一种LDI双面曝光多拼自动化上下料装置及其上下料方法制造方法及图纸

一种LDI双面曝光多拼自动化上下料装置及其上下料方法，包括上料机构、下料机构和移动输送机构，上料机构、下料机构之间通过移动输送机构连接，通过移动输送机构将物料输送至曝光设备内，曝光完成后，通过移动输送机构将物料输送至下料机构；上料机构包括上料架、物料支架和安装在上料架上的上料机械手、校准机构、进料台，上料机械手分别与物料支架、校准机构、进料台连接，通过上料机械手将物料支架上的物料移动至校准机构，经过校准机构校准后将物料移动至进料台上暂存，校准结构用于对板材的朝向、表面质量以及板材的位置进行检测，便于进质量不合格的板材剔除，根据检测结果对上料机械手补偿，保证输送至进料台上的物料精度，保证曝光质量。保证曝光质量。保证曝光质量。

【技术实现步骤摘要】
一种LDI双面曝光多拼自动化上下料装置及其上下料方法


[0001]本专利技术涉及陶瓷板曝光
，尤其是涉及一种LDI双面曝光多拼自动化上下料装置及其上下料方法。

技术介绍

[0002]目前的线路板及半导体产品都在向着高精细发展，高多层板比例也越来越高，线宽、对位精度及层间对准度的要求越来越高；随着线路板的密集化和小型化，对散热的要求也越来越高，陶瓷板具有很高的散热性，因此近年来也得到广泛应用；传统的陶瓷板双面曝光层间对位性能优、集成度高且散热好；但是产能过低且易碎，定位精度也不是很高；另外传统的面次识别和尾料识别依靠人工，非常的麻烦且重复性的工作容易造成失误和报废。

