一种直写式光刻机的自动压板机构及其控制方法技术

本发明专利技术涉及一种直写式光刻机的自动压板机构，包括工作台、X轴压板、用于驱动X轴压板的X轴驱动机构、Y轴压板、用于驱动Y轴压板的Y轴驱动机构及下压机构，X轴压板安装于X轴驱动机构的输出端，Y轴压板安装于Y轴驱动机构的输出端；下压机构包括X轴下压件、Y轴下压件及XY轴边缘下压件；还包括控制单元、X轴伺服驱动单元、Y轴伺服驱动单元及上位机单元，控制单元对下压机构进行指令操作；上位机单元与控制单元连接。该自动压板机构自动化程度高，压紧效果好，能够保证PCB电路板在水平度内。一种直写式光刻机的自动压板机构的控制方法，用于控制上述自动压板机构，同样能够保证自动压板机构的自动化、高效率。高效率。高效率。

【技术实现步骤摘要】
一种直写式光刻机的自动压板机构及其控制方法


[0001]本专利技术涉及光刻机
，具体是一种直写式光刻机的自动压板机构及其控制方法。

技术介绍

[0002]激光直接成像技术简称LDI（LaserDirectImage），是利用工作站输出图像数据，并通过激光器、数字微镜器件以及光学光路等成像装置，在涂有光致抗蚀剂的印制电路板上进行图形成像的一门技术。
[0003]直写式光刻技术是近年来发展起来的影像直接转移技术。现阶段的直写光刻设备对印制电路板（PCB）进行曝光的时候，一般是利用激光直接成像技术对放置在平台上的电路板进行成像。
[0004]PCB电路板需要随着台面的运动进行运动，为了将PCB电路板固定在工作台上，申请号为2020109694827的中国专利技术专利，公开了一种直写式光刻机吸盘压板装置及其控制方法，包括工作台、吸盘、电机、丝杆、运动气缸、压条及点压气缸，通过吸盘、压条及点压气缸在一定程度上固定住了PCB电路板，但是若PCB电路板上有较多的孔位，且PCB电路板上有油墨要求，则不能通过增大吸附力的方式来吸附，若继续使用增加吸附力的方式就易造成PCB电路板位置偏移，导致不良品率偏高。还有就是将PCB电路板本身直接放置在台面上，特别是较厚的电路板偶尔会出现翘边的现象，如果只用吸附模式时，就可能存在水平度不平，造成不符合光刻机成像要求，导致次品率较高。
[0005]现有技术中，为了能提高产品良品率，有的PCB电路板厂家采用手动压板机构，虽然提高了产品的良品率，但是每次更换新的产品时，都需要手动去调节压板机构，且还要进行测试，以防压到电路板需要曝光的位置，或者压到空位处，易产生误差。上述方式耗时、繁琐，增加了现场工作人员的工作量，同时导致生产效率低，不利于上述手动压板机构在市场上的推广及应用。

