一种图形化蓝宝石衬底在刻蚀作业异常中断补救方法技术

本发明专利技术公开了一种图形化蓝宝石衬底在刻蚀作业异常中断补救方法，涉及刻蚀技术领域；为了避免蓝宝石在刻蚀作业中出现异常中断后造成报废；该中断补救方法以下步骤：当刻蚀机出现报警导致刻蚀过程中断后，对当前已刻蚀时间和当前已刻蚀所在步骤进行查明；对需要再次刻蚀的时间进行计算；将产品传入刻蚀机并使用计算的补救方案进行再次刻蚀；将完成再次刻蚀后的产品传出，完成整个刻蚀的过程。本发明专利技术通过在出现刻蚀异常后，对此时蓝宝石衬底所处的刻蚀步骤和已刻蚀时间，对蓝宝石衬底需要再刻蚀所需时间进行计算，利用计算后的时间将蓝宝石衬底再次输送到刻蚀机内进行再刻蚀，从而可以避免蓝宝石衬底报废。以避免蓝宝石衬底报废。以避免蓝宝石衬底报废。

【技术实现步骤摘要】
一种图形化蓝宝石衬底在刻蚀作业异常中断补救方法


[0001]本专利技术涉及刻蚀领域，尤其涉及一种图形化蓝宝石衬底在刻蚀作业异常中断补救方法。

技术介绍

[0002]在刻蚀领域，GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上，蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好；稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底，目前的生产状态下，刻蚀机因各种报警等原因导致的加工产品在作业中异常中断后被传出，产品无法继续正常刻蚀，属于报废产品，无法供应客户，浪费产能和成本，因此为了避免加工产品出现报废，保证加工产品在补救后可以进行再次刻蚀；
[0003]为了降低因刻蚀中断导致的报废产品产出量，提出一种适用于图形化蓝宝石衬底在刻蚀作业中异常中断后的补救方法,可以有效解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种图形化蓝宝石衬底在刻蚀作业异常中断补救方法。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0006]一种图形化蓝宝石衬底在刻蚀作业异常中断补救方法，包括以下步骤：
[0007]S1：当刻蚀机出现报警导致刻蚀过程中断后，对当前已刻蚀时间和当前已刻蚀所在步骤进行查明；
[0008]S2：对需要再次刻蚀的时间进行计算；
[0009]S3：将产品传入刻蚀机并使用S2步骤中计算的补救方案进行再次刻蚀；
[0010]S4：将完成再次刻蚀后的产品传出，完成整个刻蚀的过程。r/>[0011]优选的：所述S1步骤中的已刻蚀时间和已刻蚀所在步骤利用刻蚀机内Data Log进行查询。
[0012]优选的：所述S2步骤中的再次刻蚀的时间单位为S。
[0013]作为本专利技术优选的：所述蚀刻机刻蚀过程分为三大步骤，其包括：
[0014]1：STABLE步骤；所述STABLE步骤设定的总时间为T
STA
，STABLE步骤已刻蚀时间为X
STA
；
[0015]2：ME步骤；设定ME步骤总时间为T
ME
，ME步骤已刻蚀时间为X
ME
；
[0016]3：OE步骤；设定OE步骤总时间为T
OE
，OE步骤已刻蚀时间为X
OE
。
[0017]作为本专利技术一种优选的：所述S2步骤中的对再次刻蚀所需的时间进行计算，包括以下步骤：
[0018]S21：当处于STABLE步骤时，X
STA
不论多少,补救方案均为STABLE步骤(时间为T
STA
)+ME步骤(时间为T
ME
)+OE步骤(时间为T
OE
)；
[0019]S22：当处于ME步骤时，若X
ME
＜20s，则补救方案为STABLE步骤(时间为T
STA
)+ME步骤
(时间为T
ME
)+OE步骤(时间为T
OE
)；
[0020]当处于ME步骤时，若(T
ME
‑
X
ME
)＞20s，则补救方案为STABLE步骤(时间为T
STA
)+ME步骤(时间为20s+T
ME
‑
X
ME
)+OE步骤(时间为T
OE
)；
[0021]当处于ME步骤时，若(T
ME
‑
X
ME
)＜20s，则补救方案为STABLE步骤(时间为T
STA
)+OE步骤(时间为T
OE
)；
[0022]S23：当处于OE步骤时，若X
OE
＜20s，则补救方案为STABLE步骤(时间为T
STA
)+OE步骤(时间为T
OE
)；
[0023]当处于OE步骤时，若(T
OE
‑
X
OE
)＞20s，则补救方案为STABLE步骤(时间为T
STA
)+OE步骤(时间为20s+T
OE
‑
