金属蒸发台衬板及其制备方法、残留金属回收方法技术

本公开提供了一种金属蒸发台衬板及其制备方法、残留金属回收方法，属于光电子制造技术领域。该金属蒸发台衬板包括：板体和水溶材料层，所述水溶材料层位于所述板体用于承载工件的表面，所述水溶材料层溶于水。本公开能提高蒸镀金属电极后残留金属的回收效率，避免造成金属浪费，节省成本。节省成本。节省成本。

【技术实现步骤摘要】
金属蒸发台衬板及其制备方法、残留金属回收方法


[0001]本公开涉及光电子制造
，特别涉及一种金属蒸发台衬板及其制备方法、残留金属回收方法。

技术介绍

[0002]发光二极管(英文：Light Emitting Diode，简称：LED)作为光电子产业中极具影响力的新产品，具有体积小、使用寿命长、颜色丰富多彩、能耗低等特点，广泛应用于照明、显示屏、信号灯、背光源、玩具等领域。LED的核心结构是外延片，发光二极管芯片通常包括外延片和蒸镀在外延片表面的金属电极。
[0003]相关技术中，通常通过金属蒸发台在外延片的表面蒸镀金属电极，蒸镀过程中外延片是放置在金属蒸发台的衬板上的。然而，在蒸镀过程中，往往只有少量的金属蒸镀到外延片上，大部分的金属则蒸镀到金属蒸发台的衬板上，因此会造成大量的金属浪费。

