一种自校准零位的可持续检测水平仪装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种自校准零位的可持续检测水平仪装置及方法，包括支撑架、水平旋转及下压机构，支撑架包括基板、安装板以及两立柱，两立柱对称设置于基板上，安装板固定连接于两立柱上，水平旋转及下压机构包括依次固定连接的水平旋转气缸、水平触碰板、下压气缸、水平下压板；水平旋转及下压机构通过安装板安装于支撑架内，支撑架内位于水平旋转及下压机构两侧还对称设有触碰感应件，水平旋转及下压机构可通过水平旋转气缸在支撑架内进行水平旋转，在水平旋转过程中水平触碰板可与触碰感应件接触，还可通过下压气缸在支撑架内进行上升或下压，以使水平下压板与基板分离或贴合。本发明专利技术提供了自校准且持续检测的水平仪装置，实现实时高精度测量。精度测量。精度测量。

【技术实现步骤摘要】
一种自校准零位的可持续检测水平仪装置及方法


[0001]本专利技术属于自动检测领域，具体涉及为一种自校准零位的可持续检测水平仪装置及方法。

技术介绍

[0002]直写光刻技术是利用数字光处理技术在工件上形成电路图形，其原理是根据计算机设计的图形，采用可编程的数字微镜装置进行光束调制，再将调制的图形光通过光学镜头投射到涂覆有感光材料的工件表面以形成所需的设计图形，图形的快速切换可以缩短加工周期，能够满足各行各业对芯片、半导体器件以及印刷电路板的高需求量和高精度要求。
[0003]为了保障直写光刻技术的设备的高精度要求，现有的LDI激光直写成像设备会在设备运行前通过传统的水平仪(如气泡水平仪、电子水平仪等)对设备进行水平度检测，并通过微调设备对设备进行调节，以保证设备的水平度。
[0004]虽然现有的设备能够通过传统的水平仪检测出设备在运行前的水平值，但是在设备运行的过程中，无法实时检测设备的水平度，进而无法连续判断设备的水平值，从而不能对正在设备中加工的材料的加工精度进行判断，同时，现有水平仪无法测量自身系统误差，进而无法保证设备的精准度。

