基于PID控制电磁磁力的载板停止系统技术方案

本发明专利技术公开了涉及基于PID控制电磁磁力的载板停止系统，属于半导体生产设备领域。本发明专利技术系统结构简单、节省成本、且提高了工作的效率；其中，通过PID控制磁力大小，提高了载板停止的精度，另一方面，通过本发明专利技术的载板停止系统，不需要考虑速度过快而停不住的问题；解决了现有的自动的结构复杂、生产效率较低的技术问题。使用本发明专利技术的系统和方法后，生产过程中的进片时间从原有的10s减少到4s，有效地提升了进片速度，误差从原有的

【技术实现步骤摘要】
基于PID控制电磁磁力的载板停止系统


[0001]本专利技术涉及基于PID控制电磁磁力的载板停止系统，属于半导体生产设备领域。

技术介绍

[0002]随着半导体行业的巨大需求，对半导体行业的生产设备的产能要求也越来也高，PECVD作为半导体生产工艺中不可或缺的技术环节。
[0003]在半导体生产过程中，通常是先将硅片放到载板上，移动载板到目标腔体然后进行PECVD工艺。目前，市场上传入的方式要么采用真空机械手或者传送轮移动到目标腔体内。但是，采用真空机械手相对结构比较复杂并且效率低，如果采用传动轮的方式速度过快停止精度又无法保证并且如果改变进片速度误差精度也会不同。因此需要一种结构简单，生产效率高，能保证精度的传动装置。

技术实现思路

[0004]为了提升生产效率和停止精度问题，本专利技术提供了基于PID控制电磁磁力的载板停止系统，所述技术方案如下：
[0005]本专利技术的第一个目的在于一种用于半导体生产的载板停止系统，包括：腔体，所述腔体上设有入料口，内部设有传动装置和制动装置，载板通过所述入料口，经过所述传动装置进入所述腔体内，由所述制动装置控制所述载板停止运动；
[0006]所述制动装置包括：PID控制器、电磁铁、磁铁和测速装置；所述测速装置用于测量载板移动速度并发送给所述PID控制器，所述PID控制器根据载板移动速度调整所述电磁铁内电流，所述磁铁安装在所述载板上，与所述电磁铁磁力相斥。
[0007]可选的，所述传动装置为传动轮。
[0008]可选的，所述传动轮均匀分布于所述腔体内，并处于同一水平线上。
[0009]可选的，所述磁铁分布于：所述载板接近所述电磁铁的一端的边缘。
[0010]可选的，所述测速装置为测速轮。
[0011]本专利技术的第二个目的在于提供一种用于半导体生产的载板停止方法，基于上述的用于半导体生产的载板停止系统实现，包括：
[0012]载板从入料口进入腔体；
[0013]传动装置带动载板移动，测速装置测量所述载板移动速度，并发送给PID控制器；
[0014]所述PID控制器根据速度大小调整电磁铁电流，以调整电磁铁磁力；
[0015]所述载板移动速度为0时，所述PID控制器停止工作。
[0016]本专利技术有益效果是：
[0017]本专利技术的用于半导体生产的载板停止系统结构简单、节省成本、且提高了工作的效率；其中，通过PID控制磁力大小，提高了载板停止的精度，另一方面，通过此方案不需要考虑速度过快而停不住；解决了现有的自动的结构复杂、生产效率较低的技术问题。使用本专利技术的系统和方法后，生产过程中的进片时间从原有的10s减少到4s，有效地提升了进片速
度，误差从原有的
±
2.5mm减少到了
±
1mm，有效地提升了停止时载板的位置精度。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1是本专利技术载板停止系统的整体机构示意图。
[0020]图2是本专利技术载板停止系统的控制流程图。
[0021]其中：1、腔体；2、磁铁；3、电磁铁；4、门阀；5、测速轮；6、传动轮；7、载板8、PID控制器。
具体实施方式
[0022]为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术实施方式作进一步地详细描述。
[0023]实施例一：
[0024]本实施例提供一种用于半导体生产的载板停止系统，如图1所示，包括：腔体1，腔体1上设有入料口，内部设有传动装置和制动装置，载板7通过入料口，经过传动轮6进入腔体1内，由制动装置控制载板7停止运动；
[0025]其中，制动装置包括：PID控制器8、电磁铁3、磁铁2和测速轮5；测速轮5用于测量载板7移动速度并发送给PID控制器8，PID控制器8根据载板7的移动速度调整电磁铁3内电流，磁铁2安装在载板上，与电磁铁3的磁力相斥。
[0026]实际操作时，载板7通过传动轮6快速传入到腔体1内，当通过测速轮5后PID控制器根据实时速度控制电磁铁3的电流大小，速度越快电流越大载板7受到的阻力越大。此时速度会减慢，当速度减小后PID控制器8根据此时的速度减小电磁铁3的电流，载板7缓慢前进直至速度为0，然后PID控制器8停止输出。
[0027]门阀4位于2个腔体之间，通过门阀的开闭可以实现每个腔体工艺压强不同。同时，门阀4还相当于2个腔体的门，只有门阀4打开载板才能传送进腔体。
[0028]本实施例载板停止系统的具体控制流程参照图2。
[0029]本专利技术实施例中的部分步骤，可以利用软件实现，相应的软件程序可以存储在可读取的存储介质中，如光盘或硬盘等。
[0030]以上所述仅为本专利技术的较佳实施例，并不用以限制本专利技术，凡在本专利技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体生产的载板停止系统，其特征在于，所述用于半导体生产载板停止系统包括：腔体，所述腔体上设有入料口，内部设有传动装置和制动装置，载板通过所述入料口，经过所述传动装置进入所述腔体内，由所述制动装置控制所述载板停止；所述制动装置包括：PID控制器、电磁铁、磁铁和测速装置；所述测速装置用于测量载板移动速度并发送给所述PID控制器，所述PID控制器根据载板移动速度调整所述电磁铁内电流，所述磁铁安装在所述载板上，与所述电磁铁磁力相斥。2.根据权利要求1所述的用于半导体生产的载板停止系统，其特征在于，所述传动装置为传动轮。3.根据权利要求2所述的用于半导体生产的载板停止系统，其特征在于，所述传动轮均匀分布于...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾博，
申请(专利权)人：无锡爱尔华光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：