一种阴极维护门及镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种阴极维护门及镀膜设备，属于真空镀膜技术领域。阴极维护门包括移动模组、旋转模组及门组件，移动模组包括固定件和滑动件，固定件固定于镀膜腔体沿竖直方向的第一端，滑动件沿水平第一方向滑动连接于固定件；旋转模组包括第一连接件和第二连接件，第一连接件固定于滑动件上，第二连接件能够绕平行于竖直方向的旋转轴线转动连接于第一连接件上；门组件的第一端固定于第二连接件上。本实用新型专利技术的阴极维护门及镀膜设备，能够在不增加镀膜设备外形尺寸的情况下增加门组件的旋转空间，方便结构布局；能够在镀膜设备的有限空间内布局更多的阴极维护门，解决对于空间有限定的阴极维护门维护保养困难的问题。空间有限定的阴极维护门维护保养困难的问题。空间有限定的阴极维护门维护保养困难的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种阴极维护门及镀膜设备


[0001]本技术涉及真空镀膜
，尤其涉及一种阴极维护门及镀膜设备。

技术介绍

[0002]随着真空镀膜设备的大型化发展，国内及国际的运输工具的装载空间及运输道路的限定，真空镀膜设备的外形尺寸需要控制在特定范围内，以保证能够运输。因此，需要在外形尺寸一定的镀膜腔体上应尽可能布局更多的阴极维护门，以保证镀膜效果。
[0003]对于传统的立式磁控溅射镀膜设备，其旋转阴极门结构多采用旋转铰链式结构；通常，阴极门和镀膜腔体上分别设置有法兰，两个法兰通过门铰链的结构连接，阴极门通过旋转90
°
或者其他角度来打开。在一定空间上增加布置阴极维护门的数量，导致单个阴极维护门占用空间减小，从而会使传统的结构存在以下问题：一、由于阴极维护门包括门法兰和门法兰大气侧设置的阴极配套的附属组件，附属组件和门法兰旋转时均占用较大空间，导致门法兰和阴极配套的附属组件难以布局。二、很多镀膜设备的阴极维护门通常采用连续式阴极排布的布局，对于这种布局的镀膜设备，铰链式阴极维护门的旋转角度小于90度，从而会造成阴极维护门的维护空间不足，维护维修困难，甚至会出现阴极维护门内部部件无法维护的问题。
[0004]基于此，亟需一种阴极维护门及镀膜设备，以解决上述存在的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种阴极维护门及镀膜设备，能够在不增加镀膜设备外形尺寸的情况下增加阴极维护门的旋转空间，方便结构布局；能够在镀膜设备的有限空间内布局更多的阴极维护门，解决对于空间有限定的阴极维护门维护保养困难的问题。
[0006]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]一方面，提供一种阴极维护门，包括：
[0008]移动模组，包括固定件和滑动件，所述固定件固定于镀膜腔体沿竖直方向的第一端，所述滑动件沿水平第一方向滑动连接于所述固定件；
[0009]旋转模组，包括第一连接件和第二连接件，所述第一连接件固定于所述滑动件上，所述第二连接件能够绕平行于竖直方向的旋转轴线转动连接于所述第一连接件上；
[0010]门组件，其第一端固定于所述第二连接件上，所述门组件能够与所述镀膜腔体处于合拢状态或分离状态。
[0011]可选地，所述门组件包括第一门法兰，所述第一连接件和所述第二连接件分别为转动轴和轴承，所述轴承固定于所述第一门法兰，所述转动轴一端固定于所述滑动件，另一端连接于所述轴承。
[0012]可选地，所述固定件为带有凹槽的第一导轨，所述滑动件包括第一滑块和所述第一滑块上设置的滚轮，所述滚轮滚动连接于所述凹槽。
[0013]可选地，所述凹槽用于对所述滚轮沿竖直方向进行限位。
[0014]可选地，所述第一导轨背离所述镀膜腔体一侧的端部设置有挡片，所述挡片用于对所述第一滑块沿所述水平第一方向进行限位。
[0015]可选地，还包括设置于所述镀膜腔体沿竖直方向的第二端的限位模组，所述限位模组用于对所述门组件的第二端进行限位。
[0016]可选地，所述限位模组包括：
[0017]第一限位组件，用于对所述门组件的第二端沿水平第一方向移动进行限位；
[0018]第二限位组件，用于对所述门组件的第二端绕所述旋转轴线转动进行限位。
[0019]可选地，所述第二限位组件包括与所述转动轴同轴设置的活动轴，第一限位组件包括设置于所述门组件第二端的定位板、固定于所述定位板上的第二滑块、与所述第二滑块滑动连接的第二导轨，所述第二导轨固定于所述镀膜腔体的第二端，所述活动轴一端转动连接于所述定位板，另一端转动连接于所述门组件。
