散热机构及光学引擎制造技术

本实用新型专利技术提供一种散热机构及光学引擎，用于对光学引擎的成像镜头进行散热，包括：第一散热件，设有第一散热通道，所述第一散热通道沿所述第一散热件的长度方向弯折设置，第二散热件，设有第二散热通道，所述第二散热通道沿所述第二散热件的长度方向弯折设置；以及，连通组件，所述连通组件连通所述第一散热通道与所述第二散热通道；所述第一散热件及所述第二散热件分别设置于所述成像镜头的两侧，以能够对所述成像镜头散热；通过在连通组件的两侧设置第一散热件及第二散热件，以能够对光学引擎的成像镜头进行散热，从而保证成像精度。从而保证成像精度。从而保证成像精度。

【技术实现步骤摘要】
散热机构及光学引擎


[0001]本技术涉及光学引擎的散热
，特别是涉及一种散热机构及光学引擎。

技术介绍

[0002]随着科技的不断发展，光学引擎在制备集成电路、芯片等高精度的器件的制备过程中起到了十分重要的作用。目前光学引擎包括照射光源，光机系统和成像镜头，照射光源用于发射曝光激光，光机系统用于接收照射光源出射的曝光激光并进行处理，之后再将处理后的曝光激光折射至镜头，镜头用于接收光机系统出射的激光并对激光进行调制以符合投射要求。
[0003]现有技术中，在大功率机械光学引擎的使用过程中，光机系统传送的大功率激光在经过镜头组以调制光路时，会产生的损耗而使得热量很容易在聚集镜头组的位置处，从而影响光学性能。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术提供一种散热机构，该散热机构设置于光学引擎的成像镜头外周，以能够对调制大功率激光的成像镜头进行散热降温，从而避免温度过高影响成像镜头的光学性能。
[0005]本技术提供一种散热机构，用于对光学引擎的成像镜头进行散热，包括：第一散热件，设有第一散热通道，所述第一散热通道沿所述第一散热件的长度方向弯折设置，第二散热件，设有第二散热通道，所述第二散热通道沿所述第二散热件的长度方向弯折设置；以及，连通组件，所述连通组件连通所述第一散热通道与所述第二散热通道；所述第一散热件及所述第二散热件分别设置于所述成像镜头的两侧，以能够对所述成像镜头散热。
[0006]如此设置，通过在连通组件的两侧设置第一散热件及第二散热件，以能够对光学引擎的成像镜头进行散热，从而保证成像精度。
[0007]在本技术的一个实施例中，所述第一散热通道包括第一进水通道以及第一回水通道，所述第一进水通道的一端为第一进水口，另一端为第一对接口，所述第一进水通道沿所述第一散热件的长度方向延伸，所述第一回水通道沿所述第一散热件的长度方向延伸，所述第一回水通道一端为封闭口，另一端为第二对接口，所述第一对接口与所述第二对接口相互连通。
[0008]如此设置，第一散热通过设置第一进水通道以及第一出水通道，从而能够是的制冷液能够在依次流经第一进水通道以及第一出水通道，从而带走成像镜头产生的热量。
[0009]在本技术的一个实施例中，所述第一进水通道的第一对接口经过多次弯折后与所述第一回水通道的第二对接口连通。
[0010]如此设置，通过设置沿宽度方向的弯折，从而提高了流道的长度，进一步提高换热效率。
[0011]在本技术的一个实施例中，所述第一散热通道还包括第一出水通道以及分流部，所述第一出水通道沿所述第一散热件的长度方向延伸，并封闭所述第一回水通道的所述封闭口，所述第一出水通道的一端为第一出水口，所述分流部设有第一分流口与第二分流口，所述第一分流口与所述第一回水通道相连通，所述第二分流口与所述第一出水通道相互连通。
[0012]如此设置，通过设置第一出水通道及分流部，使得流体能够根据实际的安装情况通过第一分流口将制冷液导出，并通过第二分流口导回，并从第一出水通道流出第一散热件。
[0013]在本技术的一个实施例中，所述第一分流口的数量设置有多个，多个所述第一分流口沿所述第一回水通道的延伸方向间隔设置；所述第二分流口的数量设置有多个，多个所述第二分流口沿所述第一出水通道的延伸方向间隔设置。
[0014]如此设置，通过设置多个第一分流口及第二分流口，以能够正对不同的功率调节流量变化。
[0015]在本技术的一个实施例中，多个所述第二分流口的直径互不相同。
[0016]如此设置，通过设置不同直径的第二分流口，以能够针对阻力不同的水冷部件做实时调整，从而达到合适的流量分配。
[0017]在本技术的一个实施例中，所述第二散热通道包括第二进水通道及第二出水通道，所述第二进水通道沿所述第二散热件的长度方向设置，第二进水通道的一端为第二进水口，另一端为第三对接口，所述第二出水通道沿所述第二散热件的长度方向设置，所述第二出水通道的一端为第四对接口，另一端为第二出水口，所述第三对接口与所述第四对接口相互连通。
[0018]如此设置，通过设置第二进水通道和第二出水通道，以能够是的第二散热件能够在成像镜头的另一侧对成像镜头进行散热。
