一种链式真空镀膜设备制造技术

本发明专利技术提供一种链式真空镀膜设备，其可以防止承载盘形变，同时很容易调整承载板、电极板之间距离，极大的降低了生产成本。其包括承载盘、滚轴、加热器；所述承载盘为水平设置的平板状结构，所述滚轴水平等高地、并行设置在所述承载盘底端面，所述滚轴的滚动方向为所述承载盘的运动方向；所述加热器分别设置于相邻的两个所述滚轴之间的位置；所述加热器底端设置升降结构；两个所述滚轴之间的距离大于所述加热器的宽度。热器的宽度。热器的宽度。

【技术实现步骤摘要】
一种链式真空镀膜设备


[0001]本专利技术涉及真空气相沉积镀膜设备
，具体为一种链式真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]链式真空镀膜是一种重要的产业技术，应用于光伏，显示器，半导体，电池，材料等等总多领域，发挥着重要甚至核心的作用。现有链式真空设备所采用的传动系统如图1所示，待镀膜材料放置在承载盘1上，承载盘1底端通过链轮2驱动，将待镀膜材料送入到加热腔体中。然而，现有技术中，因为链轮2设置在承载盘1底端两侧，在使用过程中，承载盘1因为仅仅两端受力，会发生形变，导致待镀膜材料出现加热不均的问题，良品率降低，导致生产成本增加；同时，现有技术中，承载板1与设置其上部的电极板之间的距离是固定的，一旦需要工艺参数改变，需要调整待镀膜材料与电极板之间的距离是，需要花费很大成本进行调整，也会导致生产成本增加。

技术实现思路

[0003]为了解决现有技术中，因为承载盘形变导致良品率降低，以及承载板、电极板之间距离调整困难，进而导致生产成本增加的问题，本专利技术提供一种链式真空镀膜设备，其可以防止承载盘形变，同时很容易调整承载板、电极本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种链式真空镀膜设备，其包括承载盘，其特征在于，其还包括：滚轴、加热器；所述承载盘为水平设置的平板状结构，所述滚轴水平等高地、并行设置在所述承载盘底端面，所述滚轴的滚动方向为所述承载盘的运动方向；所述加热器分别设置于相邻的两个所述滚轴之间的位置；所述加热器底端设置升降结构；两个所述滚轴之间的距离大于所述加热器的宽度。2.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓萌，
申请(专利权)人：无锡爱尔华光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：