技术实现思路

[0004]本公开实施例提供了一种金属蒸发台衬板及其制备方法、残留金属回收方法，能提高蒸镀金属电极后残留金属的回收效率，避免造成金属浪费，节省成本。所述技术方案如下：
[0005]一方面，本公开实施例提供了一种金属蒸发台衬板，所述金属蒸发台衬板包括：板体和水溶材料层，所述水溶材料层位于所述板体用于承载工件的表面，所述水溶材料层溶于水。
[0006]在本公开实施例的一种实现方式中，所述水溶材料层由涂料形成，所述涂料包括改性硅树脂和清水的混合物。
[0007]在本公开实施例的一种实现方式中，所述涂料中，所述改性硅树脂的质量百分比为78％至80％。
[0008]在本公开实施例的另一种实现方式中，所述涂料还包括色素材料，所述涂料中，所述色素材料的质量百分比为1％至2％。
[0009]在本公开实施例的另一种实现方式中，所述涂料还包括助剂，所述涂料中，所述助剂的质量百分比为2％至5％。
[0010]在本公开实施例的另一种实现方式中，所述水溶材料层的厚度为25μm至35μm。
[0011]第二方面，本公开实施例提供了一种金属蒸镀的残留金属回收方法，所述残留金属回收方法包括：提供如前文所述的金属蒸发台衬板；在所述金属蒸发台衬板中水溶材料层所在的一面完成芯片的电极的蒸镀；将所述金属蒸发台衬板放入清洗水槽浸泡，去除所述金属蒸发台衬板表面的水溶材料层，得到回收液；从所述回收液中分离出金属。
[0012]第三方面，本公开实施例提供了一种金属蒸发台衬板的制备方法，所述制备方法包括：在板体用于承载工件的表面形成水溶材料层，所述水溶材料层溶于水。
[0013]在本公开实施例的另一种实现方式中，所述在板体用于承载工件的表面形成水溶
材料层之前，所述制备方法还包括：按照改性硅树脂的质量百分比为78％至80％，色素材料的质量百分比为1％至2％，助剂的质量百分比为2％至5％，余量为清水的配比，配置涂料。
[0014]在本公开实施例的另一种实现方式中，所述在板体用于承载工件的表面形成水溶材料层包括：在板体用于承载工件的表面喷涂所述涂料，直至用于承载工件的表面被全部染色；加热固化所述涂料，形成所述水溶材料层。
[0015]本公开实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括：
[0016]本公开实施例提供的金属蒸发台衬板包括板体和水溶材料层，水溶材料层设置在板体用于承载工件的表面，且水溶材料层是可以溶于水的。这样在板体的表面形成一层水溶材料层，当通过金属蒸发台在衬板上蒸镀完金属电极后，残留的金属附着在水溶材料层表面，而不是衬板表面。此时，通过清水浸泡金属蒸发台衬板的方式，就能让固化的绝大部分水溶材料层再次液化，以将水溶材料层从板体上溶解剥离下来，最后对混有水溶材料层的回收液进行分离即可回收得到残留的金属。该回收方法简单，能快速完成残留金属的回收效率，避免造成金属浪费，节省成本。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本公开实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1是本公开实施例提供的一种金属蒸发台衬板的结构示意图；
[0019]图2是本公开实施例提供的一种金属蒸镀的残留金属回收方法的流程图；
[0020]图3是本公开实施例提供的一种清洗水槽的结构示意图。
[0021]图中各标记说明如下：
[0022]10、板体；
[0023]20、水溶材料层；
[0024]31、水槽本体；310、安装槽；32、超声波振动器。
具体实施方式
[0025]为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本公开实施方式作进一步地详细描述。
[0026]除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”、“第三”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则所述相对位置关系也可能相应地改变。
[0027]相关技术中，蒸镀的金属电极多为金电极，金电极通常采用金属蒸发台制备。由于制备过程中，只有少量的黄金蒸镀到外延片的表面上，而大部分的黄金蒸镀在金属蒸发台衬板上。
[0028]为回收大量残留的金属，相关技术在蒸镀金属电极前，会在金属蒸发台衬板的表面蒸镀一层2μm至6μm的Al层；然后，开始蒸镀金电极，待蒸镀完成后，取出残留有金属的金属蒸发台衬板，并将金属蒸发台衬板浸泡在NAOH溶液内，利用Al和NaOH溶液反应，Al和NaOH溶液反应的化学方程式为：2Al+2NaOH+2H2O＝2NaAlO2+3H2。
[0029]这样NaOH溶液能将Al从金属蒸发台衬板上脱落，同时，还将附着在Al层表面的黄金剥离下来；最后，通过后续的浸泡和还原手段将黄金从溶液中提取出来完成回收。
[0030]然而，相关技术中的回收方法至少包括以下问题：Al层与NaOH溶液反应不充分，会有部分Al残留在衬板上，导致黄金剥离不充分从而导致回收率偏低；Al层不易完全从金属蒸发台衬板上剥离下来，金属蒸发台衬板需要经过喷砂、清理等手段才能重新使用，清理周期，不便于使用。
[0031]为此，本公开实施例提供了一种金属蒸发台衬板。图1是本公开实施例提供的一种金属蒸发台衬板的结构示意图。如图1所示，该金属蒸发台衬本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属蒸发台衬板，其特征在于，所述金属蒸发台衬板包括：板体(10)和水溶材料层(20)，所述水溶材料层(20)位于所述板体(10)用于承载工件的表面，所述水溶材料层(20)溶于水。2.根据权利要求1所述的金属蒸发台衬板，其特征在于，所述水溶材料层(20)由涂料形成，所述涂料包括改性硅树脂和清水的混合物。3.根据权利要求2所述的金属蒸发台衬板，其特征在于，所述涂料中，所述改性硅树脂的质量百分比为78％至80％。4.根据权利要求2所述的金属蒸发台衬板，其特征在于，所述涂料还包括色素材料，所述色素材料的质量百分比为1％至2％。5.根据权利要求3所述的金属蒸发台衬板，其特征在于，所述涂料还包括助剂，所述涂料中，所述助剂的质量百分比为2％至5％。6.根据权利要求1至5任一项所述的金属蒸发台衬板，其特征在于，所述水溶材料层(20)的厚度为25μm至35μm。7.一种金属蒸镀的残留金属回收方法，其特征在于，所述残留金属回收方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄新雷，李俊生，胡根水，孙虎，
申请(专利权)人：华灿光电浙江有限公司，
类型：发明
国别省市：