一种可以自动控制的真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术提供一种可以自动控制的真空镀膜机。所述可以自动控制的真空镀膜机，包括机体；驱动组件，所述驱动组件的底部固定连接于所述机体的顶部；两个连接组件，两个所述连接组件的顶部和底部分别固定连接于所述驱动组件的底部和转动连接于机体内壁的底部。本实用新型专利技术提供的可以自动控制的真空镀膜机通过连接组件中组件的配合使用下，使得真空镀膜机在需要对工装架进行拆卸更换的时候能够进行快速的更换，进而提高更换的效率并且节省更换的时间，通过收集组件中组件的配合使用下，使得真空镀膜机能够将在工作过程中使用的惰性气体进行回收，因此避免了资源的浪费节省了成本。本。本。

【技术实现步骤摘要】
一种可以自动控制的真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜机领域，尤其涉及一种可以自动控制的真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]在生产制造业中，由于真空镀膜机效率高且便于使用，因此被经常用到对零件的表面进行镀膜，并且随着社会的发展，真空镀膜机逐渐变成可以自动控制的一种设备。
[0004]在现有的一些技术中，一部分自动控制的真空镀膜机的工装架不便于拆卸，当使用者需要进行维修更换时，影响维修人员的拆卸效率，并且在现有的一些技术中，一部分真空镀膜机在进行工作的时候会对镀膜机中释放惰性气体，但是这些气体通常使用过后会直接排放掉，这样一来就形成了浪费。
[0005]因此，有必要提供一种可以自动控制的真空镀膜机解决上述技术问题。