X
OE
)；
[0024]当处于OE步骤时，若(T
OE
‑
X
OE
)＜20s，则补救方案为无需补救。
[0025]作为本专利技术一种优选的：所述S1步骤中的刻蚀机的刻蚀过程，包括以下步骤：
[0026]S11：将待刻蚀件利用传送设备传送到装载腔内；
[0027]S12：利用传输腔内的机械手将待刻蚀件送入到中转腔内进行中转；
[0028]S13：对加工工艺腔进行检测；
[0029]S14：利用机械手将待刻蚀件送入到加工工艺腔内进行刻蚀作业。
[0030]进一步的：所述刻蚀机的刻蚀方式采用干法工艺进行刻蚀。
[0031]作为本专利技术进一步的方案：所述干法工艺刻蚀的步骤包括：
[0032]1：电流通入线圈产生磁场，磁场感应出电场；
[0033]2：工艺气体通入电场，电场加速电子，与工艺气体碰撞，使气体解离成电浆；
[0034]3：再利用下电极將离子往下拉去与光阻和衬底发生作用达到刻蚀效果。
[0035]本专利技术的有益效果为：
[0036]1.当刻蚀机由于出现报警等原因出现刻蚀过程中断后，通过对当前已经刻蚀的时间和当前所处的刻蚀步骤进行查询，从而指定相应的补救方案，便于对需要再次刻蚀所需的时间进行计算。
[0037]2.通过将刻蚀的过程分为STABLE步骤、ME步骤和OE步骤三大步骤，通过对各个步骤所需的总时间进行设定，同时对每个步骤已经进行的时间进行采集，从而可以根据蓝宝石衬底所处的步骤阶段不同和时间的不同，确定最优的再刻蚀时间，从而可以有效提高加工产品的良品率。
[0038]3.在时间计算完毕后，通过将蓝宝石衬底利用补救方案再次导入到刻蚀机内进行再次刻蚀，从而可以避免蓝宝石衬底报废，从而提高产能，降低生产成本。
附图说明
[0039]图1是本专利技术提出的一种图形化蓝宝石衬底在刻蚀作业异常中断补救方法的流程结构示意图。
具体实施方式
[0040]下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
[0041]下面详细描述本专利的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附
图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。
[0042]在本专利的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种图形化蓝宝石衬底在刻蚀作业异常中断补救方法，其特征是，包括以下步骤：S1：当刻蚀机出现报警导致刻蚀过程中断后，对当前已刻蚀时间和当前已刻蚀所在步骤进行查明；S2：对需要再次刻蚀的时间进行计算；S3：将产品传入刻蚀机并使用S2步骤中计算的补救方案进行再次刻蚀；S4：将完成再次刻蚀后的产品传出，完成整个刻蚀的过程。2.根据权利要求1所述的一种图形化蓝宝石衬底在刻蚀作业异常中断补救方法，其特征是，所述S1步骤中的已刻蚀时间和已刻蚀所在步骤利用刻蚀机内Data Log进行查询。3.根据权利要求1所述的一种图形化蓝宝石衬底在刻蚀作业异常中断补救方法，其特征是，所述S2步骤中的再次刻蚀的时间单位为S。4.根据权利要求1所述的一种图形化蓝宝石衬底在刻蚀作业异常中断补救方法，其特征是，所述蚀刻机刻蚀过程分为三大步骤，其包括：1：STABLE步骤；STABLE步骤设定的总时间为T
STA
，STABLE步骤已刻蚀时间为X
STA
；2：ME步骤；设定ME步骤总时间为T
ME
，ME步骤已刻蚀时间为X
ME
；3：OE步骤；设定OE步骤总时间为T
OE
，OE步骤已刻蚀时间为X
OE
。5.根据权利要求4所述的一种图形化蓝宝石衬底在刻蚀作业异常中断补救方法，其特征是，所述S2步骤中的对再次刻蚀所需的时间进行计算，包括以下步骤：S21：当处于STABLE步骤时，X
STA
不论多少,补救方案均为STABLE步骤(时间为T
STA
)+ME步骤(时间为T
ME
)+OE步骤(时间为T
OE
)；S22：当处于ME步骤时，若X
ME
＜20s，则补救方案为STABLE步骤(时间为T
STA
)+ME步骤(时间为T
ME
)+OE步骤(时间为T
OE
)；当处于ME步骤时，若(T
ME
‑
X
ME
)＞2...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫士波，丁建峰，张洋洋，王刚，潘晓忠，姚志炎，
申请(专利权)人：徐州美兴光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：