【技术实现步骤摘要】
一种可以自动控制的真空镀膜机
[0001]本技术涉及真空镀膜机领域,尤其涉及一种可以自动控制的真空镀膜机。
技术介绍
[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]在生产制造业中,由于真空镀膜机效率高且便于使用,因此被经常用到对零件的表面进行镀膜,并且随着社会的发展,真空镀膜机逐渐变成可以自动控制的一种设备。
[0004]在现有的一些技术中,一部分自动控制的真空镀膜机的工装架不便于拆卸,当使用者需要进行维修更换时,影响维修人员的拆卸效率,并且在现有的一些技术中,一部分真空镀膜机在进行工作的时候会对镀膜机中释放惰性气体,但是这些气体通常使用过后会直接排放掉,这样一来就形成了浪费。
[0005]因此,有必要提供一种可以自动控制的真空镀膜机解决上述技术问题。
技术实现思路
[0006]本技术提供一种可以自动控制的真空镀膜机,解决了真空镀膜机中的工 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可以自动控制的真空镀膜机,其特征在于:包括机体(1);驱动组件(2),所述驱动组件(2)的底部固定连接于所述机体(1)的顶部;两个连接组件(3),两个所述连接组件(3)的顶部和底部分别固定连接于所述驱动组件(2)的底部和转动连接于机体(1)内壁的底部,所述连接组件(3)包括固定外壳(31),所述固定外壳(31)的底部转动连接于所述机体(1)内壁底部的中部,所述固定外壳(31)的右侧设置有螺纹杆(32),所述螺纹杆(32)的左侧贯穿所述固定外壳(31)的右侧且延伸至固定外壳(31)内壁的右侧,所述螺纹杆(32)的左侧转动连接于所述固定外壳(31)内壁的左侧,所述螺纹杆(32)周侧面的左侧和右侧均套设有螺纹筒(33),两个所述螺纹筒(33)的顶部均固定连接有连接杆(34);工装架(4),所述工装架(4)的顶部和底部分别设置于两个所述连接组件(3)相对的一侧;控制装置(5),所述控制装置(5)的底部固定连接与所述机体(1)顶部的右侧;收集组件(6),所述收集组件(6)的右侧固定连接于所述机体(1)的左侧;惰性气体进入管(7),所述惰性气体进入管(7)的底部连通于所述机体(1)顶部的右侧;抽气管(8),所述抽气管(8)的左侧连通于所述机体(1)右侧的底部;箱门组件(9),所述箱门组件(9)背面的左侧转动连接于所述机体(1)正面的左侧。2.根据权利要求1所述的可以自动控制的真空镀膜机,其特征在于,两个所述连接杆(34)的顶部分别贯穿所述固定外壳(31)内壁顶部的左侧和右侧且延伸至固定外壳(31)顶部的左侧和右侧,两个所述连接杆(34)的顶部均固定连接有固定块(35),两个所述固定...
【专利技术属性】
技术研发人员:王奎,王洪全,
申请(专利权)人:青岛深蓝科创金属制造有限公司,
类型:新型
国别省市:
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