一种真空镀膜用工件承载托盘制造技术

本实用新型专利技术提供一种真空镀膜用工件承载托盘，其可以在工序中实现对镀膜工件的快速、均匀、省能的加热。其包括：承载托盘，其特征在于，其还包括加热模块、储热层，所述加热模块、所述储热层被集成在所述承载托盘上，所述储热层被均匀地设置于所述承载托盘下部，所述加热模块为所述承载托盘加热。模块为所述承载托盘加热。模块为所述承载托盘加热。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜用工件承载托盘


[0001]本技术涉及真空气相沉积镀膜设备
，具体为一种真空镀膜用工件承载托盘。

技术介绍

[0002]在真空镀膜设备领域中，镀膜工件的承载托盘是整个镀膜系统最关键的组成部分之一，特别是在量产作业温度条件调控时，需要极高的稳定均匀型和极快的加热速度。传统的镀膜工件承载托盘采用种间接的加热模式进行工作。温度调控时，承载托盘的本体与设备上的加热单元接触，让加热单元产生的热量经过承载托盘自身再传导到工件上去，加热完毕承载托盘带着放置其上的工件离开加热单元，进行后续镀膜工序；因为热量是从设备加热单元经过承载托盘再到达工件上的，加热过程耗时多。而且，热量需要同时满足承承载托盘与工件的热熔，增加了热量损耗；现有技术中的工序中，加热后无法马上开始镀膜工艺，所以承载盘加热后在等待过程中会发生热量流失，还需要增加预热工序，也进一步造成了热量损耗和时间损耗。同时，承载托盘与加热单元的接触难以做到100%的贴合，会造成传热不均匀的的问题，最终导致温度不均匀，影响镀膜均匀性。

技术实现思路

[0003]为了解决现有技术的工件承载托盘在温度调控时耗时长、热量损耗大、加热不均匀的问题，本技术提供一种真空镀膜用工件承载托盘，其可以在工序中实现对镀膜工件的快速、均匀、省能的加热。
[0004]本技术的技术方案是这样的：一种真空镀膜用工件承载托盘，其包括：承载托盘，其特征在于，其还包括加热模块、储热层，所述加热模块、所述储热层被集成在所述承载托盘上，所述储热层被均匀地设置于所述承载托盘下部，所述加热模块为所述承载托盘加热。
[0005]其进一步特征在于：
[0006]所述储热层基于向相变储能材料或者盐类物质实现；
[0007]所述承载托盘基于高传热效率的材料实现；
[0008]所述加热模块基于电加热器件实现。
[0009]本技术提供的一种真空镀膜用工件承载托盘，其通过加热模块直接对承载托盘加热，是承载托盘自身成为热源，通过承载托盘直接对工件进行加热，无需另行使用加热单元，提高了加热速度、降低了热传导过程中的能耗，实现对工件的均匀加热；通过储热层的设置，确保在放置在承载托盘之上的工件均匀加热，同时在承载托盘停止通电后，也能持续放热，无需增加预热程序。
附图说明
[0010]图1为本技术的工件承载托盘的结构示意图；
[0011]图2为本技术的承载托盘与现有技术中的承载托盘的加热效果对比图。
具体实施方式
[0012]如图1所示，本技术一种真空镀膜用工件承载托盘1，其包括：承载托盘1、加热模块2、储热层3，加热模块2、储热层3被集成在承载托盘1上，储热层3被均匀地设置于承载托盘1下部，加热模块2为承载托盘1加热。具体实施的时候，储热层3基于向相变储能材料（比如：水合硫酸钠）或者盐类物质（比如：硝酸钾）实现；承载托盘1基于高传热效率的材料实现，如：石墨、碳、铝、铝合金、不锈钢等材料；加热模块2基于现有技术中的电加热器件实现。
[0013]使用过程中，在温度调控时，通过加热模块2通电对承载托盘1进行加热，同时通过承载托盘1和储热层3之间的导热，将热量储存在储热层3中。
[0014]如图2所示，承载托盘1本身作为热源对放置其上的工件进行直接加热，与现有技术中的承载托盘相比，避免了热源到承载托盘1过程中的热能损失，减少了热传导所需的时间，承载托盘1本身各处温度均匀，不会出现因为承载托盘1温度不一致导致工件加热不均匀的问题发生。
[0015]本技术中，加热后的储热层3可以长时间保持热量并且可以持续放热，储热层3被密封后均匀地铺设安放于承载托盘1的下部，对承载托盘1所承载物进行均匀的加热；加热模块2停止加热后，承载托盘1进入等待工艺过程中，通过储热层3的放热，也可以保持一定的温度，基于本技术实现的工艺阶段，预热压力较低甚至无需预热程序，提高了工件整体的加工效率。同时，在对镀膜设备整体进行设计的时候，无需额外的为加热单元设计结构，使整体的设备的设计更加合理。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜用工件承载托盘，其包括：承载托盘，其特征在于，其还包括加热模块、储热层，所述加热模块、所述储热层被集成在所述承载托盘上，所述储热层被均匀地设置于所述承载托盘下部，所述加热模块为所述承载托盘加热。2.根据权利要求1所述一种真空镀膜用工件承载托盘，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑佳毅，
申请(专利权)人：无锡爱尔华光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：