一种制造图形化蓝宝石衬底的掩膜版制造技术

本实用新型专利技术涉及光刻领域，具体为一种制造图形化蓝宝石衬底的掩膜版，包括底座、放置杆、安装块和设备本体，还包括固定装置，放置杆与底座的表面固定连接，安装块与底座的表面固定连接，设备本体放置在放置杆的表面，固定装置设置在安装块的表面，设备本体的表面固定连接有稳固块，安装块的内壁设置有拉伸弹簧，拉伸弹簧的两端均固定连接有连接杆，连接杆与安装块的内壁滑动连接。本实用新型专利技术，通过设置固定装置，便于将设备本体进行便捷安放，保证设备本体在放置时更加稳定，对此有效地提升了设备的稳定性。的稳定性。的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种制造图形化蓝宝石衬底的掩膜版


[0001]本技术涉及光刻领域，尤其涉及一种制造图形化蓝宝石衬底的掩膜版。

技术介绍

[0002]光掩膜基版是制作微细光掩膜图形的理想感光性空白板，通过光刻制版工艺可以获得所需光掩膜版，由于现有的设备本体较为精密，在加工时难以稳定放置设备，存在影响设备正常使用的情况，降低设备的稳定性，对此需要进行改进。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在设备本体较为精密，在加工时难以稳定放置设备，存在影响设备正常使用的情况，降低设备稳定性的缺点，而提出的一种制造图形化蓝宝石衬底的掩膜版。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种制造图形化蓝宝石衬底的掩膜版，包括底座、放置杆、安装块和设备本体，还包括固定装置，所述放置杆与底座的表面固定连接，所述安装块与底座的表面固定连接，所述设备本体放置在放置杆的表面，所述固定装置设置在安装块的表面，所述设备本体的表面固定连接有稳固块，所述安装块的内壁设置有拉伸弹簧，所述拉伸弹簧的两端均固定连接有连接杆，所述连接杆与安装块的内壁滑动连接。
[0005]优选的，所述连接块远离拉伸弹簧的一端固定连接有套块，所述套块与稳固块的表面套设连接。
[0006]优选的，所述安装块的表面固定连接有固定块，所述固定块的表面滑动连接有插销，所述插销的表面固定连接有拉块，所述插销远离拉块的一端与连接杆的表面插设连接。
[0007]优选的，所述拉块的表面固定连接有伸缩弹簧，所述伸缩弹簧远离拉块的一端与稳固块的表面固定连接。
[0008]优选的，所述底座的表面设置有取件装置，所述取件装置包括套杆，所述套杆与底座的表面固定连接，所述套杆的内壁滑动连接有齿杆，所述齿杆的表面固定连接有顶块，所述顶块与设备本体的下表面相抵。
[0009]优选的，所述套杆的表面转动连接有扭块，所述扭块的表面固定连接有齿轮，所述齿轮与齿杆的表面啮合连接，所述套杆的内壁固定连接有固定弹簧。
[0010]优选的，所述固定弹簧的表面固定连接有拉杆，所述拉杆与套杆的内壁滑动连接，所述拉杆远离固定弹簧的一端固定连接有卡块，所述卡块与齿杆的表面插设连接。
[0011]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于：
[0012]1.本技术中，通过设置固定装置，拉动拉块，插销相继受力脱离连接杆的表面，随即拉动连接杆，套块相继受力远离安装块。随即将设备本体安放在放置杆的表面，随即松开连接杆，拉伸弹簧失去束缚后回弹，套块相继受力与固定块的表面套设连接，同时松开拉块，伸缩弹簧同时失去束缚后回弹，插销相继受力插入连接杆的表面，通过设置固定装
置，便于将设备本体进行便捷安放，保证设备本体在放置时更加稳定，对此有效地提升了设备的稳定性。
[0013]2.本技术中，通过设置取件装置，拉动拉杆，固定弹簧失去束缚后回弹，卡块相继受力脱离齿杆的表面，随即转动扭块，齿轮同时受力旋转，齿杆相继受力上升，顶块同时受力将设备本体顶出放置杆表面，随即松开拉杆，固定弹簧失去束缚后回弹，卡块相继受力插入齿杆的表面，通过设置取件装置，便于将设备本体快速取出放置杆的表面，保证设备本体的表面更加稳定，对此有效地提升了设备的易用性。
附图说明
[0014]图1为本技术提出一种制造图形化蓝宝石衬底的掩膜版的立体结构示意图；
[0015]图2为本技术提出一种制造图形化蓝宝石衬底的掩膜版中固定装置的主体结构示意图；
[0016]图3为本技术提出一种制造图形化蓝宝石衬底的掩膜版中图2的A处示意图；
[0017]图4为本技术提出一种制造图形化蓝宝石衬底的掩膜版中取件装置的主体结构示意图；
[0018]图5为本技术提出一种制造图形化蓝宝石衬底的掩膜版中图4的B处示意图。
