真空镀膜设备保护开关及其真空室门制造技术

本实用新型专利技术公开了真空镀膜设备保护开关，包括门体，门体的一侧外壁上焊接有凸块，凸块的内部开设有传动腔，且传动腔底部内壁的轴心处通过轴承活动连接有主转盘，传动腔靠近主转盘底部内壁中心处的两端均通过轴承活动连接有从转盘。本实用新型专利技术顶持块在限位板和弹簧的作用下推动贴合板与真空腔室贴合，提升了密封胶垫与真空腔室壁贴合的紧凑性，使得真空镀膜设备的密封性得到了极大的提升，转柱带动主转盘转动，主转盘在连板的作用下带动从转盘转动，此时，连接臂带动定位柱沿通孔进行滑动插入真空腔室内壁的定位孔内，使得门体与真空腔室贴合后连接更加紧凑稳定。室贴合后连接更加紧凑稳定。室贴合后连接更加紧凑稳定。

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜设备保护开关及其真空室门


[0001]本技术涉及真空镀膜设备
，特别涉及真空镀膜设备保护开关及其真空室门。

技术介绍

[0002]真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上，在真空镀膜设备中，一般是以电子枪为蒸发源，该蒸发源在作业过程中，工作电压将达到上千伏甚至上万伏，所以为了保护工作人员的生命安全，电子枪在工作前，真空室门必须保持关闭的状态，因此，通常在真空室门上安装保护开关装置。
[0003]现有的真空镀膜设备门体与设备之间连接的紧凑性和密封性较差，而真空镀膜设备保护开关常采用电子式开关，使得门体与真空镀膜设备之间连接的紧凑性和可靠性大大降低。因此，亟需设计一种真空镀膜设备保护开关及其真空室门来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供真空镀膜设备保护开关及其真空室门，以解决上述
技术介绍
中提出真空镀膜设备门体与设备之间连接的紧凑性和密封性较差，而真空镀膜设备保护开关常采用电子式开关，使得门体与真空镀膜设备之间连接的紧凑性和可靠性大大降低的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：真空镀膜设备保护开关，包括门体，所述门体的一侧外壁上焊接有凸块，所述凸块的内部开设有传动腔，且所述传动腔底部内壁的轴心处通过轴承活动连接有主转盘，所述传动腔靠近所述主转盘底部内壁中心处的两端均通过轴承活动连接有从转盘。
[0006]优选的，所述主转盘的两侧均开设有弧形槽，且所述传动腔靠近所述主转盘底部内壁的两侧均焊接有限位柱，所述限位柱滑动连接在所述弧形槽的内部。
[0007]优选的，所述主转盘与所述从转盘底部外壁的两侧均通过转轴活动连接有连板，所述凸块两侧外壁的中心处均开设有呈等距离结构分布的通孔。
[0008]优选的，所述主转盘和所述从转盘顶部外壁的两侧均通过转轴活动连接有连接臂，且所述连接臂远离所述主转盘和所述从转盘的另一端通过转轴活动连接有定位柱，所述定位柱沿所述通孔滑动。
[0009]真空镀膜设备真空室门，包括权利要求1
‑
4任一项所述的真空镀膜设备保护开关，所述门体的一侧外壁上焊接有凸块，且所述门体靠近所述凸块的一侧外壁上开设有阶梯，所述阶梯底部外壁的中心处开设有限位槽，且所述限位槽的内部插接有顶持块，所述顶持块位于所述限位槽内部的两侧均焊接有限位板，且所述限位板的底部外壁上焊接有弹簧，所述顶持块的顶部外壁上焊接有贴合板，且所述贴合板的顶部外壁上粘接有密封胶垫，所述顶持块在所述限位板和所述弹簧的作用下滑动连接在所述限位槽的内部。
[0010]优选的，所述门体远离所述凸块另一侧外壁的轴心处通过轴承活动连接有转柱，且所述转柱的一侧外壁上焊接有转把，所述转柱与所述主转盘之间呈传动连接。
[0011]优选的，所述转把呈圆柱状结构，且所述转把的外侧壁上套接有海绵套筒。
[0012]本技术的技术效果和优点：
[0013]1、通过设置的贴合板，顶持块在限位板和弹簧的作用下推动贴合板与真空腔室贴合，提升了密封胶垫与真空腔室壁贴合的紧凑性，使得真空镀膜设备的密封性得到了极大的提升，结构合理，密封性强，适合推广。
[0014]2、通过设置的主转盘，转柱带动主转盘转动，主转盘在连板的作用下带动从转盘转动，此时，连接臂带动定位柱沿通孔进行滑动插入真空腔室内壁的定位孔内，使得门体与真空腔室贴合后连接更加紧凑稳定。
附图说明
[0015]图1为本技术整体结构的示意图。
[0016]图2为本技术凸块结构的示意图。
[0017]图3为本技术阶梯结构的示意图。
[0018]图4为本技术局部结构的示意图。
