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本实用新型提供一种真空镀膜用工件承载托盘，其可以在工序中实现对镀膜工件的快速、均匀、省能的加热。其包括：承载托盘，其特征在于，其还包括加热模块、储热层，所述加热模块、所述储热层被集成在所述承载托盘上，所述储热层被均匀地设置于所述承载托盘下部...
该专利属于无锡爱尔华光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡爱尔华光电科技有限公司授权不得商用。

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