一种镀膜机基片架系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种镀膜机基片架系统，包括真空腔室，真空腔室上具有可进行启闭的室门，真空腔室内设置有用于安装基片的镀膜夹具的夹具架，真空腔室上具有用于调节夹具架进行转动的驱动机构，夹具架和驱动机构可拆卸式装配连接，夹具架和驱动机构处于拆卸状态时，夹具架可从打开的室门移出真空腔室。本实用新型专利技术提供的上述方案，通过将夹具架设置成可拆卸式结构，这样在真空腔室内进行镀膜时，可以对另一组夹具架装配夹具和待镀膜工件，从而提高生产效率。产效率。产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜机基片架系统


[0001]本技术涉及真空镀膜设备领域，具体涉及一种镀膜机基片架系统。

技术介绍

[0002]传统的镀膜基片架都是固定在镀膜设备腔室中，基片的镀膜、装载、卸载时都是在腔室内部进行，当镀膜设备在给基片镀膜时，工作人员只能等待镀膜结束后打开腔室门方可进行卸载基片，等卸载完后才可以进行装夹基片。因此只能按照单一操作顺序依序进行操作，很是浪费时间，造成整个生产效率很低。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种镀膜机基片架系统，其可以用于解决上述技术问题。
[0004]本技术采取的技术方案具体如下：
[0005]一种镀膜机基片架系统，其特征在于：包括真空腔室，真空腔室上具有可进行启闭的室门，真空腔室内设置有用于安装基片的镀膜夹具的夹具架，真空腔室上具有用于调节夹具架进行转动的驱动机构，夹具架和驱动机构可拆卸式装配连接，夹具架和驱动机构处于拆卸状态时，夹具架可从打开的室门移出真空腔室。
[0006]具体的方案为：驱动机构包括竖直布置的驱动轴，驱动轴的上端延伸至真空腔室的内部，驱动轴的上端具有A离合部，夹具架上具有B离合部，驱动轴和夹具架之间通过A、B离合部实现可拆卸式传动连接配合。
[0007]还包括用于对镀膜完成后移出真空腔室的夹具架进行承接和/或承托待镀膜的夹具架移入真空腔室的撑托车架。
[0008]夹具架的底部装配有滚轮，夹具架通过滚轮移入和移出真空腔室。
[0009]真空腔室的室底上设置有A导轨，滚轮与A导轨进行滚动配合。
>[0010]撑托车架上设置有B导轨，滚轮与B导轨进行滚动配合，A、B导轨顺延布置时用于实现夹具架在A、B导轨上的转移。
[0011]A、B导轨中的一者端部设置有卡口，另一者端部设置口卡块，通过卡口和卡块的卡接配合实现A、B导轨之间的顺延对接装配。
[0012]A导轨上还设置用于辅助夹具架进行定位的定位块，夹具架底部滚轮的旁侧设置有定位杆，定位杆上设置有定位销，定位杆和定位块相抵靠实现夹具架的定位。
[0013]A离合部的上端面上设置有A咬合块，A咬合块沿驱动轴的周向间隔设置，B离合部的下端面上设置有B咬合块，A离合部升降式安装，A、B咬合块交错咬合实现驱动轴和传动轴之间的传动连接。具体的可以将驱动轴设置成伸缩式结构用于抬升A离合部或下降A离合部。
[0014]夹具架上设置有用于移动夹具架的推拉把手，撑托车架上设置有用于移动撑托车架的车架把手，撑托车架的底部设置有车轮。
[0015]夹具架包括底座和位于底座上方的顶板，传动轴和底座同心布置，滚轮、定位杆安装在底座的下表面上，顶板通过各个支撑杆安装在底座上，顶板上设置有各个贯穿顶板的装配孔，装配孔的周边设置有缺口部，缺口部的尺寸小于装配孔的孔直径，底座的上表面上设置有卡座，各装配孔和各卡座上、下对应布置，卡座、装配孔分别沿底座、顶板的周向间隔设置。
[0016]本技术提供的上述方案，通过将夹具架设置成可拆卸式结构，这样在真空腔室内进行镀膜时，可以对另一组夹具架装配夹具和待镀膜工件，从而提高生产效率。
附图说明
[0017]图1为真空腔室的结构示意图；
[0018]图2为驱动机构的结构示意图；
[0019]图3为夹具架和撑托车架的结构示意图；
[0020]图4为撑托车架的结构示意图；
[0021]图5为夹具架的主视图；
[0022]图6为夹具架和驱动机构的装配示意图；
[0023]图7为撑托车架上的夹具架准备推入真空腔室的结构示意图；
[0024]图8为夹具架推入真空腔室后结构示意图；
[0025]附图标号和部件对应关系如下：
[0026]10
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真空腔室、11
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室门、12
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A导轨、13
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卡口、14
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定位块、15
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室底、20
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驱动机构、21
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A离合部、22
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驱动轴、30
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夹具架、31