[0019]图例说明：
[0020]1、底座；2、放置杆；3、安装块；4、设备本体；5、固定装置；51、稳固块；52、拉伸弹簧；53、连接杆；54、套块；55、固定块；56、插销；57、拉块；58、伸缩弹簧；6、取件装置；61、套杆；62、齿杆；63、顶块；64、扭块；65、齿轮；66、固定弹簧；67、拉杆；68、卡块。
具体实施方式
[0021]请参阅图1
‑
5，本技术提供一种技术方案：一种制造图形化蓝宝石衬底的掩膜版，包括底座1、放置杆2、安装块3和设备本体4，还包括固定装置5，放置杆2与底座1的表面固定连接，安装块3与底座1的表面固定连接，设备本体4放置在放置杆2的表面，固定装置5设置在安装块3的表面。
[0022]下面具体说一下其固定装置5和取件装置6的具体设置和作用。
[0023]本实施方案中：设备本体4的表面固定连接有稳固块51，安装块3的内壁设置有拉伸弹簧52，拉伸弹簧52的两端均固定连接有连接杆53，连接杆53与安装块3的内壁滑动连接。
[0024]在本实施例中：通过设置拉伸弹簧52，便于拉动连接杆53复位。
[0025]具体的，连接块远离拉伸弹簧52的一端固定连接有套块54，套块54与稳固块51的表面套设连接。
[0026]在本实施例中：通过设置套块54与稳固块51的表面套设连接，便于将设备本体4进行初步固定。
[0027]具体的，安装块3的表面固定连接有固定块55，固定块55的表面滑动连接有插销56，插销56的表面固定连接有拉块57，插销56远离拉块57的一端与连接杆53的表面插设连接。
[0028]在本实施例中：通过设置插销56，便于将连接杆53进行定位。
[0029]具体的，拉块57的表面固定连接有伸缩弹簧58，伸缩弹簧58远离拉块57的一端与稳固块51的表面固定连接。
[0030]在本实施例中：通过设置伸缩弹簧58，便于拉动拉块57复位固定。
[0031]具体的，底座1的表面设置有取件装置6，取件装置6包括套杆61，套杆61与底座1的表面固定连接，套杆61的内壁滑动连接有齿杆62，齿杆62的表面固定连接有顶块63，顶块63与设备本体4的下表面相抵。
[0032]在本实施例中：通过设置齿杆62，便于控制顶块63将设备本体4向上抬升。
[0033]具体的，套杆61的表面转动连接有扭块64，扭块64的表面固定连接有齿轮65，齿轮65与齿杆62的表面啮合连接，套杆61的内壁固定连接有固定弹簧66。
[0034]在本实施例中：通过转动扭块64便于控制齿轮65旋转后将齿杆62向上提升。
[0035]具体的，固定弹簧66的表面固定连接有拉杆67，拉杆67与套杆61的内壁滑动连接，拉杆67远离固定弹簧66的一端固定连接有卡块68，卡块68与齿杆62的表面插设连接。
[0036]在本实施例中：通过设置卡块68，便于将齿杆62进固定。
[0037]工作原理：通过设置固定装置5，拉动拉块57，插销56相继受力脱离连接杆53的表面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种制造图形化蓝宝石衬底的掩膜版，包括底座(1)、放置杆(2)、安装块(3)和设备本体(4)，其特征在于：还包括固定装置(5)，所述放置杆(2)与底座(1)的表面固定连接，所述安装块(3)与底座(1)的表面固定连接，所述设备本体(4)放置在放置杆(2)的表面，所述固定装置(5)设置在安装块(3)的表面，所述设备本体(4)的表面固定连接有稳固块(51)，所述安装块(3)的内壁设置有拉伸弹簧(52)，所述拉伸弹簧(52)的两端均固定连接有连接杆(53)，所述连接杆(53)与安装块(3)的内壁滑动连接。2.根据权利要求1所述的一种制造图形化蓝宝石衬底的掩膜版，其特征在于：所述连接杆远离拉伸弹簧(52)的一端固定连接有套块(54)，所述套块(54)与稳固块(51)的表面套设连接。3.根据权利要求2所述的一种制造图形化蓝宝石衬底的掩膜版，其特征在于：所述安装块(3)的表面固定连接有固定块(55)，所述固定块(55)的表面滑动连接有插销(56)，所述插销(56)的表面固定连接有拉块(57)，所述插销(56)远离拉块(57)的一端与连接杆(53)的表面插设连接。4.根据权利要求3所述的一种制造图形化蓝宝石衬底的掩膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：王刚，丁建峰，张洋洋，潘晓忠，姚志炎，
申请(专利权)人：徐州美兴光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：