本发明公开了一种纳米压印的图形修饰方法，涉及蓝宝石图形化衬底技术领域；为了提升处理效果；包括如下步骤：第一步刻蚀，扫描蚀刻，使用氧气，铲除掉纳米压印技术残留得底膜，减小纳米压印图形顶宽；第二步刻蚀，主蚀刻，提升选择比，累计足够得高度和宽...

本申请涉及检验输送装置技术领域，具体为一种蓝宝石衬底检验输送装置。本申请包括支架，所述支架的两端转动连接有滚轮，所述滚轮的圆弧面传动连接有传送带，所述支架的上表面设有固定结构，所述固定结构包括支撑柱，所述支撑柱的一端与支架固定连接，所述...

本实用新型涉及芯片技术领域，具体为一种复合式LED蓝宝石衬底，包括安装座、设备本体和衬底本体，还包括防护装置，设备本体放置在安装座的内壁，衬底本体设置在设备本体的表面，防护装置设置在设备本体的表面，防护装置包括固定块，固定块与设备本体的...

本实用新型公开了一种蓝宝石衬底成品输送装置，包括底座，所述底座的顶部固定连接有箱体，所述箱体的内腔活动连接有固定块，所述固定块的表面开设有放置槽，所述放置槽的内腔粘接有橡胶垫，所述固定块的左侧固定连接有铁块，所述箱体内腔的左侧固定连接有...

本发明公开了一种温度监测报警系统及方法，涉及散热技术领域；该系统包括散热门板和均匀设置于散热门板上的多个工业散热风扇，所述散热门板位于风扇轴线处延伸出有线性支架，线性支架的外壁通过螺栓固定有温度传感芯片,所述温度传感芯片与工业散热风扇一...

本实用新型涉及光刻胶储存技术领域，具体为一种光刻胶储存设备，包括外箱体、接头、排风管道和夹持装置，接头与外箱体的表面固定连接，排风管道与外箱体的表面固定连接，外箱体的内壁固定连接有恒温箱，外箱体的内壁固定连接有滑轨，夹持装置设置在外箱体...

本实用新型涉及光刻领域，具体为一种制造图形化蓝宝石衬底的掩膜版，包括底座、放置杆、安装块和设备本体，还包括固定装置，放置杆与底座的表面固定连接，安装块与底座的表面固定连接，设备本体放置在放置杆的表面，固定装置设置在安装块的表面，设备本体...

本实用新型涉及刻蚀技术领域，具体为一种用于干法刻LED图形化蓝宝石衬底的复合托盘，包括底座、支柱、盘体和宝石本体，还包括固定装置，支柱与底座的表面固定连接，盘体与支柱的表面固定连接，宝石本体放置在盘体内壁，固定装置设置在支柱表面，固定装...

本实用新型涉及蓝宝石衬底技术领域，具体为一种微纳米图形化蓝宝石衬底，包括衬底体和防护装置，防护装置设置在衬底体的表面上，防护装置包括加强层，加强层与衬底体的表面固定连接，加强层的一侧固定连接有防腐层，防腐层的一侧固定连接有耐温层，耐温层...

本申请涉及涂胶机技术领域，具体为一种基于半导体涂胶机的喷头清洁装置，包括清洁器，所述清洁器的表面开设有清洗槽，所述清洁器的侧壁连通有进液管，所述清洁器靠近进液管的一侧连通有氮气管，所述清洁器内安装有液位传感器，所述清洁器的下表面连通有排...

本发明公开了一种图形化蓝宝石衬底在刻蚀作业异常中断补救方法，涉及刻蚀技术领域；为了避免蓝宝石在刻蚀作业中出现异常中断后造成报废；该中断补救方法以下步骤：当刻蚀机出现报警导致刻蚀过程中断后，对当前已刻蚀时间和当前已刻蚀所在步骤进行查明；对...

本发明公开了一种图形化蓝宝石衬底尺寸不良片返工再利用工艺，涉及蓝宝石衬底不良片再利用技术领域；为了便于将蓝宝石衬底尺寸不良片针对性的区分处理；具体包括以下步骤：S1：一次检测，检测蓝宝石衬底尺寸不良片，底宽计为W，高度计为H；S2：分类...

本发明公开了一种蓝宝石复合衬底的制作方法，涉及蓝宝石复合衬底制作技术领域；为了节约工序，降低生产成本；所述蓝宝石复合衬底的结构具体包括：蓝宝石衬底；氧化硅凝胶，所述氧化硅凝胶呈锥形结构；凸起部，所述凸起部一体式设置于蓝宝石衬底顶部外壁，...

本发明公开了一种PSS图形化衬底刻蚀方法，涉及等离子技术领域；为了解决刻蚀高度小以及底宽大且侧边弧度大的问题，包括如下步骤：衬底清洗；衬底制作，准备衬底，并在衬底上制作所需图形掩膜；刻蚀，刻蚀结束，取出工件，所述步骤三中，步骤切换点为：...

本发明公开了一种具有自清洁功能的蓝宝石刻蚀设备，涉及蓝宝石刻蚀技术领域；为了提高自清洁的效率；包括支撑座、刻蚀工艺箱组件、中转箱组件、装载箱组件、实心铝盘主体、传输机构和清洁机构，所述清洁机构包括温控自清洁箱、旋转组件、清洗组件和涮洗组...

本实用新型公开一种用于干法蚀刻设备机械手臂不间断供电的电池更换系统，包括机械臂，所述机械臂内设有编码器，编码器与电池连接并由电池供电；所述机械臂通过电线与上连接线槽连接，所述上连接线槽布置在万能焊接板的上表面，每个上连接线槽与万能焊接板...

本实用新型公开了一种Scrubber设备进气管路自动冲洗装置，Scrubber设备，其顶部设有进气管路；所述进气管路通过水泵供水进行清洗；所述水泵的出水管上还安装有可间隔一定时间对进气管路清洗的自动冲洗装置。本实用新型有益技术效果：操作...

本实用新型公开一种用于冷盘的清洁系统，包括冷却管路，所述冷却管路上安装有气动阀一、冷盘和气动阀二，所述气动阀一和气动阀二分别安装在冷盘的两端，还包括连接在冷却管路上的进液管路和废液管路；所述进液管路与溶液桶连接，进液管路上安装有气动阀四...

本实用新型公开一种光刻胶喷头清洁装置，包括光刻胶喷头、控制器、与光刻胶喷头连接的机械臂、设置在光刻胶喷头侧面的清洁喷头，机械臂、光刻胶喷头和清洁喷头分别与控制器连接；机械臂用于控制光刻胶喷头移动至清洁位置，当光刻胶喷头移动到位时，清洁喷...