一种单晶硅片的脱胶和收拢装置制造方法及图纸

技术编号:37169577 阅读:19 留言:0更新日期:2023-04-20 22:41
本实用新型专利技术公开了一种单晶硅片的脱胶和收拢装置,包括:脱胶箱;电加热管,均布的设置于脱胶箱内的底部;脱胶辅助机构,设置于脱胶箱内,对称的分布于传动架的两侧;传动架,设置于脱胶箱内,其底面设置有安装框;驱动机构,设置于脱胶箱的外侧,与传动架传动连接;硅片收拢机构,设置于安装框内。本实用新型专利技术的脱胶和收拢装置可自动完成单晶硅片的脱胶和收拢工序,脱胶彻底,生产效率高,确保了硅片顺利分片输出。输出。输出。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片的脱胶和收拢装置


[0001]本技术涉及单晶硅片的脱胶
,尤其涉及一种单晶硅片的脱胶和收拢装置。

技术介绍

[0002]单晶硅片的生产过程中,是将半导体晶圆粘接到料座上,然后通过切割设备将其切割成硅片,再将硅片和料座一同安置到料框内,随同料框一起进行加热脱胶处理,将硅片从料座上脱下。硅片完成脱胶后,经输出设备一片一片的输出。
[0003]针对单晶硅片的生产过程,现设计一款可自动将硅片从料座上脱下,且对其进行紧密收拢,自动化程度高的单晶硅片的脱胶和收拢装置,以方便后续的单晶硅片分片输出。