[0019]在本技术的一个实施例中，所述连通组件包括第一连通件与第二连通件，所述第一连通件的一端连通所述第一分流口，另一端对接于所述第二进水通道的所述第二进水口，所述第二连通件一端连通所述第二分流口，另一端对接所述第二出水通道的第二出水口。
[0020]如此设置，通过设置第一件连通件以及第二连通件，使得冷却水能够通过第一散热通道后在经过第二散热通道后再回到第一散热通道，使得第一散热通道与第二散热通道相互连通的同时还能够针对结构做调整。
[0021]在本技术的一个实施例中，所述连通组件还第一连通件以及第二连通件，所述第一连通件的一端连通所述第一出水通道的所述第一出水口，另一端对接于所述第二进水通道的所述第二进水口，所述第二连通件一端连通所述第一分流口，另一端对接所述第二分流口。
[0022]如此设置，通过设置第一连通件及第二连通件，是的冷却水能够依次经过第一散热通道和第二散热通道，从而对成像镜头散热。
[0023]本技术还提供一种光学引擎，该光学引擎还包括成像镜头以及如上述任意一项所述的散热机构，所述散热机构设置于所述成像镜头的侧部。
[0024]本技术通过在光学引擎的成像镜头外周色号设置散热机构，以能够对调制大
功率激光的成像镜头进行散热降温，从而避免温度过高影响成像镜头的光学性能。
附图说明
[0025]图1为本技术提供的一实施例中第一散热件的结构示意图；
[0026]图2为图1所示的第一散热件另一视角的结构示意图；
[0027]图3为图1所示的第一散热件另一视角的结构示意图；
[0028]图4为图1所示的第一散热件另一视角的结构示意图；
[0029]图5为图4所示的第一散热件沿A
‑
A处的剖视图；
[0030]图6为本技术提供的一实施例中第二散热件的结构示意图；
[0031]图7为图4所示的第二散热件另一视角的结构示意图；
[0032]图8为图4所示的第二散热件在B
‑
B处的剖视图。
[0033]100、散热机构；10、第一散热件；11、第一散热通道；111、第一进水通道；1111、第一进水口；1112、第一对接口；112、第一回水通道；1121、封闭口；1122、第二对接口；113、第一出水通道；1131、第一出水口；12、分流部；121、第一分流口；122、第二分流口；13、第一安装部；20、第二散热件；21、第二散热通道；211、第二进水通道；2111、第二进水口；2112、第三对接口；212、第二出水通道；2121、第四对接口；2122、第二出水口；22、第二安装部。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种散热机构，用于对光学引擎的镜片组进行散热，其特征在于，包括：第一散热件（10），设有第一散热通道（11），所述第一散热通道（11）沿所述第一散热件（10）的长度方向弯折设置，第二散热件（20），设有第二散热通道（21），所述第二散热通道（21）沿所述第二散热件（20）的长度方向弯折设置；以及，连通组件，所述连通组件连通所述第一散热通道（11）与所述第二散热通道（21）；所述第一散热件（10）及所述第二散热件（20）分别设置于所述镜片组的两侧，以能够对所述镜片组散热。2.如权利要求1所述的散热机构，其特征在于，所述第一散热通道（11）包括第一进水通道（111）以及第一回水通道（112），所述第一进水通道（111）的一端为第一进水口（1111），另一端为第一对接口（1112），所述第一进水通道（111）沿所述第一散热件（10）的长度方向延伸，所述第一回水通道（112）沿所述第一散热件（10）的长度方向延伸，所述第一回水通道（112）一端为封闭口（1121），另一端为第二对接口（1122），所述第一对接口（1112）与所述第二对接口（1122）相互连通。3.如权利要求2所述的散热机构，其特征在于，所述第一进水通道（111）的第一对接口（1112）经过多次弯折后与所述第一回水通道（112）的第二对接口（1122）连通。4.如权利要求2所述的散热机构，其特征在于，所述第一散热通道（11）还包括第一出水通道（113）以及分流部（12），所述第一出水通道（113）沿所述第一散热件（10）的长度方向延伸，并封闭所述第一回水通道（112）的所述封闭口（1121），所述第一出水通道（113）的一端为第一出水口（1131），所述分流部（12）设有第一分流口（121）与第二分流口（122），所述第一分流口（121）与所述第一回水通道（112）相连通，所述第二分流口（122）与所述第一出水通道（113）相互连通。5.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晋东，骆凯，王晓，
申请(专利权)人：杭州新诺微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：