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金属蒸发台衬板及其制备方法、残留金属回收方法技术
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文档序号:33644668
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本公开提供了一种金属蒸发台衬板及其制备方法、残留金属回收方法,属于光电子制造技术领域。该金属蒸发台衬板包括:板体和水溶材料层,所述水溶材料层位于所述板体用于承载工件的表面,所述水溶材料层溶于水。本公开能提高蒸镀金属电极后残留金属的回收效率,...
该专利属于华灿光电(浙江)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华灿光电(浙江)有限公司授权不得商用。
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