成膜装置以及脚手架单元制造方法及图纸

本发明专利技术提供提高维护时的作业效率的成膜装置以及脚手架单元。一边搬送基板一边对基板进行成膜的直列式的成膜装置具备：搬送单元，搬送基板；以及成膜源单元，包括成膜源，且能够在搬送单元的下方的第一位置与相对于第一位置在横向上位移了的第二位置之间移动。成膜装置具备脚手架单元，该脚手架单元能够与成膜源单元一起移动，且包括用于访问成膜源单元的脚手架。在成膜源单元位于第二位置的状态下，脚手架能够在收纳于成膜源单元的收纳状态与从成膜源单元展开的展开状态之间位移。成膜源单元展开的展开状态之间位移。成膜源单元展开的展开状态之间位移。

【技术实现步骤摘要】
成膜装置以及脚手架单元


[0001]本专利技术涉及成膜装置以及脚手架单元。

技术介绍

[0002]以往，公知有一边搬送基板一边对基板进行处理的直列式的装置。在专利文献1中公开了如下内容：在直列式的基板处理装置中，多个处理单元在上下方向上排列地配置以及将在上下方向上排列的处理单元拉出而进行维护。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2018
‑
93087号公报
[0006]在上述现有技术中，在拉出处理单元而进行维护时需要准备登踏台等，有时维护时的作业效率降低。

