按压手柄制造技术

本申请实施例公开了一种按压手柄，所述按压手柄应用于刻蚀设备，所述刻蚀设备包括设备主体和密封部，所述设备主体具有安装槽，所述按压手柄用于将所述密封部按压于所述安装槽；所述按压手柄包括：手柄主体；至少一个连接部，所述连接部与所述手柄主体为一体成型结构，且所述连接部与所述手柄主体之间形成安装区间；及滚动体，所述滚动体位于所述安装区间且与所述连接部转动连接。本申请实施例通过设置用于刻蚀设备的按压手柄，可以提高密封部的安装效率，降低成本。降低成本。降低成本。

【技术实现步骤摘要】
按压手柄


[0001]本申请涉及刻蚀设备
，特别是涉及一种按压手柄。

技术介绍

[0002]随着科学技术的发展，半导体成为人们生产生活中不可缺少的一部分，例如，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用。而刻蚀是半导体制造工艺中相当重要的步骤，对应地，刻蚀设备设置有用于保证气密性的密封部，对生产加工效率起着相当重要的作用。
[0003]在相关技术中，刻蚀设备的密封圈通过人工手动安装，耗时长，安装效率低。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供了一种按压手柄，通过设置用于刻蚀设备的按压手柄，可以提高密封部的安装效率，降低成本。
[0005]本申请实施例提供了一种按压手柄，所述按压手柄应用于刻蚀设备，所述刻蚀设备包括设备主体和密封部，所述设备主体具有安装槽，所述按压手柄用于将所述密封部按压于所述安装槽；所述按压手柄包括：手柄主体；至少一个连接部，所述连接部与所述手柄主体为一体成型结构，且所述连接部与所述手柄主体之间形成安装区间；及滚动体，所述滚动体位于所述安装区间且与所述连接部转动连接。
[0006]基于本申请实施例，按压手柄用于刻蚀设备，刻蚀设备包括设备主体和密封部，通过按压手柄将密封部按压在安装槽中，提高密封部的安装效率，进而降低时间成本；按压手柄包括手柄主体、至少连接部和滚动体，手柄主体和连接部一体成型，可以提高连接部与手柄主体的连接强度，连接部与手柄主体之间形成安装区间，使得滚动体可以处于安装区间内，滚动体和连接部转动连接，在将密封部按压于安装槽的过程中，通过转动的滚动体将密封部按压至安装槽内，使密封部贴合安装槽内壁，提高密封部的安装效率。
[0007]在其中一些实施例中，所述手柄主体背离所述连接部的一端表面为平面。
[0008]基于上述实施例，将手柄主体背离连接部的一端表面设置为平面，可以先通过手柄主体背离连接部的一端将密封部按压至安装槽中，平面的设置可以便于将密封部平整地按压，后通过滚动体的滚动按压使密封部贴合安装槽内壁，提高密封部的密封性。
[0009]在其中一些实施例中，所述连接部的数量为两个，两个所述连接部间隔设置且与所述手柄主体之间共同形成所述安装区间。
[0010]基于上述实施例，连接部的数量为两个，两个连接部间隔设置并与手柄主体共同形成安装区间，以使滚动体可以位于安装区间内转动，提高滚动体与连接部的连接稳定性，避免在滚动按压的过程中，滚动体与连接部脱离。
[0011]在其中一些实施例中，所述滚动体包括：转轴，所述转轴位于两个所述连接部之间且固定于至少一个所述连接部；滚筒，所述滚筒套设于所述转轴上且可在所述转轴上转动。
[0012]基于上述实施例，滚动体包括转轴和滚筒，滚筒套设在转轴上，且滚筒可以在转轴
上转动，滚筒可以用于将密封部按压至安装槽内，滚筒可转动的设置可以同步实现按压与移动，有利于提高密封部的安装效率。
[0013]在其中一些实施例中，每个所述连接部均设置有第一安装孔、及与第一安装孔连通的第二安装孔，所述转轴的两端分别位于一个所述连接部的所述第一安装孔，所述按压手柄还包括：两个锁紧件，每个所述锁紧件分别位于一个所述连接部的所述第二安装孔内且与所述转轴连接。
[0014]基于上述实施例，两个连接部均设置有第一安装孔和第二安装孔，第二安装孔与第一安装孔连通，两个锁紧件分别位于两个第二安装孔内，并与转轴相连接，以限制转轴的转动，即转轴与手柄主体固定连接，滚筒套设在转轴上转动，进而同步实现按压与移动，有利于提高密封部的安装效率。
[0015]在其中一些实施例中，所述锁紧件与所述转轴抵接，以使所述转轴固定于所述连接部。
[0016]基于上述实施例，锁紧件与转轴的连接方式为抵接，结构成本较低，此时，锁紧件与转轴呈固定连接，滚筒套设在转轴上转动，进而同步实现按压与移动，有利于提高密封部的安装效率。
