一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具技术方案

本发明专利技术公开了一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，涉及半导体光电子技术领域，包括底座和移动夹持装置，移动夹持装置可调节地设置于底座，并且移动夹持装置设有用于夹持探针的夹持组件，需要更换探针时，用移动夹持装置夹持探针回复初始位置，并通过解除夹持组件即可进行更换，操作简单方便，有效提高了探针的更换速率，有效的提高了探针抛光的效率，使得产品的光滑程度更高，提高成品率。提高成品率。提高成品率。

A probe fixture for semiconductor chip testing system

【技术实现步骤摘要】
一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具


[0001]本专利技术涉及探针夹具
，尤其涉及一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具。

技术介绍

[0002]近年来半导体制程技术突飞猛进，超前摩尔定律预估法则好几年，现阶段已向7奈米以下挺进。产品讲求轻薄短小，IC体积越来越小、功能越来越强、脚数越来越多，为了降低芯片封装所占的面积与改善IC效能，现阶段覆晶方式封装普遍被应用于绘图芯片、芯片组、存储器及CPU等,上述高阶封装方式单价高昂，如果能在封装前进行芯片测试，发现有不良品存在晶圆当中，即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本。
[0003]测试探针在生产加工的过程中，需要对其进行打磨抛光，使得探针更加纤细光滑，但探针结构较小，因此工作人员手持抛光不便，同时无法进行不同程度的打磨抛光效果，使得抛光效果不佳，导致产品的光滑程度不够完善，进而使得成品率降低，为此，我们提出一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，来解决以上问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0006]一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，包括：
[0007]底座，所述底座的顶部开设有用于设备移动的滑槽；
[0008]移动夹持装置，所述移动夹持装置设置在所述底座的顶部，所述移动夹持装置用于夹持探针并使其转动前进；
[0009]抛光夹持装置，所述抛光夹持装置设置在所述底座远离所述移动夹持装置的一侧，所述抛光夹持装置用于夹持探针并进行抛光；
[0010]喷洒装置，所述喷洒装置设置在所述抛光夹持装置上，所述喷洒装置用于对探针侧壁进行清洗。
[0011]优选地，所述移动夹持装置包括活动设置在所述滑槽内侧壁上的移动支架，所述移动支架可在所述滑槽的内侧壁上滑动，所述移动支架的内侧壁上开设连接槽，所述移动支架的内侧壁上活动设置有转动夹管，所述转动夹管可在所述移动支架的内侧壁上转动，所述转动夹管的侧壁上设置有夹持组件，底座上设置有传动组件。
[0012]优选地，所述抛光夹持装置包括固定设置在底座远离所述移动支架一侧的打磨支架，所述打磨支架的顶部固定设置有打磨夹管，所述打磨夹管的内侧壁上固定设置有弹力磨块，所述底座位于所述打磨支架的中部固定设置有升降管，所述升降管的顶部固定设置有升降板，所述升降板的底部固定设置有升降弹簧，所述升降弹簧的底部与所述升降管的
底部相抵紧，所述升降板的顶部固定设置有推杆，所述推杆贯穿所述升降管的侧壁，所述推杆的顶部固定设置有水箱，所述水箱的顶部固定设置有连接板，所述连接板的侧壁上固定设置有电机，所述连接板的内侧壁上活动设置有转动磨辊，所述电机的输出端贯穿连接板与所述转动磨辊固定连接，所述所述转动磨辊远离电机的一侧固定设置有螺纹杆，所螺纹杆贯穿所述连接板的侧壁。
[0013]优选地，所述喷洒装置包括固定设置在所述水箱顶部的挤压箱，所述挤压箱的内侧壁上活动设置有挤压板，所述挤压板的顶部固定设置有挤压杆，所述挤压杆贯穿所述挤压箱的顶部，所述挤压杆的顶部固定设置有受力板，所述挤压杆延伸出所述挤压箱的一段外侧壁上套设有回复弹簧，所述挤压箱的底部固定设置有单向进液管，所述单向进液管延伸至所述水箱的内部，所述挤压箱的侧壁上固定设置有单向喷洒管，所述单向喷洒管远离挤压箱的一端延伸至所述打磨夹管的侧壁。
[0014]优选地，所述夹持组件包括螺纹连接在所述转动夹管侧壁上的螺栓，所述螺栓延伸至所述转动夹管的内部，所述螺栓位于所述转动夹管内部的一端与活动设置有抵紧板，所述抵紧板远离所述螺栓的一侧固定设置有抵紧垫。
[0015]优选地，所述传动组件包括固定设置在所述底座上的固定板，所述固定板的侧壁上固定设置有带动丝杆，所述带动丝杆贯穿所述移动支架的侧壁，所述移动支架可在所述带动丝杆的外侧壁上滑动，所述移动支架的侧壁上活动设置有转动环，所述转动环可在所述移动支架上转动，所述转动环套设在所述带动丝杆的外圈，所述转动环的内侧壁上固定设置有转动滑杆，所述转动滑杆远离所述转动环的一端延伸至所述带动丝杆侧壁上的螺纹槽内部，所述转动滑杆的端部与所述带动丝杆侧壁上的螺纹槽相适配。
[0016]优选地，所述螺纹杆远离所述转动磨辊的一端与所述连接槽的侧壁螺纹连接，所述连接槽为椭型槽。
[0017]优选地，所述螺纹杆靠近所述连接板的一端侧壁上固定设置有椭轮，所述椭轮与所述受力板的顶部相抵紧。
[0018]优选地，所述回复弹簧的顶部与所述受力板的底部相抵紧，所述回复弹簧的底部与所述挤压箱的顶部相抵紧。
