下载一种新型PVD载板磁悬浮传动装置的技术资料

文档序号:33686605

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本实用新型公开了一种新型PVD载板磁悬浮传动装置,包括腔体、PVD载板,所述PVD载板底部两侧固定安装至少一组悬浮永磁,腔体与之对应位置各固定安装至少一排与悬浮永磁相斥的同极永磁,所述腔体内左右两侧各安装至少一组导向永磁,所述腔体上侧装有若...
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