一种光刻胶储存设备制造技术

本实用新型专利技术涉及光刻胶储存技术领域，具体为一种光刻胶储存设备，包括外箱体、接头、排风管道和夹持装置，接头与外箱体的表面固定连接，排风管道与外箱体的表面固定连接，外箱体的内壁固定连接有恒温箱，外箱体的内壁固定连接有滑轨，夹持装置设置在外箱体的表面，夹持装置包括定位架，定位架与外箱体的表面固定连接，定位架的表面固定连接有支撑架，支撑架的内壁转动连接有连接架，连接架的表面固定连接有衔接扣，连接架的表面开设有导向孔，导向孔的内壁滑动连接有拨块。本实用新型专利技术，通过设置夹持装置，增加了设备的稳定性，继而降低了外接管道的松动概率，提高了外接管道的牢固性，提高了设备的安全性。提高了设备的安全性。提高了设备的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶储存设备


[0001]本技术涉及光刻胶储存
，尤其涉及一种光刻胶储存设备。

技术介绍

[0002]光刻胶即用于光刻机的耐蚀剂刻薄膜材料。目前市面上大多数光刻胶存放设备外接管道时多采用套设方式，在使用的过程中，外接管道易发生松动，导致接口处出现漏气等现象，对此需进行改进。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在使用的过程中，外接管道易发生松动，导致接口处出现漏气等现象的缺点，而提出的一种光刻胶储存设备。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种光刻胶储存设备，包括外箱体、接头、排风管道和夹持装置，所述接头与外箱体的表面固定连接，所述排风管道与外箱体的表面固定连接，所述外箱体的内壁固定连接有恒温箱，所述外箱体的内壁固定连接有滑轨，所述夹持装置设置在外箱体的表面，所述夹持装置包括定位架，所述定位架与外箱体的表面固定连接，所述定位架的表面固定连接有支撑架，所述支撑架的内壁转动连接有连接架。
[0005]优选的，所述连接架的表面固定连接有衔接扣，所述连接架的表面开设有导向孔，所述导向孔的内壁滑动连接有拨块，所述拨块的表面固定连接有卡扣，所述拨块的表面固定连接有限位弹簧。设置衔接扣，通过衔接扣可对外接管道进行夹持。
[0006]优选的，所述支撑架的数量为两个，两个所述支撑架关于定位架呈左右对称设置，所述支撑架的表面开设有卡槽，所述卡扣与卡槽内壁相卡接。设置支撑架，通过支撑架可对连接架的轴心进行固定。
[0007]优选的，所述连接架位于导向孔的内壁开设有收纳槽，所述限位弹簧与收纳槽的内壁固定连接，所述卡扣与导向孔的内壁滑动连接。设置卡扣，通过卡扣可对连接架的位置进行约束。
[0008]优选的，所述排风管道的表面设置有过滤装置，所述过滤装置包括限位环，所述限位环与排风管道的表面固定连接，所述限位环的内壁抵接有滤芯，所述限位环的内壁卡接有定位环。设置限位环，通过限位环可对滤芯进行初步固定。
[0009]优选的，所述限位环的表面开设有滑槽，所述滑槽的内壁滑动连接有约束架，所述约束架的表面固定连接有滑块，所述滑块的表面抵接有复位弹簧。设置约束架，通过约束架可对定位环进行固定。
[0010]优选的，所述定位环与滤芯的表面相抵接，所述定位环的表面开设有固定槽，所述定位环的表面开设有通孔，所述通孔与固定槽相连通，所述约束架贯穿通孔与卡槽相卡接，所述滑块与滑槽内壁滑动连接，所述复位弹簧与滑槽的内壁固定连接。设置复位弹簧，通过复位弹簧和滑块的配合可对约束架的位置进行约束。
[0011]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于：
[0012]本技术中，通过设置夹持装置，在将外接管道套至接头表面后，拨动拨块，拨块对限位弹簧进行挤压，限位弹簧被挤压形变，拨块失去限位弹簧的限制带动卡扣位移，转动连接架，连接架推动衔接扣，衔接扣被推动卡至外接管道，随即松开拨块，限位弹簧失去拨块的压力回弹，拨块被限位弹簧推动复位，卡扣在拨块的推动下卡至卡槽内，通过设置夹持装置，增加了设备的稳定性，继而降低了外接管道的松动概率，提高了外接管道的牢固性，提高了设备的安全性。
附图说明
[0013]图1为本技术提出一种光刻胶储存设备的立体结构示意图；
[0014]图2为本技术提出一种光刻胶储存设备的另一角度结构示意图；
[0015]图3为本技术提出一种光刻胶储存设备的图2中A处结构示意图；
[0016]图4为本技术提出一种光刻胶储存设备的夹持装置结构示意图；
[0017]图5为本技术提出一种光刻胶储存设备的过滤装置结构示意图。
[0018]图例说明：
