一种搬运夹具及搬运机器人制造技术

本实用新型专利技术公开一种搬运夹具及搬运机器人，涉及夹具技术领域。所述搬运夹具包括基座、非金属夹持部件和驱动部件，驱动部件与非金属夹持部件设置在基座上，非金属夹持部件与驱动部件传动连接，非金属夹持部件的内侧设置有用于感应工件夹取到位的探测器，在驱动部件的驱动下非金属夹持部件具有用于夹取工件的夹持状态和用于放置工件的释放状态。本实用新型专利技术提供的非金属夹持部件可以保证在夹取过程不会由于刚性接触对工件造成损伤，当夹取工件时，驱动部件驱使非金属夹持部件夹紧工件，也不会产生金属污染；夹取过程通过探测器感知工件是否到位，确保非金属夹持部件的每次运行，都能准确的夹取工件，避免夹取不到位或抓空，提高了工作效率。了工作效率。了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种搬运夹具及搬运机器人


[0001]本技术涉及夹具
，尤其涉及一种搬运夹具及搬运机器人。

技术介绍

[0002]晶圆具有厚度薄、重量轻、脆性大且对环境洁净等特点，为了降低晶圆被污染的风险，晶圆一般存放于晶圆盒内并通过晶圆盒实现搬运。由于晶圆的厚度非常薄，有些薄化晶圆的厚度甚至100μm以下，极易受损。传统机器搬运时，不能判断是否工件到位，或由于金属夹具的刚性接触，造成力度过大损伤工件或产生金属污染等问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种搬运夹具及搬运机器人，用于稳定安全的搬运工件。
[0004]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]第一方面，本技术公开了一种搬运夹具，包括：
[0006]基座、非金属夹持部件和驱动部件，所述驱动部件与所述非金属夹持部件设置在所述基座上，所述非金属夹持部件与所述驱动部件传动连接，所述非金属夹持部件的内侧设置有用于感应工件夹取到位的探测器，在所述驱动部件的驱动下所述非金属夹持部件具有用于夹取工件的夹持状态和用于放置工件的释放状态。
[0007]与现有技术相比，本技术提供的非金属夹持部件可以保证在夹取过程不会由于刚性接触对工件造成损伤，当夹取工件时，驱动部件驱使非金属夹持部件夹紧工件，也不会产生金属污染；夹取过程通过探测器感知工件是否到位，确保非金属夹持部件的每次运行，都能准确的夹取工件，避免夹取不到位或抓空，提高了工作效率。
[0008]在一种实现方式中，所述非金属夹持部件包括：
[0009]第一夹爪，所述第一夹爪的连接端活动连接在所述基座的一侧；
[0010]第二夹爪，对称设置在所述基座的与所述第一夹爪相对的另一侧，所述第一夹爪与所述第二夹爪在所述驱动部件的驱使下同时靠近或远离。
[0011]在一种实现方式中，所述第一夹爪及所述第二夹爪的自由端均向内侧弯折形成插接部，用于与待夹持工件两侧端插接配合。
[0012]采用上述方案的有益效果，可针对具有凹槽的工件进行插接配合，提高夹取的稳定程度和可靠性。
[0013]在一种实现方式中，所述驱动部件设置在所述基座的内侧，包括：
[0014]伺服转台，所述伺服转台可转动连接在所述基座的内侧，所述伺服转台的同一圆周线上相对设置有第一连接轴和第二连接轴；
[0015]第一连杆，所述第一连杆的一端与所述第一连接轴转动连接，所述第一连杆的另一端与所述第一夹爪活动连接；
[0016]第二连杆，所述第二连杆与所述第一连杆相互平行，所述第二连杆的一端与所述
第二连接轴转动连接，所述第二连杆的另一端与所述第二夹爪活动连接。
[0017]采用上述方案的有益效果，通过采用伺服转台及连杆的驱动方式，将传统直线驱动方式转化为圆周运动的驱动方式，相对于传统采用气缸、液压缸或电动螺杆的直线驱动方式，精简了结构，减小了体积，且基座的外侧可以直接连接机械臂或其他驱动设备。
[0018]在一种实现方式中，所述第一夹爪靠近所述连接端设置有垂直于所述第一连杆的第一滑杆，所述第一连杆远离所述第一连接轴的一端套设在所述第一滑杆上，在所述伺服转台转动的过程中，所述第一连杆沿所述第一滑杆的长度方向往复运动；
[0019]所述第二夹爪靠近所述连接端设置有垂直于所述第二连杆的第二滑杆，所述第二连杆远离所述第二连接轴的一端套设在所述第二滑杆上，在所述伺服转台转动的过程中，所述第二连杆沿所述第二滑杆的长度方向往复运动。