技术实现思路

[0003]针对以上不足，本专利技术所要解决的技术问题是提供一种LDI双面曝光多拼自动化上下料装置及其上下料方法，保证来料板材的定位精度、改良产品的破片率和减少图形方向的错误。
[0004]为解决以上技术问题，本专利技术采用的技术方案是，一种LDI双面曝光多拼自动化上下料装置，用于自动识别并运输物料，包括上料机构、下料机构和移动输送机构，上料机构与下料机构之间通过移动输送机构连接；上料机构包括物料支架、上料机械手以及校准机构，上料机械手与物料支架以及校准机构配合连接，物料支架设有校准位，校准机构对应校准位设置，校准机构包括光照组件、校准安装架和视觉检测头，视觉检测头安装在校准安装架，并与校准位相对设置，光照组件设置于校准位的侧部；其中，上料机械手能够将容置于物料支架的物料搬运至校准位，在经过校准机构识别校准后，上料机械手根据识别结果调整物料放置位置。
[0005]作为本专利技术的一种优选方案，物料支架包括移动小车、物料台和物料检测机构，物料台固定安装于移动小车，物料检测机构安装于移动小车，且布设于物料台的下方，物料台、移动小车上成型有检测槽，物料检测机构通过检测槽对物料台内物料进行检测。
[0006]作为本专利技术的一种优选方案，物料台包括底座板和限位杆，底座板固定安装在移动小车上，在底座板上成型有物料台阶，限位杆固定安装在物料台阶的外侧。
[0007]作为本专利技术的一种优选方案，上料机构内安装有除静电装置，除静电装置围绕在物料支架的外侧，除静电装置包括静电棒和静电支架，静电棒安装在静电支架上，且静电棒的安装高度高于底座板的高度。
[0008]作为本专利技术的一种优选方案，上料架上安装有小车位置控制件，小车位置控制件包括位置控制气缸和位置传感器，位置控制气缸分别与上料架、移动小车连接，位置传感器
安装于上料架，且朝向移动小车设置。
[0009]作为本专利技术的一种优选方案，上料机械手包括上料机械臂和工件移动手爪，工件移动手爪安装于上料机械臂，工件移动手爪包括机械臂座板、吸附件座板、手爪气缸和吸附件，机械臂座板与上料机械臂连接，吸附件座板通过手爪气缸安装在机械臂座板上，吸附件滑动安装在吸附件座板上。
[0010]作为本专利技术的一种优选方案，吸附件包括导套、抽气杆和吸盘，吸盘固定连接在抽气杆的端部，抽气杆滑动安装在导套内，导套与吸盘之间安装有弹簧。
[0011]作为本专利技术的一种优选方案，移动输送机构包括移载机械手和移载轨道，移载轨道自上料机构延伸至下料机构，移载机械手滑动安装于移载轨道。
[0012]作为本专利技术的一种优选方案，移载机械手包括移载上料机械手和移载下料机械手，移载上料机械手配合上料机构设置，移载下料机械手配合下料机构设置。
[0013]上述LDI双面曝光多拼自动化上下料装置的上下料方法，包括以下步骤，步骤一，在物料支架上叠板；步骤二，上料机械手冲物料支架上取板，并将其移动至校准位，校准机构对板材进行识别，判断板材的位置信息以及瑕疵情况，通过上料机械手调整无瑕疵板材的位置，并搬运至进料台；步骤三，移载上料机械手将板材移动至曝光平台；步骤四，曝光完成后，移载下料机械手将板材移动至下料台上，下料机械手将下料台上的板材码放至下料输送机。
[0014]本专利技术的有益效果是，通过校准机构对板材的朝向、表面质量以及板材的位置进行检测，便于进质量不合格的板材剔除，并且根据检测到的板材位置来对上料机械手进行补偿，从而保证输送至进料台上的物料精度，进一步保证曝光质量。
附图说明
[0015]图1是本专利技术的结构示意图。
[0016]图2是上料机构的结构示意图。
[0017]图3是图2装过一定角度后的结构示意图。
[0018]图4是物料支架的结构示意图。
[0019]图5是上料手爪与校准机构的配合示意图。
[0020]图6是上料手爪的结构示意图。
[0021]图7是下料机构的结构示意图。
[0022]附图标记：上料机构1，上料架1
‑
1，物料支架1
‑
2，移动小车1
‑2‑
1，物料台1
‑2‑
2，物料检测机构1
‑2‑
3，检测槽1
‑2‑
4，底座板1
‑2‑
5，限位杆1
‑2‑
6，物料台阶1
‑2‑
7，上料机械手1
‑
3，上料机械臂1
‑3‑
1，机械臂座板1
‑3‑
2，吸附件座板1
‑3‑
3，手爪气缸1
‑3‑
4，导套1
‑3‑
5，抽气杆1
‑3‑
6，吸盘1
‑3‑
7，弹簧1
‑3‑
8，校准机构1
‑
4，光照组件1
‑4‑
1，校准安装架1
‑4‑
2，视觉检测头1
‑4‑
3，进料台1
‑
5，除静电装置1
‑
6，静电棒1
‑6‑
1，静电支架1
‑6‑
2，控制气缸1
‑
7，位置传感器1
‑
8，下料机构2，下料机械手2
‑
1，下料台2
‑
2，下料输送机2
‑
3，移动输送机构3，移载机械手3
‑
1，移载上料机械手3
‑1‑
1，移载下料机械手3
‑1‑
2，移载轨道3
‑
2。
具体实施方式
[0023]下面结合附图对本专利技术进行进一步描述。
[0024]一种LDI双面曝光多拼自动化上下料装置，包括上料机构1、下料机构2和移动输送机构3，上料机构1、下料机构2之间通过移动输送机构3连接，通过移动输送机构3将上料机构1上的物料输送至曝光设备内，等待曝光设备曝光完成后，再通过移动输送机构3将物料输送至下料机构2内。
[0025]上料机构1包括上料架1
‑
1、物料支架1
‑
2和安装在上料架1
‑
1上的上料机械手1
‑
3、校准机构1
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种LDI双面曝光多拼自动化上下料装置，用于自动识别并运输物料，其特征在于，包括上料机构（1）、下料机构（2）和移动输送机构（3），上料机构（1）与下料机构（2）之间通过移动输送机构（3）连接；上料机构（1）包括物料支架（1
‑
2）、上料机械手（1
‑
3）以及校准机构（1
‑
4），上料机械手（1
‑
3）与物料支架（1
‑
2）以及校准机构（1
‑
4）配合连接，物料支架（1
‑
2）设有校准位，校准机构（1
‑
4）对应校准位设置，校准机构（1
‑
4）包括光照组件（1
‑4‑
1）、校准安装架（1
‑4‑
2）和视觉检测头（1
‑4‑
3），视觉检测头（1
‑4‑
3）安装在校准安装架（1
‑4‑
2），并与校准位相对设置，光照组件（1
‑4‑
1）设置于校准位的侧部；其中，上料机械手（1
‑
3）能够将容置于物料支架（1
‑
2）的物料搬运至校准位，在经过校准机构（1
‑
4）识别校准后，上料机械手（1
‑
3）根据识别结果调整物料放置位置。2.根据权利要求1的一种LDI双面曝光多拼自动化上下料装置，其特征在于，物料支架（1
‑
2）包括移动小车（1
‑2‑
1）、物料台（1
‑2‑
2）和物料检测机构（1
‑2‑
3），物料台（1
‑2‑
2）固定安装于移动小车（1
‑2‑
1），物料检测机构（1
‑2‑
3）安装于移动小车（1
‑2‑
1），且布设于物料台（1
‑2‑
2）的下方，物料台（1
‑2‑
2）、移动小车（1
‑2‑
1）上成型有检测槽（1
‑2‑
4），物料检测机构（1
‑2‑
3）通过检测槽（1
‑2‑
4）对物料台（1
‑2‑
2）内物料进行检测。3.根据权利要求2的一种LDI双面曝光多拼自动化上下料装置，其特征在于，物料台（1
‑2‑
2）包括底座板（1
‑2‑
5）和限位杆（1
‑2‑
6），底座板（1
‑2‑
5）固定安装在移动小车（1
‑2‑
1）上，在底座板（1
‑2‑
5）上成型有物料台阶（1
‑2‑
7），限位杆（1
‑2‑
6）固定安装在物料台阶（1
‑2‑
7）的外侧。4.根据权利要求2的一种LDI双面曝光多拼自动化上下料装置，其特征在于，上料机构（1）内安装有除静电装置（1
‑
6），除静电装置围绕在物料支架（1
‑
2）的外侧，除静电装置（1
‑
6）包括静电棒（1
‑6‑
1）和静电支架（1
‑6‑
2），静电棒（1
‑6‑
1）安装在静电支架（1
‑6‑
2）上，且静电棒（1
‑6‑
1）的安装高度高于底座板（1
‑2‑
5）的高度。5.根据权利要求2的一种LDI双面曝光多拼自动化上下料装置，其特征在于，上料架（1
‑
...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴越，逄效伟，
申请(专利权)人：杭州新诺微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：