扭转谐振器和采用其的滤波器制造技术

一种没有桨叶的，并且能够有效振荡的高频扭转振荡器。所述扭转振荡器具有没有桨叶的横截面恒等的梁结构，并且具有经由缝隙贴近所述梁结构的侧表面设置的电极。二者之间的静电电容使得每单位扭转振荡量下的静电电容变化率最大，并且通过调整使得每单位ＡＣ电压下的静电电容变化率最大。在采用半导体工艺时，通过控制电极的厚度使这一调整变为可能。此外，所述振荡器采用单晶硅，并采用各向异性蚀刻制作梁形状，由此制造出具有良好的表面属性和高Ｑ值的精密振荡器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种扭转谐振器和采用所述扭转谐振器的滤波器，具体而言，涉及一项在以高密度集成的电子电路中通过采用扭转谐振实现高性能滤波器电路的技术。
技术介绍
近年来，已经出现了对采用弯曲振动的机电谐振器的报道。将参考图18解释相关技术的机电谐振器的实例。图18是简单说明非专利文献1中公开的采用弯曲振动的机械振动滤波器的构造的图示。这一滤波器是通过在硅衬底上采用薄膜形成工艺形成图案而形成的。通过输入线104、输出线105、两端支撑梁101、102和耦合梁103配置所述滤波器，设置所述两端支撑梁101和102使其分别与所述输入线和输出线相对，并且其间具有小于等于1微米的空隙，所述耦合梁103耦合这两个两端支撑梁。从输入线104输入的信号与梁101实施电容耦合，从而在梁101处产生静电力。只有当信号频率接近由梁101、102和耦合梁103形成的弹性结构的谐振频率时才发生机械振动。进一步将机械振动检测为输出线105和梁102之间的静电电容的变化，由此筛选输入信号的输出。就具有矩形截面形状的两端支撑梁而言，将以下述表达式表示弯曲振动的共振频率f，假设符号E表示弹性模量，ρ表示密度，h表示厚本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种起着机电谐振器作用的扭转谐振器，其包括用于执行机械振动的振动器和设置在所述振动器附近的电极，其中，构造所述振动器，使其根据所述振动器和所述电极之间的电压变化产生机械振动，使所述电压和所述机械振动之间的机电转换成为可能，其中以梁结 构配置所述振动器，其围绕沿所述梁纵向的转轴执行扭转振动，并且在所述梁结构的振动器的侧表面上经由缝隙设置所述电极，从而在所述振动器和所述电极之间形成静电电容。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村邦彦，川胜英树，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，国立大学法人东京大学，
类型：发明
国别省市：JP[日本]