技术实现思路

[0006]为了克服上述现有技术中的缺陷，本专利技术第一个专利技术目的在于提供一种直写式光刻机的自动压板机构，该自动压板机构自动化程度高，压紧效果好，能够保证PCB电路板在水平度内，以满足光刻机的成像要求，进而保证良品率的同时提高生产效率，有利于上述自动压板机构在光刻机
的推广及应用。本专利技术的第二个专利技术目的在于提供一种直写式光刻机的自动压板机构的控制方法，该控制方法用于控制上述自动压板机构，保证自动压板机构的自动化、高效率，同样能够增强用户的使用体验。
[0007]上述一种直写式光刻机的自动压板机构与一种直写式光刻机的自动压板机构的控制方法技术上相互关联，属于同一个专利技术构思。
[0008]为了实现上述第一个专利技术目的，本专利技术采用以下技术方案：一种直写式光刻机的自动压板机构，包括工作台、X轴压板、用于驱动所述X轴压板的X轴驱动机构、Y轴压板、用于
驱动所述Y轴压板的Y轴驱动机构及下压机构，所述X轴压板安装于所述X轴驱动机构的输出端，所述Y轴压板安装于所述Y轴驱动机构的输出端；所述下压机构包括X轴下压件、Y轴下压件及XY轴边缘下压件；还包括控制单元、X轴伺服驱动单元、Y轴伺服驱动单元及上位机单元，所述X轴伺服驱动单元根据控制单元提供的指令对X轴驱动机构进行定位驱动，所述Y轴伺服驱动单元根据控制单元提供的指令对Y轴驱动机构进行定位驱动，控制单元对所述下压机构进行指令操作；所述上位机单元与所述控制单元连接。
[0009]作为本专利技术的一种优选方案，所述X轴驱动机构与所述Y轴驱动机构为磁轴直线电机。
[0010]作为本专利技术的一种优选方案，所述X轴下压件、所述Y轴下压件及所述XY轴边缘下压件均为气缸。
[0011]作为本专利技术的一种优选方案，还包括触摸屏，所述触摸屏与所述控制单元之间建立通讯连接。
[0012]为了实现上述第二个专利技术目的，本专利技术采用以下技术方案：一种直写式光刻机的自动压板机构的控制方法，用于控制上述的一种直写式光刻机的自动压板机构；包括以下步骤：S1、控制单元得电后30S内，下压机构全部复位为上升释放状态后；S2、X轴伺服驱动单元、Y轴伺服驱动单元收到控制单元的回零信号；X轴伺服驱动单元驱动X轴驱动机构直至X轴伺服原点，Y轴伺服驱动单元驱动Y轴驱动机构直至Y轴伺服原点；S3、上位机单元加载PCB电路板信息，并将上述信息传输至控制单元；S4、如果需要进行吸附或者是进行曝光时，根据上位机单元提供的PCB电路板信息，通过X轴伺服驱动单元驱动X轴驱动机构，Y轴伺服驱动单元驱动Y轴驱动机构，定位运行至PCB电路板的边缘；S5、下压机构在收到到位停止信号后，进行下压动作；S6、控制单元给上位机单元提供压板完成信号；若上位机单元收到控制单元的信号后，进行曝光工作；若上位机单元未收到控制单元的信号，上位机单元进行报警，并确认故障类型；若确认为非机械故障，进行复位操作；S7、待曝光完成，上位机单元发送放板信号，控制单元收到上位机单元的信号，下压机构全部上升释放；S8、Y轴伺服驱动单元驱动Y轴驱动机构，X轴伺服驱动单元驱动X轴驱动机构退至设定位置；S9、完成上面动作后，控制单元给上位机单元发送释放压板完成信号；S10、如果上位机单元停止或退出操作，压板机构停止工作；若上位机单元继续曝光，则循环进行S4之后的操作步骤。
[0013]作为本专利技术的一种优选方案，S2中，Y轴伺服驱动单元的运动信号在运动前先复位Y轴下压件，X轴伺服驱动单元的运动信号在运动前先复位X轴下压件。
[0014]作为本专利技术的一种优选方案，S5中控制单元提供延时信号至下压机构。
[0015]作为本专利技术的一种优选方案，S6中的复位操作包括但不限于初始化动作，将下压机构中的X轴下压件、Y轴下压件及XY轴边缘下压件均复位为上升释放状态。
[0016]作为本专利技术的一种优选方案，S8中的设定位置可以根据PCB电路板的长宽值设定。
[0017]作为本专利技术的一种优选方案，S8中上位机单元接收到的设定的长宽位置为当前PCB板电路板的长宽信息加上上位机单元或触摸屏提供的设定值。
[0018]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术中的一种直写式光刻机的自动压板机构及其控制方法，该自动压板机构结构巧妙，使得即使吸盘吸附电路板后偶尔出现翘板现象，也能通过多边压板的方式，即X轴压板、Y轴压板及XY轴边缘下压件，使得PCB电路板能够被压板机构压住四边，保证PCB电路板在水平度内，满足光刻机的成像要求。
[0019]进一步地，本专利技术不需要另外增加真空吸，即使PCB电路板在本身有多种孔位的容易造成吸附能力变差的情况下，也能通过本专利技术中的压板机构将其稳定在吸盘台面上，避免真空吸过强导致电路板上油墨被吸走堵住吸孔或损伤产品，保证产品的良品率。
[0020]进一步地，本专利技术中的压板机构可根据加载的PCB电路板的长宽进行，再通过伺服电机自动定位到电路板最大边缘位置进行压实，与手动压板机构相比，节省了操作时间，提高了制作效率。
附图说明
[0021]图1是本专利技术实施例中一种直写式光刻机的自动压板机构的电机控制功能框图；图2是本专利技术实施例中一种直写式光刻机的自动压板机构的结本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直写式光刻机的自动压板机构，其特征在于：包括工作台、X轴压板、用于驱动所述X轴压板的X轴驱动机构、Y轴压板、用于驱动所述Y轴压板的Y轴驱动机构及下压机构，所述X轴压板安装于所述X轴驱动机构的输出端，所述Y轴压板安装于所述Y轴驱动机构的输出端；所述下压机构包括X轴下压件、Y轴下压件及XY轴边缘下压件；还包括控制单元、X轴伺服驱动单元、Y轴伺服驱动单元及上位机单元，所述X轴伺服驱动单元根据控制单元提供的指令对X轴驱动机构进行定位驱动，所述Y轴伺服驱动单元根据控制单元提供的指令对Y轴驱动机构进行定位驱动，控制单元对所述下压机构进行指令操作；所述上位机单元与所述控制单元连接。2.根据权利要求1所述的一种直写式光刻机的自动压板机构，其特征在于：所述X轴驱动机构与所述Y轴驱动机构为磁轴直线电机。3.根据权利要求1所述的一种直写式光刻机的自动压板机构，其特征在于：所述X轴下压件、所述Y轴下压件及所述XY轴边缘下压件均为气缸。4.根据权利要求1所述的一种直写式光刻机的自动压板机构，其特征在于：还包括触摸屏，所述触摸屏与所述控制单元之间建立通讯连接。5.一种直写式光刻机的自动压板机构的控制方法，用于控制权利要求1至权利要求4任一所述的一种直写式光刻机的自动压板机构；其特征在于：包括以下步骤：S1、控制单元得电后30S内，下压机构全部复位为上升释放状态后；S2、X轴伺服驱动单元、Y轴伺服驱动单元收到控制单元的回零信号；X轴伺服驱动单元驱动X轴驱动机构直至X轴伺服原点，Y轴伺服驱动单元驱动Y轴驱动机构直至Y轴伺服原点；S3、上位机单元加载PCB电路板信息，并将上述信息传输至控制单元；S4、如果需要进行吸附或者是进行曝光时，根据上位机单元提供的PCB电路板信息，通过X轴伺服驱动单元驱动X轴驱动机...

【专利技术属性】
技术研发人员：李兵，周川，丁鹏飞，朱小洋，
申请(专利权)人：杭州新诺微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：