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本发明公开了一种图形化蓝宝石衬底在刻蚀作业异常中断补救方法，涉及刻蚀技术领域；为了避免蓝宝石在刻蚀作业中出现异常中断后造成报废；该中断补救方法以下步骤：当刻蚀机出现报警导致刻蚀过程中断后，对当前已刻蚀时间和当前已刻蚀所在步骤进行查明；对需要...
该专利属于徐州美兴光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过徐州美兴光电科技有限公司授权不得商用。

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