丝杠(3)中间位置；所述导轨(4)安装在箱体(1)的顶面丝杠(3)的两侧，且滑块(6)插接安装在导轨(4)上；所述支架(5)固定安装在滑块(6)、丝杠螺母(17)顶面上，且支架(5)下端与主水管(16)固定连接，并且分水管(8)设置在主水管(16)的下方；所述支撑板(9)固定设置在箱体(1)内壁的下部两侧；所述底板(13)放置在支撑板(9)的上方，且固定夹板(10)阵列设置在底板(13)顶面的一侧；所述固定槽(11)开设在底板(13)的两端，且固定螺栓(14)穿过固定槽(11)将活动夹板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：信广志，
申请(专利权)人：天津创昱达光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：