[0019]图5为本技术传动腔结构的示意图。
[0020]图中：1、门体；2、凸块；3、转柱；4、转把；5、阶梯；6、限位槽；7、顶持块；8、限位板；9、弹簧；10、贴合板；11、密封胶垫；12、传动腔；13、通孔；14、主转盘；15、从转盘；16、弧形槽；17、限位柱；18、连板；19、连接臂；20、定位柱。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]本技术提供了如图1
‑
5所示的真空镀膜设备保护开关，包括门体1，门体1的一侧外壁上焊接有凸块2，凸块2的内部开设有传动腔12，且传动腔12底部内壁的轴心处通过轴承活动连接有主转盘14，传动腔12靠近主转盘14底部内壁中心处的两端均通过轴承活动连接有从转盘15。
[0023]在本实施例中，主转盘14的两侧均开设有弧形槽16，且传动腔12靠近主转盘14底部内壁的两侧均焊接有限位柱17，限位柱17滑动连接在弧形槽16的内部，主转盘14转动，限位柱17沿弧形槽16进行滑动，使得主转盘14转动时可以更加的稳定。
[0024]在本实施例中，主转盘14与从转盘15底部外壁的两侧均通过转轴活动连接有连板18，凸块2两侧外壁的中心处均开设有呈等距离结构分布的通孔13，主转盘14通过连板18可带动从转盘15进行转动。
[0025]在本实施例中，主转盘14和从转盘15顶部外壁的两侧均通过转轴活动连接有连接臂19，且连接臂19远离主转盘14和从转盘15的另一端通过转轴活动连接有定位柱20，主转盘14在连板18的作用下带动从转盘15转动，此时，伴随主转盘14和从转盘15的转动连接臂
19带动定位柱20沿通孔13进行滑动插入真空腔室内壁的定位孔内，使得门体1与真空腔室贴合后连接更加紧凑稳定。
[0026]真空镀膜设备真空室门，包括权利要求1
‑
4任一项的真空镀膜设备保护开关，门体1的一侧外壁上焊接有凸块2，且门体1靠近凸块2的一侧外壁上开设有阶梯5，阶梯5底部外壁的中心处开设有限位槽6，且限位槽6的内部插接有顶持块7，顶持块7位于限位槽6内部的两侧均焊接有限位板8，且限位板8的底部外壁上焊接有弹簧9，顶持块7的顶部外壁上焊接有贴合板10，且贴合板10的顶部外壁上粘接有密封胶垫11，顶持块7在限位板8和弹簧9的作用下滑动连接在限位槽6的内部，顶持块7在限位板8和弹簧9的作用下推动贴合板10与真空腔室贴合，提升了密封胶垫11与真空腔室壁贴合的紧凑性，使得真空镀膜设备的密封性得到了极大的提升。
[0027]在本实施例中，门体1远离凸块2另一侧外壁的轴心处通过轴承活动连接有转柱3，且转柱3的一侧外壁上焊接有转把4，转柱3与主转盘14之间呈传动连接。
[0028]在本实施例中，转把4呈圆柱状结构，且转把4的外侧壁上套接有海绵套筒，海绵套筒提升了操作者握持转把4时的舒适本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.真空镀膜设备保护开关，包括门体(1)，其特征在于：所述门体(1)的一侧外壁上焊接有凸块(2)，所述凸块(2)的内部开设有传动腔(12)，且所述传动腔(12)底部内壁的轴心处通过轴承活动连接有主转盘(14)，所述传动腔(12)靠近所述主转盘(14)底部内壁中心处的两端均通过轴承活动连接有从转盘(15)。2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备保护开关，其特征在于：所述主转盘(14)的两侧均开设有弧形槽(16)，且所述传动腔(12)靠近所述主转盘(14)底部内壁的两侧均焊接有限位柱(17)，所述限位柱(17)滑动连接在所述弧形槽(16)的内部。3.根据权利要求1所述的真空镀膜设备保护开关，其特征在于：所述主转盘(14)与所述从转盘(15)底部外壁的两侧均通过转轴活动连接有连板(18)，所述凸块(2)两侧外壁的中心处均开设有呈等距离结构分布的通孔(13)。4.根据权利要求3所述的真空镀膜设备保护开关，其特征在于：所述主转盘(14)和所述从转盘(15)顶部外壁的两侧均通过转轴活动连接有连接臂(19)，且所述连接臂(19)远离所述主转盘(14)和所述从转盘(15)的另一端通过转轴活动连接有定位柱(20)，所述定位柱(20)沿...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨海成，
申请(专利权)人：东莞耀捷镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：