[0017]在其中一些实施例中，所述转轴还设置有与所述第二安装孔对应的第三安装孔，所述锁紧件还位于所述第三安装孔内，以使所述转轴固定于所述连接部。
[0018]基于上述实施例，转轴设置有第三安装孔，第三安装孔与第二安装孔对应，锁紧件还位于第三安装孔内，即锁紧件同时位于第二安装孔与第三安装孔，使转轴相对于连接部固定，固定结构稳定性较高，且滚筒套设在转轴上转动，进而同步实现按压与移动，有利于提高密封部的安装效率。
[0019]在其中一些实施例中，每个所述连接部均设置有第一安装孔，所述滚动体包括：转轴，所述转轴的两端分别位于一个所述连接部的所述第一安装孔，且所述转轴可在所述第一安装孔内转动；滚筒，所述滚筒固定于所述转轴上。
[0020]基于上述实施例，滚动体包括转轴和滚筒，两个连接部均设置有第一安装孔，转轴的两端分别位于一个第一安装孔内，使得转轴可转动，且滚筒固定在转轴上，滚筒可以用于将密封部按压至安装槽内，转轴可转动的设置可以同步实现按压与移动，有利于提高密封部的安装效率。
[0021]在其中一些实施例中，所述滚筒的制备材料为环氧树脂。
[0022]基于上述实施例，滚筒的制备材料为环氧树脂，环氧树脂的绝缘性能高、结构强度大，密封性能好，且耐化学品性优良，在密封部的安装过程中，可以减少对设备主体的接触损耗，提高密封部安装的顺滑性，有利于提高密封部的安装效率。
[0023]在其中一些实施例中，所述手柄主体的制备材料为聚碳酸酯。
[0024]基于上述实施例，手柄主体的制备材料为聚碳酸酯，聚碳酸酯具有强度高、耐疲劳性、尺寸稳定、耐热老化型好、绝缘性能优良，成型加工性较好等特点，加工方便，耐久使用，且可以绝缘，便于使用。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下部将对实施例或现
有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下部描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1是本申请实施例提供的刻蚀设备的示意图；
[0027]图2是本申请实施例提供的按压手柄的结构示意图；
[0028]图3是本申请实施例提供的按压手柄的手柄主体的结构示意图；
[0029]图4是本申请实施例提供的按压手柄的转轴的结构示意图；
[0030]图5是本申请另一实施例提供的按压手柄的滚筒的结构示意图。
具体实施方式
[0031]为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下部将结合附图对本申请实施例方式作进一步地详细描述。
[0032]下部的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本申请相一致的所有实施方式。相反，它们仅是如所附权利要求书中所详述的、本申请的一些方部相一致的装置和方法的例子。
[0033]在本申请的描述中，需要理解的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种按压手柄，其特征在于，所述按压手柄应用于刻蚀设备，所述刻蚀设备包括设备主体和密封部，所述设备主体具有安装槽，所述按压手柄用于将所述密封部按压于所述安装槽；所述按压手柄包括：手柄主体；至少一个连接部，所述连接部与所述手柄主体为一体成型结构，且所述连接部与所述手柄主体之间形成安装区间；及滚动体，所述滚动体位于所述安装区间且与所述连接部转动连接。2.根据权利要求1所述的按压手柄，其特征在于，所述手柄主体背离所述连接部的一端表面为平面。3.根据权利要求1所述的按压手柄，其特征在于，所述连接部的数量为两个，两个所述连接部间隔设置且与所述手柄主体之间共同形成所述安装区间。4.根据权利要求3所述的按压手柄，其特征在于，所述滚动体包括：转轴，所述转轴位于两个所述连接部之间且固定于至少一个所述连接部；滚筒，所述滚筒套设于所述转轴上且可在所述转轴上转动。5.根据权利要求4所述的按压手柄，其特征在于，每个所述连接部均设置有第一安装孔、及与第一安装孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：王璐璐，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：