一种Z型走线图形及集群的识别方法技术

本发明专利技术提供了一种Z型走线图形的识别方法包括:目标图形所在层中，全部或部分区域中每个线形图形中相接的轮廓边相互垂直，识别水平初始边和垂直初始边，分别形成space_h和space_v，相应的扩充成能包含其的面积最小的矩形jogging_connection_h和jogging_connection_v，所述jogging_connection_h和jogging_connection_v为目标图形，用于定位Z型走线图形。过程简洁，识别结果直观准确，有利于生产工艺的改进和效率提高。本发明专利技术还提供一种Z型走线集群的识别方法基于本发明专利技术的Z型走线图形的识别方法具有相应优势。线图形的识别方法具有相应优势。线图形的识别方法具有相应优势。

【技术实现步骤摘要】
一种Z型走线图形及集群的识别方法


[0001]本专利技术关于半导体设计和生产领域，具体涉及一种对版图中的Z型走线的图形及其集群进行识别的方法。

技术介绍

[0002]随着集成电路生产工艺技术节点不断推进，集成电路的设计变得越来越复杂。现今应用于集成电路生产的主流光刻工艺，其光波波长一直维持在193nm。在曝光机台波长不更新的情形下，曝光图形尺寸却不断缩小，进而会产生许多符合设计规则而实际工艺窗口较差的光刻图形，称之为光刻缺陷热点图形，一般是指版图中具有某种几何特征以及特征尺寸在某个范围内的容易引起光刻缺陷的图形或者图形组合。
[0003]在光刻缺陷热点图形中存在一类称为Z型走线集群的热点图形，是Z型走线图形组合。当对Z型走线集群进行光刻的过程中，由于光学邻近效应的存在，曝光后的图形相比版图上的图形拐角处会变圆滑，Z型走线图形往往具有两个相邻很近的拐角，曝光形状受到光学邻近效应影响而变形的程度更严重，尤其是当多个Z型走线图形相邻很近时，拐角处图形的变形容易引起连线之间、连线与周围环境的短路或者断路，可参考图1所示。
[0004]在实际的制造生产中，因不同制造厂商具体工艺或者处理方式等不同，光刻缺陷热点图形不一定会实际引起光刻缺陷，一般来说，如果缺陷的尺寸小于图形中最小尺寸的40%，其对器件性能的影响可以忽略。也就是对于不同制造厂商来说，实际导致光刻缺陷发生的光刻缺陷热点图形可能是不同的。对于光刻缺陷热点图形的处理方法包括在流片前优化原始的版图设计，以及对检查出的光刻工艺热点进行特殊工艺处理。
[0005]因此，如果能提前在大量的版图数据中快速准确地定位出Z型走线图形或者Z型走线集群，对制造厂商进行设计生产等的指导具有重大的实际意义。现有技术中专门针对识别Z型走线图形或者Z型走线集群尚没有特别有效的方法，这对于光刻工艺及设计的进一步完善是不利的。

