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一种LDI双面曝光多拼自动化上下料装置及其上下料方法制造方法及图纸
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下载一种LDI双面曝光多拼自动化上下料装置及其上下料方法的技术资料
文档序号:37708914
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一种LDI双面曝光多拼自动化上下料装置及其上下料方法,包括上料机构、下料机构和移动输送机构,上料机构、下料机构之间通过移动输送机构连接,通过移动输送机构将物料输送至曝光设备内,曝光完成后,通过移动输送机构将物料输送至下料机构;上料机构包括上...
该专利属于杭州新诺微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州新诺微电子有限公司授权不得商用。
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