一种用于大型真空镀膜机的工件挂板固定架拉出机构制造技术

一种用于大型真空镀膜机的工件挂板固定架拉出机构，真空镀膜机内设有相邻的过渡舱及镀膜工艺舱，两者之间设有插板阀分隔；镀膜工艺舱内设有工艺转架，其为一个竖立的多边形柱体壳，固定在工艺转架垂直回转轴上，柱体壳侧面的每一面上设有可钩挂工件挂板的挂钩；过渡舱内设有储备工件挂板梅花转架，其固定在梅花转架垂直回转轴上，梅花转架上设有竖立的工件挂板固定架，工件挂板固定架上可钩挂工件挂板，工件贴在工件挂板外侧；工件挂板固定架拉出机构，用于将工件挂板固定架沿滑轨拉出梅花转架外；移动传送工件挂板机械手，用于将工件挂板在过渡舱和工艺舱之间来回移动传送。本机结构简化、造价降低、使用方便、故障率低。故障率低。故障率低。

【技术实现步骤摘要】
一种用于大型真空镀膜机的工件挂板固定架拉出机构


[0001]本技术涉及一种真空镀膜机内设机构，具体是涉及一种用于大型真空镀膜机的工件挂板固定架拉出机构。

技术介绍

[0002]真空镀膜设备的技术发展趋势，一是提高产能和效率，二是提高镀膜产品质量和稳定性。要提高产能和效率，使得设备设计越来越大，装载量越来越多，单只工件挂具也越大、越重；要提高膜层质量和稳定性，除了引入镀膜新技术、新工艺外，一个最基本的要求是控制好炉内镀膜气氛稳定不变，也就是要保证每炉炉内残留气体降低至最少并保持一致性不变。为此，最有效手段是在各炉次镀膜和装卸工件都在真空中进行而不破真空，这样各炉次都在同样真空环境下进行镀膜，炉内气氛不因破真空受大气污染，可保持炉间残留气氛的一致性，这样膜层质量和一致性都会大大提高。
[0003]因此，近年来真空镀膜设备的发展一方面是大型化，另一方面是多舱化。多舱配置时，其中镀膜工艺舱室始终保持真空状态，它通过真空阀门与送料舱和出料舱连接，在真空状态下工件从送料舱送入镀膜舱，镀膜工艺完成后，在真空状态把工件移出到出料舱。一方面设备大型化，装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于大型真空镀膜机的工件挂板固定架拉出机构，其特征是包括：一机座，其上设有水平无杆气缸(40)，水平无杆气缸的水平滑块(41)上又设有垂直无杆气缸(43)，垂直无杆气缸的垂直滑块(42)上设有竖立的水平及上下移动板(44)，水平及上下移动板上设有下伸的拉出柱(45)。2.根据权利要求1所述的用于大型真空镀膜机的工件挂板固定架拉出机构，其特征是：所述固定架拉...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志荣，陈思，李运俊，
申请(专利权)人：广东汇成真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：