一种双面曝光光刻机换板装置及其曝光设备制造方法及图纸

一种双面曝光光刻机换板装置及其曝光设备，包括圆形换板机构、直线换板机构和夹具体，夹具体与圆形换板机构、直线换板机构适配，且夹具体在圆形换板机构、直线换板机构之间移动，将待曝光的板材夹持在夹具体内，圆形换板机构用于将夹具体移动至与直线换板机构对应的位置上，直线换板机构将装有待曝光板材的夹具体从圆形换板机构上取下，并移动至对应的曝光引擎处；板材曝光完毕后，直线换板机构将夹具体移动至圆形换板机构对应的位置上，并将夹具体插接至圆形换板机构上，通过圆形换板机构下料。下料。下料。

【技术实现步骤摘要】
一种双面曝光光刻机换板装置及其曝光设备


[0001]本专利技术属于光刻机
，具体涉及一种双面曝光光刻机换板装置及其曝光设备。

技术介绍

[0002]无掩光刻机已经广泛应用于集成电路的线路曝光、阻焊等，部分已应用于晶圆级封装、芯片封装等领域，同时为了提升曝光效率，目前市面上的光刻机主要存在以下不足，（1）光刻机设备包含曝光装置以及用于上下料的板材进给装置，导致光刻机的整体占地面积较大，影响光刻机的换板效率；（2）市面上的光刻机双面曝光均为上下扫描，曝光板材受重力作用，板材平整度难以保证，影响曝光精度。