技术实现思路

[0004]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种脱胶彻底,生产效率高,可对硅片进行紧密收拢,确保硅片顺利分片输出的单晶硅片的脱胶和收拢装置。
[0005]本技术提供的一种单晶硅片的脱胶和收拢装置,包括:
[0006]脱胶箱;
[0007]电加热管,均布的设置于所述脱胶箱内的底部;
[0008]脱胶辅助机构,设置于所述脱胶箱内,对称的分布于传动架的两侧,用于使单晶硅片全部从料座上脱离;
[0009]传动架,设置于所述脱胶箱内,其底面设置有安装框;
[0010]驱动机构,设置于所述脱胶箱的外侧,与所述传动架传动连接,用于驱动所述传动架升高;
[0011]硅片收拢机构,设置于所述安装框内,装载有单晶硅片的料框放置于所述硅片收拢机构上,用于在所述传动架上升后使料框倾斜,进而使脱胶后的单晶硅片向料框的一端紧密堆叠收拢。
[0012]进一步的,所述硅片收拢机构包括:
[0013]底框,设置于所述安装框内,所述底框的两侧分别通过轴杆与所述安装框转动连接,所述轴杆安装于所述底框的中部与一端之间,所述脱胶箱内位于所述底框的下方固定设置有支撑板;
[0014]支撑框,固定设置于所述底框的顶面远离所述轴杆的一端,用于防止料框从倾斜的所述底框上掉下。
[0015]进一步的,所述底框的端部位于所述支撑框的下方设置有支撑轮;所述底框的两侧对称的设置有若干导向板。
[0016]进一步的,所述脱胶辅助机构包括:
[0017]第一传动轴,对称的设置于所述传动架的两侧,所述第一传动轴通过轴承与所述脱胶箱的内壁转动连接;
[0018]驱动部件,设置于所述脱胶箱的外壁上,与所述第一传动轴传动连接,用于驱动所述第一传动轴转动;
[0019]竖板,对称的设置于所述传动架的两侧,其底端与同侧的所述第一传动轴固定连接;
[0020]横板,对称的设置于所述传动架的两侧,与同侧的所述竖板的顶端内侧固定连接;
[0021]辅助脱胶杆,对称的设置于所述传动架的两侧,与同侧的所述横板固定连接,所述辅助脱胶杆位于所述横板远离竖板的一侧,所述辅助脱胶杆的表面设置有一层柔性防护层。
[0022]进一步的,所述驱动机构包括两两对称的固定设置于所述脱胶箱两端的四个第一导向套,所述第一导向套内均滑动套接的穿过有导向杆,同侧的两根所述导向杆的顶端之间固定设置有横梁,所述横梁的两端分别通过连接杆与所述传动架的顶部固定连接,同侧的两个所述第一导向套之间固定设置有第二导向套,所述第二导向套内滑动套接的穿过有传动杆,所述传动杆的顶端与所述横梁固定连接,所述传动杆的侧壁上沿其长度方向均布有传动齿,所述脱胶箱的下方设置有第二传动轴,所述第二传动轴上一一对应的固定套接有与所述传动齿相啮合的传动齿轮,所述第二传动轴的一端设置有驱动其转动的驱动电机。
[0023]相对于现有技术而言,本技术的有益效果是:
[0024](1)本技术的脱胶和收拢装置在传动架的两侧设置有脱胶辅助机构,进行硅片脱胶作业时,通过脱胶辅助机构可使受热后未脱落的硅片从料座上脱下,提高了硅片的脱胶效率。
[0025](2)本技术的脱胶和收拢装置设置有驱动机构和硅片收拢机构,硅片进行脱胶时,随料框一同放置到传动架内的硅片收拢机构上,硅片完成脱胶后,驱动机构驱动传动架上升,同时料框随硅片收拢机构一同产生倾斜,倾斜到一定角度后,料框内的硅片全部紧密的堆叠到一起,方便后续工序的输出设备将硅片逐一输出。
[0026]应当理解,
技术实现思路
部分中所描述的内容并非旨在限定本技术的实施例的关键或重要特征,亦非用于限制本技术的范围。本技术的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。
附图说明
[0027]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述,本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
[0028]图1为单晶硅片的脱胶和收拢装置的结构示意图;
[0029]图2为脱胶箱的内部结构示意图;
[0030]图3为驱动机构和硅片收拢机构的结构示意图;
[0031]图4为脱胶箱的结构示意图;
[0032]图5为料框放置于硅片收拢机构上的结构示意图;
[0033]图6为脱胶辅助机构的结构示意图。
[0034]图中标号:11、料框;12、脱胶箱;13、电加热管;14、脱胶辅助机构;15、传动架;16、驱动机构;17、硅片收拢机构;
[0035]21、支撑板;
[0036]41、第一传动轴;42、驱动部件;43、竖板;44、横板;45、辅助脱胶杆;
[0037]51、安装框;
[0038]61、第一导向套;62、导向杆;63、横梁;64、连接杆;65、第二导向套;66、传动杆;67、第二传动轴;68、传动齿轮;69、驱动电机;71、底框;72、轴杆;73、支撑框;74、支撑轮;75、导向板。
具体实施方式
[0039]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关技术,而非对该技术的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与技术相关的部分。
[0040]需要说明的是,在不冲突的情况下,本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0041]请参考图1~图6,本技术的实施例提供了一种单晶硅片的脱胶和收拢装置,包括:
[0042]脱胶箱12;
[0043]电加热管13,均布的设置于脱胶箱12内的底部;
[0044]脱胶辅助机构14,设置于脱胶箱12内,对称的分布于传动架15的两侧,用于使单晶硅片全部从料座上脱离;
[0045]传动架15,设置于脱胶箱12内,其底面设置有安装框51;
[0046]驱动机构16,设置于脱胶箱12的外侧,与传动架15传动连接,用于驱动传动架15升高;
[0047]硅片收拢机构17,设置于安装框51内,装载有单晶硅片的料框11放置于硅片收拢机构17上,用于在传动架15上升后使料框11倾斜,进而使脱胶后的单晶硅片向料框11的一端紧密堆叠收拢。
[0048]在本实施例中,粘接于料座上的本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片的脱胶和收拢装置,其特征在于,包括:脱胶箱;电加热管,均布的设置于所述脱胶箱内的底部;脱胶辅助机构,设置于所述脱胶箱内,对称的分布于传动架的两侧,用于使单晶硅片全部从料座上脱离;传动架,设置于所述脱胶箱内,其底面设置有安装框;驱动机构,设置于所述脱胶箱的外侧,与所述传动架传动连接,用于驱动所述传动架升高;硅片收拢机构,设置于所述安装框内,装载有单晶硅片的料框放置于所述硅片收拢机构上,用于在所述传动架上升后使料框倾斜,进而使脱胶后的单晶硅片向料框的一端紧密堆叠收拢。2.根据权利要求1所述的单晶硅片的脱胶和收拢装置,其特征在于,所述硅片收拢机构包括:底框,设置于所述安装框内,所述底框的两侧分别通过轴杆与所述安装框转动连接,所述轴杆安装于所述底框的中部与一端之间,所述脱胶箱内位于所述底框的下方固定设置有支撑板;支撑框,固定设置于所述底框的顶面远离所述轴杆的一端,用于防止料框从倾斜的所述底框上掉下。3.根据权利要求2所述的单晶硅片的脱胶和收拢装置,其特征在于,所述底框的端部位于所述支撑框的下方设置有支撑轮;所述底框的两侧对称的设置有若干导向板。4.根据权利要求1所述的单晶硅片的脱胶和收拢装置,其特征在于,所述脱胶辅助机构包括:第一传动轴,对称的...

【专利技术属性】
技术研发人员:冯艳林
申请(专利权)人:天津创昱达光伏科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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