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底座、32
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卡座、33
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支撑杆、34
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顶板、35
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装配孔、36
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滚轮、37
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定位杆、38
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定位销、40
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撑托车架、41
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B导轨、42
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车架把手、43
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车轮、44
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卡块、50
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夹具。
具体实施方式
[0027]为了使本技术的目的及优点更加清楚明白，以下结合实施例对本技术进行具体说明。应当理解，以下文字仅仅用以描述本技术的一种或几种具体的实施方式，并不对本技术具体请求的保护范围进行严格限定。如在本文中所使用，术语“平行”和“垂直”不限于其严格的几何定义，而是包括对于机加工或人类误差合理和不一致性的容限。
[0028]如图1
‑
6所示，一种镀膜机基片架系统，包括真空腔室10，真空腔室10上具有可进行启闭的室门11，真空腔室10内设置有用于安装基片的镀膜夹具50的夹具架30，真空腔室10上具有用于调节夹具架30进行转动的驱动机构20，夹具架30和驱动机构20可拆卸式装配连接，夹具架30和驱动机构20处于拆卸状态时，夹具架30可从打开的室门11移出真空腔室10。具体的方案为：驱动机构20包括竖直布置的驱动轴22，驱动轴22的上端延伸至真空腔室10的内部，驱动轴22的上端具有A离合部21，夹具架上具有B离合部，驱动轴和夹具架之间通过A、B离合部实现可拆卸式传动连接配合。具体的可在夹具架30上具有传动轴，传动轴的下端具有B离合部，驱动轴22和传动轴之间通过A、B离合部实现可拆卸式传动连接配合。还包括用于对镀膜完成后移出真空腔室10的夹具架30进行承接和/或承托待镀膜的夹具架30移入真空腔室10的撑托车架40。夹具架30的底部装配有滚轮36，夹具架30通过滚轮36移入和
移出真空腔室10。
[0029]本技术提供的上述方案，通过将夹具架30设置成可拆卸式结构，这样在真空腔室10内进行镀膜时，可以对另一组夹具架30装配夹具50和待镀膜工件，从而提高生产效率。
[0030]真空腔室10的室底15上设置有A导轨12，滚轮36与A导轨12进行滚动配合。撑托车架40上设置有B导轨41，滚轮36与B导轨41进行滚动配合，A、B导轨顺延布置时用于实现夹具架30在A、B导轨上的转移。A、B导轨中的一者端部设置有卡口13，另一者端部设置口卡块44，通过卡口13和卡块44的卡接配合实现A、B导轨之间的顺延对接装配。具体的A、B导轨可分别设置两个，在A导轨12的端部设置卡口13，在B导轨41的端部设置卡块44。
[0031]A导轨本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜机基片架系统，其特征在于：包括真空腔室，真空腔室上具有可进行启闭的室门，真空腔室内设置有用于安装基片的镀膜夹具的夹具架，真空腔室上具有用于调节夹具架进行转动的驱动机构，夹具架和驱动机构可拆卸式装配连接，夹具架和驱动机构处于拆卸状态时，夹具架可从打开的室门移出真空腔室。2.根据权利要求1所述的镀膜机基片架系统，其特征在于：驱动机构包括竖直布置的驱动轴，驱动轴的上端延伸至真空腔室的内部，驱动轴的上端具有A离合部，夹具架上具有B离合部，驱动轴和夹具架之间通过A、B离合部实现可拆卸式传动连接配合。3.根据权利要求1所述的镀膜机基片架系统，其特征在于：还包括用于对镀膜完成后移出真空腔室的夹具架进行承接和/或承托待镀膜的夹具架移入真空腔室的撑托车架。4.根据权利要求1或2或3所述的镀膜机基片架系统，其特征在于：夹具架的底部装配有滚轮，夹具架通过滚轮移入和移出真空腔室。5.根据权利要求4所述的镀膜机基片架系统，其特征在于：真空腔室的室底上设置有A导轨，滚轮与A导轨进行滚动配合。6.根据权利要求5所述的镀膜机基片架系统，其特征在于：撑托车架上设置有B导轨，滚轮与B导轨进行滚动配合，A、B导轨顺延布置时用于实现夹具架在A、B导轨上的转移。7.根据权利要求6所述的镀膜机基片架系统，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：张心凤，夏正卫，刘洋，陈玉梅，
申请(专利权)人：安徽纯源镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：