[0020]采用上述方案的有益效果，第一滑杆或第二滑杆既受到来自第一连杆或第二连杆的拉力或推力，以驱动第一夹爪或第二夹爪；同时第一滑杆或第二滑杆起到限位的作用，伺服转台转动使第一连杆或第二连杆从所在的第一连杆或第二连杆的一端滑到另一端的过程，即可实现第一夹爪或第二夹爪的张开或收拢。
[0021]在一种实现方式中，所述第一滑杆与所述第二滑杆的长度均等于第一连接轴与第二连接轴之间的间距。
[0022]采用上述方案的有益效果，第一滑杆与第二滑杆的长度起到限位的作用，当第一连杆或第二连杆沿其所在的滑杆从一端走到另一端，此时伺服转台沿顺时针或逆时针方向仅能旋转180
°
，两个夹爪具有最大张开角度。
[0023]在一种实现方式中，还包括视觉机构，所述视觉机构设置在所述基座上，与所述伺服转台通信连接，用于获取待夹取工件的位置信息。
[0024]采用上述方案的有益效果，通过视觉机构，可以准确定位工件所在位置，对工件精准定位。
[0025]在一种实现方式中，所述视觉机构包括工业相机、相机固定件和辅助光源；所述工业相机通过相机固定件与所述基座固定连接，所述辅助光源位于所述工业相机的两侧，且所述工业相机的拍摄方向与所述光源的出光方向一致。
[0026]在一种实现方式中，所述探测器为漫反射式光电传感器或光耦合器或超声波传感器。
[0027]第二方面，本技术公开了一种搬运机器人，包括机械臂和搬运夹具，所述搬运夹具为第一方面所描述的搬运夹具。
[0028]采用该方案的搬运机器人所具有的效果，与第一方面所描述的夹具的效果相同，在此不再赘述。
附图说明
[0029]此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。
[0030]图1为本技术提供的一种搬运夹具的俯视图；
[0031]图2为本技术提供的一种搬运夹具的结构示意图；
[0032]图3为本技术提供的一种搬运夹具内侧结构示意图；
[0033]图4为本技术提供的一种搬运夹具的驱动结构示意图；
[0034]图5为本技术提供的一种搬运夹具工作状态示意图。
[0035]图中：
[0036]1‑
基座；2
‑
驱动部件；3
‑
探测器；4
‑
第一夹爪；5
‑
第二夹爪；21
‑
伺服转台；22
‑
第一连杆；23
‑
第二连杆；211
‑
第一连接轴；212
‑
第二连接轴；41
‑
第一滑杆；51
‑
第二滑杆；6
‑
视觉机构；61
‑
工业相机；62
‑
相机固定件；63
‑
辅助光源。
具体实施方式
[0037]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0038]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种搬运夹具，其特征在于，包括：基座、非金属夹持部件和驱动部件，所述驱动部件与所述非金属夹持部件设置在所述基座上，所述非金属夹持部件与所述驱动部件传动连接，所述非金属夹持部件设置有用于感应工件夹取到位的探测器，在所述驱动部件的驱动下所述非金属夹持部件具有用于夹取工件的夹持状态和放置工件的释放状态。2.根据权利要求1所述的搬运夹具，其特征在于，所述非金属夹持部件包括：第一夹爪，所述第一夹爪的连接端活动连接在所述基座的一侧；第二夹爪，对称设置在所述基座的与所述第一夹爪相对的另一侧，所述第一夹爪与所述第二夹爪在所述驱动部件的驱使下同时靠近或远离。3.根据权利要求2所述的搬运夹具，其特征在于，所述第一夹爪及所述第二夹爪的自由端均向内侧弯折形成插接部，用于与待夹持工件两侧端插接配合。4.根据权利要求2所述的搬运夹具，其特征在于，所述驱动部件设置在所述基座的内侧，包括：伺服转台，所述伺服转台可转动连接在所述基座的内侧，所述伺服转台的同一圆周线上相对设置有第一连接轴和第二连接轴；第一连杆，所述第一连杆的一端与所述第一连接轴转动连接，所述第一连杆的另一端与所述第一夹爪活动连接；第二连杆，所述第二连杆与所述第一连杆相互平行，所述第二连杆的一端与所述第二连接轴转动连接，所述第二连杆的另一端与所述第二夹爪活动连接。5.根据权利要求4所述的搬运夹具，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟勇，李海全，张泉伟，韦增辉，
申请(专利权)人：广东长虹智能制造技术有限公司，
类型：新型
国别省市：