[0020]可选地，所述定位板上间隔开设有多个定位孔，多个所述定位孔绕所述旋转轴线的周向布置，所述第二限位组件包括插销，所述插销能够择一地插接于所述定位孔，所述门组件能够抵靠于插接在所述定位孔上的所述插销的外周。
[0021]另一方面，提供一种镀膜设备，包括镀膜腔体和上述的阴极维护门，所述阴极维护门设置于所述镀膜腔体上。
[0022]本技术的有益效果：
[0023]本技术提供的一种阴极维护门及镀膜设备，通过设置移动模组，能够实现门组件相对于镀膜腔体沿水平第一方向进行推拉移动，通过设置旋转模组，能够实现门组件绕旋转轴线转动；维护维修或需要门组件与镀膜腔体处于分离状态时，可先将门组件拉出，再绕旋转轴线旋转以进行相应操作，之后再将门组件通过旋转模组绕旋转轴线旋转至初始位置，最后再将门组件推至与镀膜腔体处于合拢状态。通过推拉设置，能够保证门组件推至镀膜腔体上与镀膜腔体处于合拢状态时，整体外形尺寸小，便于运输等；同时也可以使一定尺寸的镀膜设备上相邻阴极维护门间隔更小，从而使相同直径的镀膜设备上布局更多的阴极维护门；也能够保证门组件与镀膜腔体处于分离状态时形成更大的设备半径，之后镀膜腔体后再旋转，拓展了设备的维护空间，解决了在空间限定条件下为门组件提供足够的旋转空间，方便门组件进行布局，且能够为门组件提供足够的空间以便于后续维护维修，有效的解决了限定空间的阴极维护困难问题。
附图说明
[0024]图1是本技术的具体实施方式提供的阴极维护门的结构示意图；
[0025]图2是本技术的具体实施方式提供的门组件与移动模组的组装示意图；
[0026]图3是本技术的具体实施方式提供的门组件与限位模组的组装示意图。
[0027]图中：
[0028]100、镀膜腔体；200、靶材；300、第二门法兰；
[0029]1、移动模组；11、第一导轨；111、凹槽；121、第一滑块；122、滚轮；13、挡片；
[0030]2、转动轴；
[0031]3、门组件；31、防护盖板；32、第一门法兰；
[0032]41、第一限位组件；411、第二导轨；412、定位板；4121、定位孔；413、第二滑块。
具体实施方式
[0033]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本技术实施例的技术方案做进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0034]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0035]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阴极维护门，其特征在于，包括：移动模组(1)，包括固定件和滑动件，所述固定件固定于镀膜腔体(100)沿竖直方向的第一端，所述滑动件沿水平第一方向滑动连接于所述固定件；旋转模组，包括第一连接件和第二连接件，所述第一连接件固定于所述滑动件上，所述第二连接件能够绕平行于竖直方向的旋转轴线转动连接于所述第一连接件上；门组件(3)，其第一端固定于所述第二连接件上，所述门组件(3)能够与所述镀膜腔体(100)处于合拢状态或分离状态。2.根据权利要求1所述的阴极维护门，其特征在于，所述门组件(3)包括第一门法兰(32)，所述第一连接件和所述第二连接件分别为转动轴(2)和轴承，所述轴承固定于所述第一门法兰(32)，所述转动轴(2)一端固定于所述滑动件，另一端连接于所述轴承。3.根据权利要求2所述的阴极维护门，其特征在于，所述固定件为带有凹槽(111)的第一导轨(11)，所述滑动件包括第一滑块(121)和所述第一滑块(121)上设置的滚轮(122)，所述滚轮(122)滚动连接于所述凹槽(111)。4.根据权利要求3所述的阴极维护门，其特征在于，所述凹槽(111)用于对所述滚轮(122)沿竖直方向进行限位。5.根据权利要求3所述的阴极维护门，其特征在于，所述第一导轨(11)背离所述镀膜腔体(100)一侧的端部设置有挡片(13)，所述挡片(13)用于对所述第一滑块(121)沿所述水平第一方向进行限位。6.根据权利要求2
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5任一项所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳伟，何云鹏，余海春，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：