[0019]1、外箱体；2、接头；3、排风管道；4、恒温箱；5、滑轨；6、夹持装置； 61、定位架；62、支撑架；63、连接架；64、衔接扣；65、拨块；66、卡扣； 67、限位弹簧；7、过滤装置；71、限位环；72、滤芯；73、定位环；74、约束架；75、滑块；76、复位弹簧。
具体实施方式
[0020]请参阅图1
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5，本技术提供一种技术方案：一种光刻胶储存设备，包括外箱体1、接头2、排风管道3和夹持装置6，接头2与外箱体1的表面固定连接，排风管道3与外箱体1的表面固定连接，外箱体1的内壁固定连接有恒温箱4，外箱体1的内壁固定连接有滑轨5，夹持装置6设置在外箱体1的表面，排风管道3的表面设置有过滤装置7。
[0021]下面具体说一下其夹持装置6和过滤装置7的具体设置和作用。
[0022]本实施方案中：夹持装置6包括定位架61，定位架61与外箱体1的表面固定连接，定位架61的表面固定连接有支撑架62，支撑架62的内壁转动连接有连接架63。
[0023]具体的，连接架63的表面固定连接有衔接扣64，连接架63的表面开设有导向孔，导向孔的内壁滑动连接有拨块65，拨块65的表面固定连接有卡扣66，拨块65的表面固定连接有限位弹簧67。设置衔接扣64，通过衔接扣64可对外接管道进行夹持。
[0024]具体的，支撑架62的数量为两个，两个支撑架62关于定位架61呈左右对称设置，支撑架62的表面开设有卡槽，卡扣66与卡槽内壁相卡接。
[0025]在本实施例中：设置支撑架62，通过支撑架62可对连接架63的轴心进行固定。
[0026]具体的，连接架63位于导向孔的内壁开设有收纳槽，限位弹簧67与收纳槽的内壁固定连接，卡扣66与导向孔的内壁滑动连接。设置卡扣66，通过卡扣66 可对连接架63的位置进行约束。
[0027]在本实施例中：过滤装置7包括限位环71，限位环71与排风管道3的表面固定连接，限位环71的内壁抵接有滤芯72，限位环71的内壁卡接有定位环73。
[0028]在本实施例中：设置限位环71，通过限位环71可对滤芯72进行初步固定。
[0029]具体的，限位环71的表面开设有滑槽，滑槽的内壁滑动连接有约束架74，约束架74的表面固定连接有滑块75，滑块75的表面抵接有复位弹簧76。设置约束架74，通过约束架74可对定位环73进行固定。
[0030]具体的，定位环73与滤芯72的表面相抵接，定位环73的表面开设有固定槽，定位环73的表面开设有通孔，通孔与固定槽相连通，约束架74贯穿通孔与卡槽相卡接，滑块75与滑槽内壁滑动连接，复位弹簧76与滑槽的内壁固定连接。
[0031]在本实施例中：设置复位弹簧76，通过复位弹簧76和滑块75的配合可对约束架74的位置进行约束。
[0032]工作原理：在将外接管道套至接头2表面后，拨动拨块65，拨块65对限位弹簧67进行挤压，限位弹簧67被挤压形变，拨块65失去限位弹簧67的限制带动卡扣66位移，转动连接架63，连接架63推动衔接扣64，衔接扣64被推动卡至外接管道，随即松开拨块65，限位弹簧67失去拨块65的压力回弹，拨块65被限位弹簧67推动复本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶储存设备，包括外箱体(1)、接头(2)、排风管道(3)和夹持装置(6)，其特征在于：所述接头(2)与外箱体(1)的表面固定连接，所述排风管道(3)与外箱体(1)的表面固定连接，所述外箱体(1)的内壁固定连接有恒温箱(4)，所述外箱体(1)的内壁固定连接有滑轨(5)，所述夹持装置(6)设置在外箱体(1)的表面，所述夹持装置(6)包括定位架(61)，所述定位架(61)与外箱体(1)的表面固定连接，所述定位架(61)的表面固定连接有支撑架(62)，所述支撑架(62)的内壁转动连接有连接架(63)。2.根据权利要求1所述的一种光刻胶储存设备，其特征在于：所述连接架(63)的表面固定连接有衔接扣(64)，所述连接架(63)的表面开设有导向孔，所述导向孔的内壁滑动连接有拨块(65)，所述拨块(65)的表面固定连接有卡扣(66)，所述拨块(65)的表面固定连接有限位弹簧(67)。3.根据权利要求2所述的一种光刻胶储存设备，其特征在于：所述支撑架(62)的数量为两个，两个所述支撑架(62)关于定位架(61)呈左右对称设置，所述支撑架(62)的表面开设有卡槽，所述卡扣(66)与卡槽内壁相卡接。4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑锦涛，丁建峰，张洋洋，王刚，潘晓忠，姚志炎，
申请(专利权)人：徐州美兴光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：