技术实现思路

[0003]针对以上不足，本专利技术所要解决的技术问题是提供一种双面曝光光刻机换板装置及其曝光设备，能同时实现交替换板以及双面扫描的需求，保证板材曝光精度，减少线路板在装载/卸载时所需的占地面积，提高换板效率。
[0004]为解决以上技术问题，本专利技术采用的技术方案是，一种双面曝光光刻机换板装置，包括用于固定光刻板的夹具体、用于旋转夹具体的圆形换板机构和用于驱动夹具体平移的直线换板机构，夹具体通过圆形换板机构旋转，使得夹具体连接至直线换板机构上，通过直线换板机构驱动夹具体平移，圆形换板机构包括圆形滑轨、圆形滑块和夹具安装架，夹具安装架的两侧安装有圆形滑块，圆形滑块与圆形滑轨连接，夹具体通过夹具安装架旋转式安装在圆形滑轨上。
[0005]作为本专利技术的一种优选方案夹具安装架偏心安装在圆形滑轨上。
[0006]作为本专利技术的一种优选方案圆形滑块包括滑块座板、滑块滚轮，滑块滚轮安装在滑块座板上，滑块滚轮抵设在圆形滑轨的两侧。
[0007]作为本专利技术的一种优选方案夹具安装架包括夹具安装座和夹具板，夹具板通过夹具安装座固定安装在滑块座板上，夹具板上固定连接有夹具滑台，夹具滑台上连接有导向条，导向条与夹具体连接。
[0008]作为本专利技术的一种优选方案夹具体包括夹具上板、夹具下板，夹具上板可拆式安装在夹具下板上，夹具下板上成形有夹具滑槽，夹具滑槽滑动安装在夹具滑台上，夹具滑槽内侧壁上成形有导向槽，导向条与导向槽滑动连接。
[0009]作为本专利技术的一种优选方案夹具下板的两侧固定连接有卡块，卡块与直线换板机构适配。
[0010]作为本专利技术的一种优选方案直线换板机构包括相互平行设置的直线导轨组件，直线导轨组件包括相互平行的上端导轨和下端导轨，上端导轨、下端导轨上均滑动安装有滑块，卡块与滑块可拆式连接。
[0011]作为本专利技术的一种优选方案上端导轨、下端导轨错位设置。
[0012]作为本专利技术的一种优选方案滑块上安装有电磁铁。
[0013]一种曝光设备，包括上述换板装置和曝光引擎，曝光引擎布设在直线换板机构的两侧。
[0014]本专利技术的有益效果是，（1）通过偏心设置的夹具安装架，可以将夹具体旋转至两个相对对称的竖直平面上，从而配合直线换板机构内的不同直线导轨组件进行一侧上料一侧下料，减少线路板在装载/卸载时所需的占地面积，提高换板效率。
[0015]（2）通过上下布设的导轨，将待曝光的板材竖直固定在相邻的曝光引擎之间，保证曝光板材的平整度，从而提高曝光精度。
附图说明
[0016]图1是本专利技术的结构示意图。
[0017]图2是本专利技术的半剖示意图。
[0018]图3是圆形换板机构的结构示意图。
[0019]图4是夹具体的展开示意图。
[0020]图5是A处的局部放大图。
[0021]图6是夹具板的结构示意图。
[0022]图7是B处的局部放大图。
[0023]附图标记：圆形换板机构1，圆形滑轨1
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1，圆形滑块1
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2，夹具安装架1
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3，滑块座板1
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4，滑块滚轮1
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5，夹具安装座1
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6，夹具板1
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7，夹具滑台1
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8，导向条1
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9，直线换板机构2，上端导轨2
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1，下端导轨2
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2，滑块2
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3，夹具体3，夹具上板3
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1，夹具下板3
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2，夹具滑槽3
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3，导向槽3
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4，卡块3
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5，曝光引擎4。
具体实施方式
[0024]下面结合附图对本专利技术进行进一步描述。
[0025]一种双面曝光光刻机换板装置，包括用于固定光刻板的夹具体3、用于旋转夹具体3的圆形换板机构1和用于驱动夹具体3平移的直线换板机构2，夹具体3与圆形换板机构1、直线换板机构2适配，且夹具体3在圆形换板机构1、直线换板机构2之间移动，即，夹具体3在圆形换板机构1上旋转，当夹具体3与直线换板机构2接触后，直线换板机构2将装有待曝光板材的夹具体3从圆形换板机构1上取下，通过直线换板机构2驱动夹具体3平移至对应的曝光引擎4处；板材曝光完毕后，直线换板机构2将夹具体3移动至圆形换板机构1对应的位置上，并将夹具体3插接至圆形换板机构1上，通过圆形换板机构1下料。
[0026]圆形换板机构1包括圆形滑轨1
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1、圆形滑块1
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2和夹具安装架1
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3，夹具安装架1
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3的两侧安装有圆形滑块1
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2，夹具安装架1
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3通过圆形滑块1
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2滑动安装在圆形滑轨1
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1上，夹具体3可拆式安装在夹具安装架1
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3上，通过圆形滑块1
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2对夹具安装板1
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3进行转动，从而使得夹具安装板1
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3上的夹具体3正对直线换板机构2设置。
[0027]夹具安装架1
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3偏心安装在圆形滑轨1
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1上，即，夹具安装架1
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3与圆形滑轨1
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1的圆心不重合，通过偏心设置的夹具安装架1
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3，可以将夹具体3旋转至两个相对对称的竖直平面上，从而配合直线换板机构2内的不同直线导轨组件进行一侧上料一侧下料，提高换板效率。
[0028]圆形滑块1
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2包括滑块座板1
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4、滑块滚轮1
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5，滑块滚轮1
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5安装在滑块座板1
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4上，滑块滚轮1
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5抵设在圆形滑轨1
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1的内外两侧，通过在圆形滑轨1
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1的内外两侧设置滚轮滑块1
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5，从而保证圆形滑块1
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2可以稳定的在圆形滑轨1
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1进行移动。
[0029]在一些实施例中，圆形滑块1
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2上的一处滑块滚轮1
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5安装有电机，通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双面曝光光刻机换板装置，其特征在于，包括用于固定光刻板的夹具体（3）、用于旋转夹具体（3）的圆形换板机构（1）和用于驱动夹具体（3）平移的直线换板机构（2），夹具体（3）通过圆形换板机构（1）旋转，使得夹具体（3）连接至直线换板机构（2）上，通过直线换板机构（2）驱动夹具体（3）平移，圆形换板机构（1）包括圆形滑轨（1
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1）、圆形滑块（1
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2）和夹具安装架（1
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3），夹具安装架（1
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3）的两侧安装有圆形滑块（1
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2），圆形滑块（1
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2）与圆形滑轨（1
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1）连接，夹具体（3）通过夹具安装架（1
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3）旋转式安装在圆形滑轨（1
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1）上。2.根据权利要求1所述的一种双面曝光光刻机换板装置，其特征在于，夹具安装架（1
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3）偏心安装在圆形滑轨（1
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1）上。3.根据权利要求1所述的一种双面曝光光刻机换板装置，其特征在于，圆形滑块（1
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2）包括滑块座板（1
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4）、滑块滚轮（1
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5），滑块滚轮（1
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5）安装在滑块座板（1
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4）上，滑块滚轮（1
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5）抵设在圆形滑轨（1
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1）的两侧。4.根据权利要求3所述的一种双面曝光光刻机换板装置，其特征在于，夹具安装架（1
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3）包括夹具安装座（1
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6）和夹具板（1
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7），夹具板（1
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7）通过夹具安装座（1
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6）固定安装在滑块座板（1
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4）上，夹具板（1
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7）上固定连接有夹具滑台（1
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8），夹具滑台（1
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8）上连接有导向条（1
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9），导向...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘高威，廖平强，蒋竞超，
申请(专利权)人：杭州新诺微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：