技术公开了一种文件档案堆叠装置，包括存档装置，存档装置的内部设置有隔板，每个隔板的内部均开设有工作槽，工作槽的内部设置有卡合组件，卡合组件包括卡块，卡块对称设置有两个，每个卡块的一侧均固定连接有抽拉条，抽拉条接近卡块的一端套设有复位弹簧...

本发明提供一种曝光平台装置及曝光设备，用于太阳能基板进行曝光前的准备，曝光平台装置包括：机架，包括底座及安装架，安装架与底座对应的位置处设有中空的安装空间；运动平台，包括支撑台面以及调节组件，调节组件固定安装于支撑台面，并能够沿着多个方...

本实用新型提供一种光刻平台及光刻设备，包括底座与平台组件，所述底座表面沿第一方向布设有多个导轨，多个所述第一导轨设置在所述底座的不同高度的位置处，所述平台组件对接安装于所述第一导轨，并能够沿着所述第一导轨的布设方向滑动；通过将导轨设置在...

本实用新型提供一种光学镜头以及光学引擎，包括：镜头框以及多个镜片，镜头框内部中空，镜头框的内部设有多个镜片安装座，多个镜片分别安装于镜片安装座，每两相邻的镜片之间存在间隔空间，镜头框还设有进气口，进气口对接于多个间隔空间中的一个，镜头框...

本发明涉及一种应用相变材料的光源温控装置，具体包括光源温控器，光源温控器具有至少一与光源相贴的导热面，并具有相变材料，相变材料通过导热面与光源进行热传递；相变材料被配置为相变点在光源的工作温度附近某一指定范围内；测温元件，测温元件设于相...

一种双面曝光光刻机换板装置及其曝光设备，包括圆形换板机构、直线换板机构和夹具体，夹具体与圆形换板机构、直线换板机构适配，且夹具体在圆形换板机构、直线换板机构之间移动，将待曝光的板材夹持在夹具体内，圆形换板机构用于将夹具体移动至与直线换板...

本发明涉及一种自校准零位的可持续检测水平仪装置及方法，包括支撑架、水平旋转及下压机构，支撑架包括基板、安装板以及两立柱，两立柱对称设置于基板上，安装板固定连接于两立柱上，水平旋转及下压机构包括依次固定连接的水平旋转气缸、水平触碰板、下压...

一种LDI双面曝光多拼自动化上下料装置及其上下料方法，包括上料机构、下料机构和移动输送机构，上料机构、下料机构之间通过移动输送机构连接，通过移动输送机构将物料输送至曝光设备内，曝光完成后，通过移动输送机构将物料输送至下料机构；上料机构包...

本实用新型涉及一种打标器，属于视觉识别技术领域，它解决了现有技术中打标器打标定位精度低的问题。本实用新型包括底座和打标固定座，所述的打标固定座内设有打标头组件，所述的底座上设有调节环，所述的打标固定座外侧面与调节环螺纹连接，所述的调节环...

本申请涉及一种光学曝光系统，包括光源输出装置、照明装置和调制投射装置，光源输出装置连接照明装置，照明装置连接调制投射装置，光源输出装置用于产生两种以上波长的光源并传输至照明装置，照明装置对接收到的两种以上波长的光源进行整合处理得到组合光...

本实用新型提供一种散热结构及光学引擎，用于对数字微镜装置进行散热，所述散热结构包括散热板、输入件以及输出件，所述散热板的中部开设有安装槽，所述数字微镜装置安装于所述安装槽内，所述散热板开设有散热通道，且所述散热通道围设于所述安装槽，所述...

本实用新型提供一种光学引擎及光学系统，该光学引擎包括镜片组、数字微镜组件以及镜头，镜片组对接安装于数字微镜组件的侧部，镜头对接安装于数字微镜组件的端部，激光能够自镜片组的进口进入，经过数字微镜组件后，由镜头射出，数字微镜组件的一端开设有...

本实用新型提供一种散热机构及光学引擎，用于对光学引擎的成像镜头进行散热，包括：第一散热件，设有第一散热通道，所述第一散热通道沿所述第一散热件的长度方向弯折设置，第二散热件，设有第二散热通道，所述第二散热通道沿所述第二散热件的长度方向弯折...

本发明涉及无掩模光刻照明技术领域，具体为一种多波段多光源的混合照明系统及无掩模光刻设备。一种多波段多光源的混合照明系统，包括第一光源，具有第一光轴；第一透镜组，沿所述第一光轴设置，且所述第一透镜组与所述第一光源相邻设置；第一光棒，沿所述...

本实用新型涉及一种UV

本实用新型涉及一种激光打标装置，属于激光直写式光刻技术领域，它解决了现有技术中光纤跳线容易断裂、拆装都非常麻烦、吸盘吸附PCB板效果较差的问题。本实用新型为一种激光打标装置，包含底座和光源发射器，所述的底座上还设有光源插芯，所述的光源插...

一种双面曝光光刻机的夹持机构，包括上玻璃盖组件和下玻璃盖组件，上玻璃盖组件与下玻璃盖组件适配，上玻璃盖组件、下玻璃盖组件相互盖合形成夹持腔，夹持腔用于对待曝光的板材进行放置、夹持，通过双面玻璃组件的设置，便于对通过本夹持机构夹持后的板材...

本发明涉及板状工件加工输送技术领域，具体为一种板状工件加工输送方法，包括以下步骤L1板状工件进入第一工件进出料部件；L2工件移送翻转机构将板状工件由第一工件进出料部件移送至处于第一位置的第一工位平台上；L3第一平台驱动机构驱动第一工位平...

一种晶圆平整装置、控制方法及存储介质，装置包括晶圆平台、多个管柱、晶圆固定机构、抽气系统、驱动系统。通过利用晶圆固定机构，可以将晶圆固定于晶圆平台上，以便于对晶圆表面平整进行后续操作；通过利用抽气系统，将晶圆平台下侧的空气抽出，使得晶圆...

本实用新型属于输送装置技术领域，尤其涉及一种便于表面水平度调节的输送机构。本实用新型针对现有技术中存在对现场场地水平度要求高的问题，提供一种便于表面水平度调节的输送机构，包括机架和支撑组件，输送机构安装在机架上，所述支撑组件包括支撑杆和...