一种双面蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例提供一种双面蒸镀装置，其包括第一蒸镀单元、第二蒸镀单元和第三蒸镀单元，第一蒸镀单元包括第一蒸镀架，相互平行的设置于第一蒸镀架的第一侧第一放卷辊和第一收卷辊，第一放卷辊在竖直方向上的高度低于所述第一收卷辊；第二蒸镀单元包括第二蒸镀架，相互平行设置于第二蒸镀架的第一侧的第一转向辊和第二转向辊，且第一转向辊在竖直方向上的高度低于第二转向辊；第三蒸镀单元包括第一蒸镀源和第二蒸镀源，第一蒸镀源和第二蒸镀源的两端分别与第一蒸镀架的第一侧和第二蒸镀架的第一侧连接，第一蒸镀源在竖直方向上的高度低于第二蒸镀源。本实用新型专利技术实施例提供的双面蒸镀装置为立体设置，占地空间小，空间利用率高。用率高。用率高。

【技术实现步骤摘要】
一种双面蒸镀装置


[0001]本技术涉及薄膜蒸镀
，具体涉及一种双面蒸镀装置。

技术介绍

[0002]目前，柔性导电材料在电子、屏蔽、电容、汽车、新能源、航天行业得到广泛应用，其主要发展趋势为材料越来越薄、导电性能要求越来越高，材料的厚度由原来的10～50μm发展到2～16μm，称为超薄柔性导电材料，电子产品对导电材料的导电性能要求的不断提高，就要求膜面金属镀层越来越厚，同时镀层品质越来越高；蒸镀是指将待蒸镀材料放置在坩埚等耐高温容器里，加热使其融化，从而使得待蒸镀材料气化，沉积在路过的薄膜上。现有的蒸镀机均为平铺设计，占地空间大，空间利用率低。除此之外，当前的蒸镀装置在完成一卷薄膜镀膜后，需要打开真空腔体继续放卷，不能一次性蒸镀多卷薄膜，也不能进行双面的蒸镀，效率低下。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术实施例的目的在于提供一种真空薄膜蒸镀机，以解决现有技术中真空空间利用率低且每次只能生产一卷薄膜的技术问题。
[0004]为达上述目的，本技术实施例提供了一种双面蒸镀装置，其包括第一蒸镀单元、第二蒸镀单元和第三本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双面蒸镀装置，其特征在于，包括第一蒸镀单元、第二蒸镀单元和第三蒸镀单元，其中，所述第一蒸镀单元包括：第一蒸镀架(10)；第一放卷辊(111)和第一收卷辊(121)，相互平行设置于所述第一蒸镀架(10)的第一侧，且所述第一放卷辊(111)在竖直方向上的高度低于所述第一收卷辊(121)；所述第二蒸镀单元包括：第二蒸镀架(20)；第一转向辊(211)和第二转向辊(221)，相互平行设置于所述第二蒸镀架(20)的第一侧，且所述第一转向辊(211)在竖直方向上的高度低于所述第二转向辊(221)；所述第三蒸镀单元包括：第一蒸镀源(311)和第二蒸镀源(321)，所述第一蒸镀源(311)和所述第二蒸镀源(321)的两端分别与所述第一蒸镀架(10)的第一侧和所述第二蒸镀架(20)的第一侧连接，所述第一蒸镀源(311)在竖直方向上的高度低于所述第二蒸镀源(321)。2.根据权利要求1所述的一种双面蒸镀装置，其特征在于，所述第二蒸镀单元还包括：第一挤压辊(231)第二挤压辊(241)，分别安装于所述第二蒸镀架(20)上，所述第一挤压辊(231)与所述第一转向辊(211)滚动接触，所述第二挤压辊(241)与所述第二转向辊(221)滚动接触。3.根据权利要求2所述的一种双面蒸镀装置，其特征在于，所述第一放卷辊(111)与所述第一转向辊(211)在竖直方向上的安装高度相同；所述第一收卷辊(121)与所述第二转向辊(221)在竖直方向上的安装高度相同。4.根据权利要求3所述的一种双面蒸镀装置，其特征在于，所述第一蒸镀单元还包括：第四转向辊(131)，设置于所述第一放卷辊(111)和所述第一收卷辊(121)之间；第五转向辊(141)，设置于所述第四转向辊(131)和所述第一收卷辊(121)之间；所述第二蒸镀单元还包括：第三转向辊(251)，设置于所述第一转向辊(211)和所述第二转向辊(221)之间；第六转向辊(261)，设置于所述第三转向辊(251)和所述第二转向辊(221)之间；所述第三蒸镀单元还包括：第三蒸镀源(331)，设置于所述第一蒸镀源(311)和所述第二蒸镀源(321)之间；第四蒸镀源(341)，设置于所述第三蒸镀源(331)和所述第二蒸镀源(321)之间；所述第三蒸镀源(331)和所述第四蒸镀源(341)的两端分别与所述第一蒸镀架(10)的第一侧和所述第二蒸镀架(20)的第一侧连接。5.根据权利要求4所述的一种双面蒸镀装置，其特征在于，所述第三转向辊(251)的顶部切线与所述第四转向辊(131)的底部切线在同一水平面上；所述第五转向辊(141)的顶部切线与所述第六...

【专利技术属性】
技术研发人员：臧世伟，
申请(专利权)人：重庆金美新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：