技术实现思路

[0006]本专利技术是基于上述现有技术的全部或部分问题而进行的，目的在于提供一种Z型走线图形及其集群识别方法，用于在大量的版图数据中进行搜索和定位Z型走线图形及Z型走线集群。在本申请以下叙述中涉及的名词以及相关技术原理所有解释或定义仅是进行示例性而非限定性说明。
[0007]本专利技术一方面提供的一种Z型走线图形的识别方法，包括：步骤S1.目标图形所在层中，全部或部分区域中每个图形的轮廓边是水平方向的边或垂直方向的边，形成内角为90
°
的第一拐角和内角为270
°
的第二拐角，将所述第一拐角和第二拐角的顶点之间的边识别为为初始边，并将水平的初始边记为edge_h，垂直的初始边记为edge_v；步骤S2.每个多边形图形中，两条相对的edge_h两端（连接时，一条edge_h的第一拐角的顶点与另一条edge_h第二拐角的顶点相连）分别相连形成四边形，并记为space_h，形成space_h过程中新
产生的两条边不是所述多边形图形原有的边；将每个多边形图形中，两条相对的edge_v两端（连接时，一条edge_v第一拐角的顶点与另一条edge_v第二拐角的顶点相连）分别相连形成四边形，并记为space_v，形成space_v过程中新产生的两条边不是所述多边形图形原有的边；步骤S3.将所述space_v扩充成包含该space_v的最小的矩形，并记为jogging_connection_v；将所述space_h扩充成包含该space_h的最小的矩形，并记为jogging_connection_h；所述jogging_connection_v和jogging_connection_h即为目标图形，用于定位Z型走线图形。
[0008]本专利技术中为了方便描述清楚而采用的一些常用的英文名词或字母只是用于示例性指代而非限定性解释或特定用法，不应以其可能的中文翻译或具体字母的样式来限定本专利技术的保护范围。
[0009]在某些情况下，在进行Z型走线图形识别方法之前，还包括步骤S0：获取版图信息，并确定版图的待识别层，即目标图形所在层。一个版图层由于其自身的特点和在器件中所发挥的作用，各个版图层中的图形会各不相同。在一个具体的实施方案中，所述目标图形所在层优选为金属层。
[0010]还提供Z型走线图形，即目标图形jogging_connection_v或jogging_connection_h的信息，包括目标图形的各边长度，以及用于评价该Z型走线图形的两个拐角的偏移程度值。
[0011]所述目标图形的各边长度信息包括：jogging_space、line_l1、line_l2、l1、l2、connection_length、connection_width；所述用于评价该Z型走线图形的两个拐角的偏移程度值是jogging_ratio；所述jogging_space是指：存在space_h_in或者space_v_in的Z型走线图形，则其space_h_in的水平边的长度或者space_v_in的垂直边的长度记为jogging_space；不存在space_h_in或者space_v_in的Z型走线图形，将该Z型走线图形的jogging_space记为0；所述line_l1、line_l2是指：对于space_v，所述line_l1是指该space_v其中一条垂直边的长度，所述line_l2是指该space_v另外一条垂直边的长度；对于space_h，line_l1是指该space_h其中一条水平边的长度，所述line_l2是指该space_h另外一条水平边的长度；所述l1是指：所述line_l1与所述jogging_space的差；所述l2是指：所述line_l2与所述jogging_space的差；所述connection_length是指：所述jogging_ceonnection_v的垂直边的长度或者所述jogging_ceonnection_h的水平边的长度；所述connection_width是指：所述jogging_ceonnection_v的水平边的长度或者所述jogging_ceonnection_h的垂直边的长度；所述jogging_ratio是指：所述jogging_space除以connection_length的值。
[0012]其中，所述space_h_in的获取方式为：分别从所述space_h中两条edge_h的第二拐角的顶点各做垂直的直线，若这两条垂直的直线与这两条edge_h能在该space_h内形成矩形，则将该矩形记为space_h_in；所述space_v_in的获取方式为：分别从所述space_v中两条edge_v的第二拐角的顶点各做水平的直线，若这两条水平的直线与这两条edge_v能在该space_v内形成矩形，则将该矩形记为space_v_in。
[0013]一个具体情况中，还能根据预设的图形条件对所述Z型走线图形进行筛选。
[0014]所述预设的图形条件包括所述jogging_ratio的范围、connection_length的范围、connect本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种Z型走线图形的识别方法，其特征在于，包括：步骤S1.目标图形所在层中，全部或部分区域中每个图形的轮廓边是水平方向的边或垂直方向的边，形成内角为90
°
的第一拐角和内角为270
°
的第二拐角，将所述第一拐角和第二拐角的顶点之间的边识别为初始边，并将水平的初始边记为edge_h，垂直的初始边记为edge_v；步骤S2.将每个多边形图形中，两条相对的edge_h两端分别相连形成四边形，并记为space_h，形成space_h过程中新产生的两条边不是所述多边形图形原有的边；将每个多边形图形中，两条相对的edge_v两端分别相连形成四边形，并记为space_v，形成space_h过程中新产生的两条边不是所述多边形图形原有的边；步骤S3.将所述space_v扩充成包含该space_v的最小的矩形，并记为jogging_connection_v；将所述space_h扩充成包含该space_h的最小的矩形，并记为jogging_connection_h；所述jogging_connection_v和jogging_connection_h即为目标图形，用于定位Z型走线图形。2.根据权利要求1所述的一种Z型走线图形的识别方法，其特征在于，在步骤S1之前，还包括步骤S0：获取版图信息，并确定版图的待识别层，即目标图形所在层。3.根据权利要求2所述的一种Z型走线图形的识别方法，其特征在于，所述待识别层是金属层。4.根据权利要求1所述的一种Z型走线图形的识别方法，其特征在于，还提供Z型走线图形，即目标图形jogging_connection_v或jogging_connection_h的信息，包括目标图形的各边长度信息，以及用于评价该Z型走线图形的两个拐角的偏移程度的值。5.根据权利要求4所述的一种Z型走线图形的识别方法，其特征在于，所述目标图形的各边长度信息包括：jogging_space、line_l1、line_l2、l1、l2、connection_length、connection_width；所述用于评价该Z型走线图形的两个拐角的偏移程度的值是jogging_ratio；所述jogging_space是指：存在space_h_in或者space_v_in的Z型走线图形，则其space_h_in的水平边的长度或者space_v_in的垂直边的长度记为jogging_space；不存在space_h_in或者space_v_in的Z型走线图形，将该Z型走线图形的jogging_space记为0；所述line_l1、line_l2是指：对于space_v，所述line_l...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘伟伟，杨璐丹，
申请(专利权)人：杭州广立微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：