技术实现思路

[0005]本专利技术针对现有技术存在的问题，解决了传统设备中水平仪检测繁琐，且无法持续检测设备水平值的问题，实现了对设备进行实时持续检测的功能。同时设置水平值的上下阈值，能够对设备检测的数值进行判断，当突破上下阈值时，会对设备自身进行实时调整，本专利技术的水平仪装置能自动校准归零，解决了零点误差的影响，提升了测量精度。
[0006]本专利技术是通过以下技术方案得以实现：一种自校准零位的可持续检测水平仪装置，包括支撑架、水平旋转及下压机构，支撑架包括基板、旋转板以及两立柱，两立柱对称设置于基板上，旋转板固定连接于两立柱上；水平旋转及下压机构包括依次固定连接的水平旋转气缸、水平触碰板、垂直下压气缸、水平下压板；水平旋转及下压机构通过旋转板安装于支撑架内，支撑架内位于水平旋转及下压机构两侧还对称设有两触碰感应件，水平旋转及下压机构可通过水平旋转气缸在支撑架内进行水平旋转，在水平旋转过程中所述水平触碰板可与触碰感应件接触，还可通过垂直下压气缸在支撑架内进行上升或下压，以使水平下压板与基板分离或贴合。
[0007]优选地，垂直下压气缸包括第一下压气缸、第二下压气缸，第一下压气缸和第二下压气缸对称固定连接于水平触碰板、水平下压板之间。
[0008]优选地，水平触碰板包括分别与水平旋转气缸、垂直下压气缸固定连接的旋转板，还包括与旋转板弹性转动连接的可使水平触碰板在旋转过程中能够触碰到触碰感应件且在触碰后能够通过触碰感应件的弹性触碰件。
[0009]优选地，基板与水平下压板贴合的表面设有若干凹槽，用于防止真空吸附。
[0010]优选地，垂直下压气缸上还设有用于检测垂直下压气缸下压到位的磁性开关，所述磁性开关与控制单元连接。
[0011]优选地，水平仪装置还包括控制及处理模块，所述控制及处理模块包括相连的控制单元、数据分析单元，所述控制单元分别与水平旋转气缸、垂直下压气缸、触碰感应件连接；数据分析单元与角度传感器连接。
[0012]优选地，控制及处理模块包括与数据分析单元连接的警报单元。
[0013]优选地，水平下压板上设有用于固定角度传感器信号线的马鞍座。
[0014]优选地，一种自校准零位的可持续检测水平仪装置，其特征在于，包括步骤：S1、获取水平旋转及下压机构旋转至第一次与触碰感应件触碰且水平下压板下压至与基板贴合时，所述角度传感器的第一检测角度；S2、获取水平旋转及下压机构旋转至第二次与触碰感应件触碰且水平下压板下压至与基板贴合时，所述角度传感器的第二检测角度；S3、基于第一检测角度、第二检测角度计算得到水平仪装置的自身倾斜角度；S4、将水平仪装置放置待测面上，并将水平旋转及下压机构中的水平下压板下压至与基板贴合，并读取角度传感器的当前检测角度；S5、基于自身倾斜角度、当前检测角度，得到待测面实际水平值数据。
[0015]优选地，步骤S3中还包括，当自身倾斜角度超过第一预设阈值时，进行警报；步骤S5还包括，当待测面实际水平值数据超过第二预设阈值时，进行警报。
[0016]所述的一种自校准零位的可持续检测水平仪装置及方法与现有的技术相比具有如下的优点和显著的效果：第一、本专利技术可持续检测设备的水平度，并实时输出数据；第二、本专利技术可通过数据分析模块设置上下报警阀值，提高LDI激光直接成像设备的精度；第三、本专利技术结构安装方便、设置有预留好空间和安装孔位，该水平仪装置能够灵活安装于其他加载设备。
[0017]第四、本专利技术水平仪装置能自动校准归零，解决了零点误差的影响，提升了测量精度。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本专利技术一种自校准零位的可持续检测水平仪装置的侧示图；图2为本专利技术一种自校准零位的可持续检测水平仪装置结构的主示图；图3为本专利技术一种自校准零位的可持续检测水平仪装置结构的A
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A剖视图；图4为本专利技术一种自校准零位的可持续检测水平仪装置结构的左视图。
[0020]图中的编码分别为：1
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基板，2
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立柱，3
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角度传感器，4
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触碰感应件，5
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水平旋转及下压机构，6
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旋转板，7
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水平旋转气缸，8
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水平触碰板，9
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垂直下压气缸，10
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磁性开关，11
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压板，12
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马鞍座，13
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弹性触碰件，14
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感应柱，15
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防撞块。
具体实施方式
[0021]下面通过具体实施例和附图对本专利技术作进一步的说明。本专利技术的实施例是为了更好地使本领域的技术人员更好地理解本专利技术，并不对本专利技术作任何的限制。
[0022]实施例一：该水平仪装置包括支撑架、水平旋转及下压机构5，支撑架包括基板1、立柱2、旋转板。基板1是连接该水平仪装置和固定设备的中间连接板，两立柱2对称设置于基板1上，旋转板固定连接于两立柱2上安装在基板1上，用于支撑水平旋转及下压机构5。
[0023]本装置的水平旋转及下压机构5包括依次固定连接的水平旋转气缸7、水平触碰板8、两垂直下压气缸、水平下压板11、马鞍座12。水平旋转及下压机构5通过旋转板安装于支撑架内。旋转气缸是将缸体本身固定在旋转体上与旋转负载一起旋转,供气组件是固定不动的，旋转缸体与不旋转的供气阀之间采用轴承连接,就可使旋转气缸很灵活地旋转，水平旋转气缸7安装在旋转气缸旋转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自校准零位的可持续检测水平仪装置，其特征在于，包括支撑架、水平旋转及下压机构，所述支撑架包括基板、安装板以及两立柱，所述两立柱对称设置于基板上，安装板固定连接于两立柱上，水平旋转及下压机构包括依次固定连接的水平旋转气缸、水平触碰板、垂直下压气缸、水平下压板；水平旋转及下压机构通过安装板安装于支撑架内，支撑架内位于水平旋转及下压机构两侧还对称设有两触碰感应件，水平旋转及下压机构可通过水平旋转气缸在支撑架内进行水平旋转，在水平旋转过程中所述水平触碰板可与触碰感应件接触，还可通过垂直下压气缸在支撑架内进行上升或下压，以使水平下压板与基板分离或贴合。2.根据权利要求1所述的一种自校准零位的可持续检测水平仪装置，其特征在于，所述垂直下压气缸包括第一下压气缸、第二下压气缸，所述第一下压气缸、第二下压气缸对称固定连接于水平触碰板、水平下压板之间。3.根据权利要求1所述的一种自校准零位的可持续检测水平仪装置，其特征在于，水平触碰板包括分别与水平旋转气缸、垂直下压气缸固定连接的旋转板，还包括与旋转板弹性转动连接的可使水平触碰板在旋转过程中能够触碰到触碰感应件且在触碰后能够通过触碰感应件的弹性触碰件。4.根据权利要求1所述的一种自校准零位的可持续检测水平仪装置，其特征在于，所述基板与水平下压板贴合的表面设有若干凹槽。5.根据权利要求1所述的一种自校准零位的可持续检测水平仪装置，其特征在于，所述垂直下压气缸上还设有用于检测垂直下压气缸下压到位的磁性开关，所述磁性开关与控制单元连接。6.根据权利要求1所述的一种自校准零位的可持...

【专利技术属性】
技术研发人员：许艳，汪益立，金海亮，丁鹏飞，
申请(专利权)人：杭州新诺微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：