技术实现思路

[0007]本专利技术提供一种提高维护时的作业效率的技术。
[0008]用于解决课题的方案
[0009]根据本专利技术的一技术方案，提供一种成膜装置，其是一边搬送基板一边对基板进行成膜的直列式的成膜装置，
[0010]该成膜装置具备：
[0011]搬送单元，搬送基板；以及
[0012]成膜源单元，包括成膜源，且该成膜源单元能够在所述搬送单元的下方的第一位置与相对于所述第一位置在横向上位移了的第二位置之间移动，
[0013]其特征在于，
[0014]该成膜装置具备脚手架单元，该脚手架单元能够与所述成膜源单元一起移动，且包括用于访问所述成膜源单元的脚手架，
[0015]在所述成膜源单元位于所述第二位置的状态下，所述脚手架能够在收纳于所述成膜源单元的收纳状态与从所述成膜源单元展开的展开状态之间位移。
[0016]另外，根据本专利技术的另一技术方案，提供一种脚手架单元，其用于一边搬送基板一边对基板进行成膜的直列式的成膜装置，
[0017]该成膜装置具备：
[0018]搬送单元，搬送基板；以及
[0019]成膜源单元，包括成膜源，且该成膜源单元能够在所述搬送单元的下方的第一位置与相对于所述第一位置在横向上位移了的第二位置之间移动，
[0020]其特征在于，
[0021]该脚手架单元包括用于访问所述成膜源单元的脚手架，
[0022]在所述成膜源单元位于所述第二位置的状态下，所述脚手架能够在收纳于所述成
膜源单元的收纳状态与从所述成膜源单元展开的展开状态之间位移。
[0023]专利技术的效果
[0024]根据本专利技术，能够提高维护时的作业效率。
附图说明
[0025]图1是示意性地表示一实施方式的成膜装置的主视图。
[0026]图2是图1的成膜装置的侧视图。
[0027]图3是示意性地表示图1的成膜装置的内部构造的图。
[0028]图4是说明基于移动单元的蒸镀源单元的移动动作的图。
[0029]图5是表示脚手架单元的概略的立体图。
[0030]图6是表示脚手架单元的概略的立体图。
[0031]图7是示意性地表示蒸镀源单元和脚手架单元的位置关系的俯视图。
[0032]图8(A)及(B)是表示脚手架的构造的立体图。
[0033]图9是表示操作部及后述的检测单元的结构例的图。
[0034]图10是表示成膜装置的硬件的结构例的图。
[0035]图11(A)及(B)是表示控制装置的控制例的流程。
[0036]图12是表示显示部的显示画面的结构例的图。
[0037]附图标记的说明
[0038]1成膜装置、2搬送单元、3蒸镀源单元、5脚手架单元、51脚手架。
具体实施方式
[0039]以下，参照附图对实施方式进行详细说明。此外，以下的实施方式并不限定权利要求书所涉及的专利技术，另外，实施方式中说明的特征的全部组合并不限定为专利技术所必须的内容。在实施方式中说明的多个特征中的两个以上的特征也可以任意地组合。另外，对相同或同样的结构标注相同的附图标记，并省略重复的说明。
[0040]另外，在各图中，X方向表示基板的搬送方向，Y方向表示基板的宽度方向，Z方向表示上下方向。
[0041][第一实施方式][0042][成膜装置的概要][0043]图1是示意性地表示一实施方式的成膜装置1的主视图。图2是图1的成膜装置1的侧视图。图3是示意性地表示图1的成膜装置1的内部构造的图。
[0044]成膜装置1是一边搬送基板一边对基板进行蒸镀的直列式的成膜装置。成膜装置1例如用于智能手机用的有机EL显示装置的显示面板的制造，能够排列配置多台而构成其生产线。
[0045]在本实施方式中，向成膜装置1依次搬送保持于基板保持托盘100的基板，成膜装置1对搬送来的基板进行有机EL的蒸镀。基板例如在搬送到成膜装置1的上游的工序中以与掩模重合的状态保持于基板保持托盘100而搬送到成膜装置1。因此，在成膜装置1中，利用掩模在基板上形成规定图案的蒸镀物质的薄膜。作为在成膜装置1中进行蒸镀的基板的材质，能够适当选择玻璃、树脂、金属等，优选使用在玻璃上形成有聚酰亚胺等树脂层的材质。
作为蒸镀物质，为有机材料、无机材料(金属、金属氧化物等)等物质。成膜装置1能够应用于制造例如显示装置(平板显示器等)、薄膜太阳能电池、有机光电转换元件(有机薄膜摄像元件)等电子器件、光学构件等的制造装置，特别是能够应用于制造有机EL面板的制造装置。在以下的说明中，对成膜装置1通过真空蒸镀在基板上进行成膜的例子进行说明，但成膜方法的方式并不限定于此，能够应用溅射、CVD等各种成膜方法。
[0046]成膜装置1包括搬送单元2、蒸镀源单元3、附着防止板6、移动单元7以及框架部101。
[0047]框架部101以能够支承成膜装置1的搬送单元2等构成要素的方式设置。在图1的例子中，框架部101包括柱和梁，支承搬送单元2和真空泵102。另外，也可以在框架部101设置作业用的起重机、用于作业者进行维护的通路等。
[0048]搬送单元2搬送基板。在本实施方式中，搬送单元2通过搬送保持有基板的状态的基板保持托盘100来进行基板的搬送。搬送单元2包括搬送腔室21和搬送辊22。
[0049]搬送腔室21是能够将内部保持为真空的箱型的腔室。搬送腔室21的内部空间210被维持为真空气氛或氮气等非活性气体气氛。在本实施方式中，搬送腔室21与真空泵102连接。需要说明的是，在本说明书中，“真空”是指被压力比大气压低的气体充满的状态，换言之是指减压状态。
[0050]在搬送腔室21形成有搬入基板保持托盘100的搬入开口211及搬出基板保持托盘100的搬出开口212。另外，在搬送腔室21的下部形成有用于将内部空间210与蒸镀源腔室31的内部空间310连通的连通开口213。此外，在搬入开口211以及搬出开口212，为了将内部空间210保持为真空，也可以设置未图示的闸阀等。
[0051]搬送辊22对保持有基板的基板保持托盘100进行搬送。搬送辊22设置于搬送腔室21的内部空间210。搬送辊22例如是由金属材料形成的、被支承为能够旋转的圆筒形状的构件。搬送辊22例如由设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种成膜装置，其是一边搬送基板一边对基板进行成膜的直列式的成膜装置，该成膜装置具备：搬送单元，搬送基板；以及成膜源单元，包括成膜源，且该成膜源单元能够在所述搬送单元的下方的第一位置与相对于所述第一位置在横向上位移了的第二位置之间移动，其特征在于，该成膜装置具备脚手架单元，该脚手架单元能够与所述成膜源单元一起移动，且包括用于访问所述成膜源单元的脚手架，在所述成膜源单元位于所述第二位置的状态下，所述脚手架能够在收纳于所述成膜源单元的收纳状态与从所述成膜源单元展开的展开状态之间位移。2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，所述脚手架单元包括台板和将所述台板支承为能够展开的支承部作为所述脚手架。3.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，所述脚手架单元包括操作部，该操作部能够进行操作以使所述脚手架在所述收纳状态与所述展开状态之间位移。4.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，该成膜装置还具备对所述脚手架处于所述展开状态的情况进行检测的检测部件。5.根据权利要求4所述的成膜装置，其特征在于，该成膜装置还具备限制部件，该限制部件在由所述检测部件检测到所述脚手架处于所述展开状态的情况时限制所述成膜源单元从所述第二位置向所述第一位置的移动。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：涩谷孝史，加势翔也，佐藤功康，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：