技术实现思路

[0006]本技术提供一种可以自动控制的真空镀膜机，解决了真空镀膜机中的工装架不便进行拆卸和工作时使用的惰性气体浪费的问题。
[0007]为解决上述技术问题，本技术提供的可以自动控制的真空镀膜机，包括机体；
[0008]驱动组件，所述驱动组件的底部固定连接于所述机体的顶部；
[0009]两个连接组件，两个所述连接组件的顶部和底部分别固定连接于所述驱动组件的底部和转动连接于机体内壁的底部，所述连接组件包括固定外壳，所述固定外壳的底部转动连接于所述机体内壁底部的中部，所述固定外壳的右侧设置有螺纹杆，所述螺纹杆的左侧贯穿所述固定外壳的右侧且延伸至固定外壳内壁的右侧，所述螺纹杆的左侧转动连接于所述固定外壳内壁的左侧，所述螺纹杆周侧面的左侧和右侧均套设有螺纹筒，两个所述螺纹筒的顶部均固定连接有连接杆；
[0010]工装架，所述工装架的顶部和底部分别设置于两个所述连接组件相对的一侧；
[0011]控制装置，所述控制装置的底部固定连接与所述机体顶部的右侧；
[0012]收集组件，所述收集组件的右侧固定连接于所述机体的左侧；
[0013]惰性气体进入管，所述惰性气体进入管的底部连通于所述机体顶部的右侧；
[0014]抽气管，所述抽气管的左侧连通于所述机体右侧的底部；
[0015]箱门组件，所述箱门组件背面的左侧转动连接于所述机体正面的左侧。
[0016]优选的，两个所述连接杆的顶部分别贯穿所述固定外壳内壁顶部的左侧和右侧且延伸至固定外壳顶部的左侧和右侧，两个所述连接杆的顶部均固定连接有固定块，两个所述固定块相对的一侧均固定连接有卡块，两个所述卡块的相对的一侧分别贯穿所述工装架左侧和右侧的底部且延伸至所述工装架内壁左侧和右侧的底部。
[0017]优选的，所述驱动组件包括电机箱，所述电机箱的底部固定连接于所述机体顶部的中部，所述电机箱内壁的顶部固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴贯穿所述电机箱内壁的底部和机体顶部的中部且延伸至机体内壁顶部的中部，所述驱动电机的输出轴固定连接于顶部的所述固定外壳的顶部。
[0018]优选的，所述收集组件包括收集箱，所述收集箱的右侧固定连接于所述机体的左侧，所述收集箱的顶部固定连接有抽气泵，所述抽气泵的右侧连通有第一出气管，所述第一出气管的右侧贯穿所述机体左侧的顶部且延伸至机体内壁左侧的顶部。
[0019]优选的，所述抽气泵的左侧连通有第二出气管，所述第二出气管的右侧贯穿所述收集箱左侧的顶部且延伸至收集箱内壁左侧的顶部，所述收集箱底部的右侧连通有第三出气管。
[0020]优选的，所述箱门组件包括箱门，所述箱门背面的左侧转动连接于所述机体正面的左侧，所述箱门正面的右侧固定连接有把手。
[0021]与相关技术相比较，本技术提供的可以自动控制的真空镀膜机具有如下有益效果：
[0022]本技术提供一种可以自动控制的真空镀膜机，通过连接组件中组件的配合使用下，使得真空镀膜机在需要对工装架进行拆卸更换的时候能够进行快速的更换，进而提高更换的效率并且节省更换的时间，通过收集组件中组件的配合使用下，使得真空镀膜机能够将在工作过程中使用的惰性气体进行回收，因此避免了资源的浪费节省了成本。
附图说明
[0023]图1为本技术提供的可以自动控制的真空镀膜机的一种较佳实施例的结构示意图；
[0024]图2为图1所示A处的结构示意图；
[0025]图3为图1所示箱门的结构示意图。
[0026]图中标号：1、机体；2、驱动组件；3、连接组件；4、工装架；5、控制装置；6、收集组件；7、惰性气体进入管；8、抽气管；9、箱门组件；21、电机箱；22、驱动电机；31、固定外壳；32、螺纹杆；33、螺纹筒；34、连接杆；35、固定块；36、卡块；61、收集箱；62、抽气泵；63、第一出气管；64、第二出气管；65、第三出气管；91、箱门；92、把手。
具体实施方式
[0027]下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。
[0028]请结合参阅图1、图2和图3，其中，图1为本技术提供的可以自动控制的真空镀膜机的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示A处的结构示意图；图3为图1所示箱门的结构示意图。可以自动控制的真空镀膜机包括机体1；
[0029]驱动组件2，驱动组件2的底部固定连接于机体1的顶部；
[0030]两个连接组件3，两个连接组件3的顶部和底部分别固定连接于驱动组件2的底部和转动连接于机体1内壁的底部，连接组件3包括固定外壳31，固定外壳31的底部转动连接于机体1内壁底部的中部，固定外壳31的右侧设置有螺纹杆32，螺纹杆32的左侧贯穿固定外壳31的右侧且延伸至固定外壳31内壁的右侧，螺纹杆32的左侧转动连接于固定外壳31内壁
的左侧，螺纹杆32周侧面的左侧和右侧均套设有螺纹筒33，两个螺纹筒33的顶部均固定连接有连接杆34；
[0031]工装架4，工装架4的顶部和底部分别设置于两个连接组件3相对的一侧；
[0032]控制装置5，控制装置5的底部固定连接与机体1顶部的右侧；
[0033]收集组件6，收集组件6的右侧固定连接于机体1的左侧；
[0034]惰性气体进入管7，惰性气体进入管7的底部连通于机体1顶部的右侧；
[0035]抽气管8，抽气管8的左侧连通于机体1右侧的底部；
[0036]箱门组件9，箱门组件9背面的左侧转动连接于机体1正面的左侧。
[0037]两个连接杆34的顶部分别贯穿固定外壳31内壁顶部的左侧和右侧且延伸至固定外壳31顶部的左侧和右侧，两个连接杆34的顶部均固定连接有固定块35，两个固定块35相对的一侧均固定连接有卡块36，两个卡块36的相对的一侧分别贯穿工装架4左侧和右侧的底部且延伸至工装架4内壁左侧和右侧的底部。
[0038]驱动组件2包括电机箱21，电机箱21的底部固定连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可以自动控制的真空镀膜机，其特征在于：包括机体(1)；驱动组件(2)，所述驱动组件(2)的底部固定连接于所述机体(1)的顶部；两个连接组件(3)，两个所述连接组件(3)的顶部和底部分别固定连接于所述驱动组件(2)的底部和转动连接于机体(1)内壁的底部，所述连接组件(3)包括固定外壳(31)，所述固定外壳(31)的底部转动连接于所述机体(1)内壁底部的中部，所述固定外壳(31)的右侧设置有螺纹杆(32)，所述螺纹杆(32)的左侧贯穿所述固定外壳(31)的右侧且延伸至固定外壳(31)内壁的右侧，所述螺纹杆(32)的左侧转动连接于所述固定外壳(31)内壁的左侧，所述螺纹杆(32)周侧面的左侧和右侧均套设有螺纹筒(33)，两个所述螺纹筒(33)的顶部均固定连接有连接杆(34)；工装架(4)，所述工装架(4)的顶部和底部分别设置于两个所述连接组件(3)相对的一侧；控制装置(5)，所述控制装置(5)的底部固定连接与所述机体(1)顶部的右侧；收集组件(6)，所述收集组件(6)的右侧固定连接于所述机体(1)的左侧；惰性气体进入管(7)，所述惰性气体进入管(7)的底部连通于所述机体(1)顶部的右侧；抽气管(8)，所述抽气管(8)的左侧连通于所述机体(1)右侧的底部；箱门组件(9)，所述箱门组件(9)背面的左侧转动连接于所述机体(1)正面的左侧。2.根据权利要求1所述的可以自动控制的真空镀膜机，其特征在于，两个所述连接杆(34)的顶部分别贯穿所述固定外壳(31)内壁顶部的左侧和右侧且延伸至固定外壳(31)顶部的左侧和右侧，两个所述连接杆(34)的顶部均固定连接有固定块(35)，两个所述固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：王奎，王洪全，
申请(专利权)人：青岛深蓝科创金属制造有限公司，
类型：新型
国别省市：