【技术实现步骤摘要】
用于高密线路印制线路板的干膜显影设备
[0001]本技术涉及线路板领域，特别涉及一种用于高密线路印制线路板的干膜显影设备。
技术介绍
[0002]显影是将线路板的线路部分显现出来，其包括干膜显影和湿膜显影，干膜显影的显影过程一般为：采用1
‑
2%的无水碳酸钠溶液对曝光完成的线路板进行喷淋冲刷，以冲洗掉线路板上未经曝光的干膜部分，从而将需要保留的铜箔层遮蔽起来，以便后续的蚀刻工艺将暴露出来的铜箔蚀刻掉，在线路板上保留预设的线路。
[0003]但是，随着线路板的小型化和轻薄化要求的日益提高，线路板上的线路之间的间距被设计的越来越小，而对于高密线路（线路间距小于0.15mm）线路板的显影操作过程中，由于线路之间的间距过小，显影液在喷淋过程中难以完全浸润位于间距极小的线路之间的干膜，从而导致线路之间的未经曝光的干膜难以被完全冲洗掉，进而在蚀刻过程中，在线路边缘出现锯齿状缺陷，影响线路的电气性能。
[0004]现在，通常是通过增加显影液的喷淋时间解决这一隐患，但是，增加喷淋时间必然会对生产效率造成一定...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于高密线路印制线路板的干膜显影设备，其特征在于，包括显影槽，所述显影槽包括并列设置的上端开口的浸泡槽和上端开口的喷淋槽，所述喷淋槽内设置有喷淋系统；还包括药液循环系统，所述药液循环系统包括储液槽、连通所述喷淋槽和所述浸泡槽的用于将所述喷淋槽中的显影液输向所述浸泡槽的第一连通通道、连通所述浸泡槽和所述储液槽的用于将所述浸泡槽中的显影液输向所述储液槽的第二连通通道，以及连接所述储液槽和所述喷淋系统的用于将所述储液槽中的显影液输向所述喷淋系统的第三连通通道，所述第二连通通道上安装有用于过滤显影液的过滤器。2.根据权利要求1所述的用于高密线路印制线路板的干膜显影设备，其特征在于，所述第二连通通道包括连通所述浸泡槽和所述储液槽的第一连接管道，以及安装于所述第一连接管道上的泵，所述过滤器安装于所述第一连接管道上。3.根据权利要求1所述的用于高密线路印制线路板的干膜显影设备，其特征在于，所述第三连通通道包括连通所述储液槽和所述喷淋系统的第二连接管道，以及安装于所述第二连接管道上的泵。4.根据权利要求3所述的用于高密线路印制线路板的干...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘春光，付杰，代小芳，张双燕，聂俊涛，金松，韩小妮，
申请(专利权)人：鼎富电子惠州有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。