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本发明提供一种链式真空镀膜设备，其可以防止承载盘形变，同时很容易调整承载板、电极板之间距离，极大的降低了生产成本。其包括承载盘、滚轴、加热器；所述承载盘为水平设置的平板状结构，所述滚轴水平等高地、并行设置在所述承载盘底端面，所述滚轴的滚动方...
该专利属于无锡爱尔华光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡爱尔华光电科技有限公司授权不得商用。

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