[0019]优选地，所述转动环的外侧壁上套设有传送带，所述传送带远离所述转动环的一端套设在所述转动夹管的外侧壁上。
[0020]相比现有技术，本专利技术的有益效果为：
[0021]1、本专利技术中，通过移动夹持装置以及抛光夹持装置之间的配合使用，实现将探针夹持固定后，转动磨辊带动螺纹杆转动，使得移动支架移动，通过设置的传动组件，即可使得探针在前进的过程中转动，进入转动磨辊内部后，将会受到转动磨辊的挤压力，同时受到弹力磨块的挤压，在转动磨辊的主动打磨以及弹力磨块的被动摩擦效果下，对探针进行均匀打磨抛光,抛光过程中，无需工作人员进行操作，使用方便，有效的提高了探针抛光的效率，使得产品的光滑程度更高，提高成品率。
[0022]2、本专利技术中，通过抛光夹持装置以及喷洒装置之间的配合使用，实现在螺纹杆转动时，使得椭轮转动，在于回复弹簧的配合下，使得受力板往复上下，使得挤压箱的内部往复抽吸，使得水液通过单向喷洒管喷洒在打磨探针的外壁，对探针进行清理，使得打磨更方便，有效提高打磨效率，使得探针的清洁度更高，增强设备的功能性；
[0023]3、本专利技术中，通过喷洒水液过程中，水箱内部的水液变化，控制转动磨辊的抵紧程度，当初次使用时，水箱的重力较大，将会使得转动磨辊进行浅层接触打磨抛光，当探针受打磨后，将会变得更细，此时水箱的重力也会降低，在升降弹簧的弹力作用下，将会使得转动磨辊向上抵紧，进行深度打磨，使得转动磨辊可时刻紧贴探针侧壁，进行多重深度紧贴抛光，使得打磨程度无需人工进行调取，避免初始工作进行过度打磨，对探针造成伤害，防止后续打磨程度不足，导致抛光效果不佳，有效的提高了设备打磨的功能性，对探针打磨质量进行有效保障。
附图说明
[0024]图1为本专利技术提出的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具的结构示意图；
[0025]图2为本专利技术提出的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具的结构侧视图；
[0026]图3为本专利技术提出的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具的结构背面展示图；
[0027]图4为本专利技术提出的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具的结构俯视图；
[0028]图5为本专利技术提出的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具的结构剖视图；<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于，包括：底座(1)，所述底座(1)的顶部开设有用于设备移动的滑槽(2)；移动夹持装置，所述移动夹持装置设置在所述底座(1)的顶部，所述移动夹持装置用于夹持探针并使其转动前进；抛光夹持装置，所述抛光夹持装置设置在所述底座(1)远离所述移动夹持装置的一侧，所述抛光夹持装置用于夹持探针并进行抛光；喷洒装置，所述喷洒装置设置在所述抛光夹持装置上，所述喷洒装置用于对探针侧壁进行清洗。2.根据权利要求1所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于，所述移动夹持装置包括活动设置在所述滑槽(2)内侧壁上的移动支架(3)，所述移动支架(3)可在所述滑槽(2)的内侧壁上滑动，所述移动支架(3)的内侧壁上开设连接槽(4)，所述移动支架(3)的内侧壁上活动设置有转动夹管(5)，所述转动夹管(5)可在所述移动支架(3)的内侧壁上转动，所述转动夹管(5)的侧壁上设置有夹持组件，底座(1)上设置有传动组件。3.根据权利要求2所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于，所述抛光夹持装置包括固定设置在底座(1)远离所述移动支架(3)一侧的打磨支架(14)，所述打磨支架(14)的顶部固定设置有打磨夹管(15)，所述打磨夹管(15)的内侧壁上固定设置有弹力磨块(16)，所述底座(1)位于所述打磨支架(14)的中部固定设置有升降管(17)，所述升降管(17)的顶部固定设置有升降板(18)，所述升降板(18)的底部固定设置有升降弹簧(19)，所述升降弹簧(19)的底部与所述升降管(17)的底部相抵紧，所述升降板(18)的顶部固定设置有推杆(20)，所述推杆(20)贯穿所述升降管(17)的侧壁，所述推杆(20)的顶部固定设置有水箱(21)，所述水箱(21)的顶部固定设置有连接板(22)，所述连接板(22)的侧壁上固定设置有电机(23)，所述连接板(22)的内侧壁上活动设置有转动磨辊(24)，所述电机(23)的输出端贯穿连接板(22)与所述转动磨辊(24)固定连接，所述所述转动磨辊(24)远离电机(23)的一侧固定设置有螺纹杆(25)，所螺纹杆(25)贯穿所述连接板(22)的侧壁。4.根据权利要求3所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具，其特征在于，所述喷洒装置包括固定设置在所述水箱(21)顶部的挤压箱(28)，所述挤压箱(28)的内侧壁上活动设置有挤压板(29)，所述挤压板(29)的顶部固定设置有挤压杆(30)，所述挤压杆(30)贯穿所述挤压箱(28)的顶部，所述挤压杆(30)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭劲松，
申请(专利权)人：江苏爱矽半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：