本实用新型专利技术公开了一种新型PVD载板磁悬浮传动装置，包括腔体、PVD载板，所述PVD载板底部两侧固定安装至少一组悬浮永磁，腔体与之对应位置各固定安装至少一排与悬浮永磁相斥的同极永磁，所述腔体内左右两侧各安装至少一组导向永磁，所述腔体上侧装有若干磁流体，且从腔体外传递扭矩至制程腔体内的齿轮，所述PVD载板左上方安装一组齿条与齿轮衔接。本实用新型专利技术通过同名磁极之间产生磁斥力的原理，实现PVD载板在输送过程中的支撑力，简化设备传送结构，解决了载板与滚轮间摩擦产生掉粉现象，提高载板使用寿命，亦提高了设备稼动率，降低生产成本和维护成本，从根本上解决了粉尘，提高了镀膜质量，亦避免制程工艺失败，提高了电池片转化效率及生产效率。片转化效率及生产效率。片转化效率及生产效率。
【技术实现步骤摘要】
一种新型PVD载板磁悬浮传动装置
[0001]本技术涉及异质结太阳能电池制备设备领域，尤其涉及一种新型 PVD载板磁悬浮传动装置。
技术介绍
[0002]在制备高效异质结太阳能电池时，PVD(Physical Vapor Deposition，物理气相沉积)工序是非常关键的步骤之一。经过化学气相沉积的硅片放置在载板上，载板作为硅片承载传送托盘，输送硅片进入真空腔室进行物理气相沉积。
[0003]目前市场上PVD均采用上下同时镀膜的结构设计，在工艺制程过程中，载板也会和硅片一样在表面形成镀膜，随着使用次数增多，膜层越来越厚。
[0004]现行设备均采用滚轮与载板硬接触的传动方式，载板直接置于传动辊上，通过载板边框底面与多个传动辊之间的滑动摩擦力，实现载板传动，因传送振动或载板与传动滚轮之间的摩擦，会产生掉粉到硅片的正面，再经上镀膜，附着在上膜层内，从而影响电池片的镀膜质量和造成后道印刷网版破裂现象严重，造成电池片效率低，设备稼动率低，产能低和成本居高不下。
技术实现思路
[0005]针对上述问题，本技术提供了一种通过同名磁极之间产生磁斥力的原理，改变了传统的接触式传输方式，使PVD载板输送过程中处于悬浮状态，避免了滚轮与载板硬接触的新型PVD载板磁悬浮传动装置。
[0006]为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：一种新型PVD 载板磁悬浮传动装置，包括腔体、PVD载板，所述PVD载板底部两侧固定安装至少一组悬浮永磁，腔体与之对应位置各固定安装至少一排与悬浮永磁相斥的同极永磁，所述腔体内左右两侧各安装至少一组导向永磁，所述腔体上侧装有若干磁流体，且从腔体外传递扭矩至制程腔体内的齿轮，所述PVD载板左上方安装一组齿条与齿轮衔接。
[0007]进一步的，所述导向永磁的位置与PVD载板上的悬浮永磁同极且相对应。
[0008]进一步的，所述PVD载板下方对应平行设置靶材。
[0009]进一步的，所述的齿轮、齿条及磁流体组成的传送结构还可以采用输送带、涡轮蜗杆、电磁传送结构。
[0010]由上述对本技术结构的描述可知，和现有技术相比，本技术具有如下优点：
[0011]本技术通过同名磁极之间产生磁斥力的原理，实现PVD载板在输送过程中的支撑力，取消了原结构中的支撑传动辊，简化设备传送结构，解决了载板与滚轮间摩擦产生掉粉现象，提高载板使用寿命，亦提高了设备稼动率，降低生产成本和维护成本，从根本上解决了粉尘，提高了镀膜质量，亦避免制程工艺失败，提高了电池片转化效率及生产效率。
附图说明
[0012]构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0013]图1为本技术一种新型PVD载板磁悬浮传动装置。
具体实施方式
[0014]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0015]实施例
[0016]参考图1，一种新型PVD载板磁悬浮传动装置，包括腔体1、PVD载板5，所述PVD载板5底部两侧固定安装至少一组悬浮永磁6，腔体1与之对应位置各固定安装至少一排与悬浮永磁相斥的同极永磁9，所述腔体1 内左右两侧各安装至少一组导向永磁7，所述腔体1上侧装有若干磁流体2，用于密封腔体，且从腔体外传递扭矩至制程腔体1内的齿轮3，所述PVD 载板5左上方安装一组齿条4与齿轮3衔接。
[0017]所述导向永磁7的位置与PVD载板5上的悬浮永磁6同极且相对应。
[0018]所述PVD载板5下方对应平行设置靶材8。
[0019]所述的齿轮3、齿条4及磁流体2组成的传送结构还可以采用输送带、涡轮蜗杆、电磁传送结构，且相应的悬浮永磁6或导向永磁7可采用其它间接产生磁性的器件代替。
[0020]工作原理：在传送PVD载板时，悬浮永磁6与同极永磁9相互之间的磁斥力，使PVD载板5处于悬浮状态，导向永磁7与同极永磁9相互之间的磁斥力，使PVD载板5始终处于正中，起到导向的作用，PVD设备伺服电机带动磁流体2，从腔外传递扭矩至制程腔体1内的齿轮3，带动与之对应的齿条4，从而使处于悬浮状态的载板5传动，避免了与载板直接接触，摩擦产生掉粉到硅片的正面，进而提高了镀膜质量和后道印刷网版的产能。
[0021]本技术通过同名磁极之间产生磁斥力的原理，实现PVD载板在输送过程中的支撑力，取消了原结构中的支撑传动辊，简化设备传送结构，解决了载板与滚轮间摩擦产生掉粉现象，提高载板使用寿命，亦提高了设备稼动率，降低生产成本和维护成本，从根本上解决了粉尘，提高了镀膜质量，亦避免制程工艺失败，提高了电池片转化效率及生产效率
[0022]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新型PVD载板磁悬浮传动装置，其特征在于：包括腔体(1)、PVD载板(5)，所述PVD载板(5)底部两侧固定安装至少一组悬浮永磁(6)，腔体(1)与之对应位置各固定安装至少一排与悬浮永磁相斥的同极永磁(9)，所述腔体(1)内左右两侧各安装至少一组导向永磁(7)，所述腔体(1)上侧装有若干磁流体(2)，且从腔体外传递扭矩至制程腔体(1)内的齿轮(3)，所述PVD载板(5)左上方安装一组齿条(4)与齿轮(3)衔接。2.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄茂林，秦志华，刘义军，
申请(专利权)人：福建金石能源有限公司，
类型：新型
国别省市：
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