一种搬运机器人制造技术

本实用新型专利技术公开一种搬运机器人，涉及晶圆搬运技术领域。所述搬运机器人。包括机器人本体、机械臂和夹具，机器人本体上设置有承载台，承载台上设置有至少一个用于存放OC工件的容置区，且容置区内设置有防震装置；机械臂安装在机器人本体上；夹具安装在机械臂远离承载台的一端，夹具上设有视觉定位相机，用于获取OC工件的位置信息，夹具在机械臂的驱动下夹持OC工件放至容置区中或从容置区中将OC工件取出；本实用新型专利技术在使用时，一次可以转移多个OC工件，且具有缓冲防震效果，不仅提高了安全性，还提高了搬运的效率。提高了搬运的效率。提高了搬运的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种搬运机器人


[0001]本技术涉及晶圆搬运
，尤其涉及一种搬运机器人。

技术介绍

[0002]开放式晶圆盒(Open Cassette)，简称OC，用于装载及运送晶圆，由于晶圆的厚度非常薄，有些薄化晶圆的厚度甚至100μm以下，极易受损。现有搬运机器人搬运时，装卸和搬运效率低，每次只能搬运一个晶圆盒，而且晶圆盒易从夹持装置上滑脱跌落、进而导致晶圆盒和晶圆损坏的现象。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种搬运机器人，用于提高搬运效率。
[0004]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种搬运机器人，包括：
[0006]机器人本体，所述机器人本体上设置有承载台，所述承载台上设置有至少一个用于存放OC工件的容置区，且所述容置区内设置有防震装置；
[0007]机械臂，所述机械臂安装在所述机器人本体上；
[0008]夹具，所述夹具安装在所述机械臂远离所述承载台的一端，所述夹具上设有视觉定位相机，用于获取OC工件的位置信息，所述夹具在所述机械臂的驱动下夹持OC工件放至所述容置区中或从所述容置区中将OC工件取出。
[0009]与现有技术相比，本技术提供的搬运机器人通过在机器人本体的承载台上设置容置区存放工件，在使用时，通过机械臂将OC工件放在承载台上，使得搬运机器人一次可以转移多个OC工件，不仅提高了安全性，还提高了搬运的效率；进一步地，通过在容置区设置防震装置，使其具有缓冲效果，提高了对路面的适应程度，随着路面的起伏变化发生适应性的浮动保护OC工件不会与承载台硬性接触或碰撞，起到缓冲作用。
[0010]在一种实现方式中，所述机器人本体包括移动底盘和控制箱，所述承载台设置在所述移动底盘上，所述控制箱设置在所述承载台上，所述控制箱内设有与所述机械臂、所述夹具、所述移动底盘电连接的控制器，且所述控制箱一侧设置有触摸显示屏。采用上述技术方案的情况下，机器人本体通过移动底盘实现自由移动，灵活程度高，配合控制箱实现自动化搬运效果。
[0011]在一种实现方式中，所述承载台上还设有报警器，所述报警器与所述控制器电连接。
[0012]在一种实现方式中，所述移动底盘的四周还设置有安全组件，所述安全组件包括防撞条和压力传感器，所述压力传感器设置在所述防撞条中，并与所述控制器电连接。采用上述技术方案的情况下，在移动过程中，当防撞条与人员或障碍物相碰后内部压力传感器在受到一定的压力达到预设压力值时，控制器控制移动底盘停止运动或调整行进方向，有效保护了自身和周边设备安全。
[0013]在一种实现方式中，所述承载台还设有激光导航系统，所述激光导航系统包括多组激光测距传感器，分别设置在所述机器人本体的两侧，以及所述机器人本体的前后端。
[0014]在一种实现方式中，所述承载台沿移动方向的前后端还设置有超声波雷达。
[0015]采用上述技术方案的情况下，所述机器人本体通过超声波雷达和激光导航系统实现在行进区域内无障碍自主导航移动，安全承载OC工件移动至目标位置作业。
[0016]在一种实现方式中，所述防震装置包括多个弹性压杆，所述弹性压杆可伸缩的设置在所述容置区内，所述弹性压杆的顶端与所述OC工件的底部抵接。
[0017]在一种实现方式中，所述弹性压杆的顶部设置有插接块，用于当所述OC工件的底部设置有凹孔时与其插接配合。采用上述技术方案的情况下，
[0018]在一种实现方式中，所述容置区内还设置有探测器，用于检测容置区内是否装载有OC工件。采用上述技术方案的情况下，能及时获取容置区内是否装载有OC工件，从而判断可以快速判断哪个容置区里已经装载了OC工件，从而在装载或卸载时减少搬运动作，提高搬运效率。
[0019]在一种实现方式中，所述承载台的四周均设置有急停按钮，所述急停按钮与所述控制器电连接。如此设置，当激光测距传感器或机械臂故障时，可通过人工按下急停按钮，强制机器人本体或机械臂停止运行，避免发生意外事故。
附图说明
[0020]此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。
[0021]图1为本技术一种搬运机器人的结构示意图；
[0022]图2为本技术一种搬运机器人的容置区内防震装置的剖视图；
[0023]图3为本技术一种搬运机器人的容置区内防震装置的结构示意图。
[0024]图中：
[0025]1‑
机器人本体；2
‑
机械臂；3
‑
夹具；4
‑
防震装置；5
‑
探测器；6
‑
急停按钮；11
‑
承载台；111
‑
激光测距传感器；112
‑
超声波雷达；12
‑
移动底盘；121
‑
防撞条；13
‑
控制箱；31
‑
视觉定位相机；100
‑
OC工件；41
‑
弹性压杆。
具体实施方式
[0026]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0027]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0028]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性
或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0029]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种搬运机器人，其特征在于，包括：机器人本体，所述机器人本体上设置有承载台，所述承载台上设置有至少两个用于存放OC工件的容置区，且所述容置区内设有防震装置；机械臂，所述机械臂安装在所述机器人本体上；夹具，所述夹具安装在所述机械臂远离所述承载台的一端，所述夹具上设有视觉定位相机，用于获取OC工件的位置信息，所述夹具在所述机械臂的驱动下夹持OC工件放至所述容置区中或从所述容置区中将OC工件取出。2.根据权利要求1所述的搬运机器人，其特征在于，所述机器人本体包括移动底盘和控制箱，所述承载台设置在所述移动底盘上，所述控制箱设置在所述承载台上，所述控制箱内设有与所述机械臂、所述夹具、所述移动底盘电连接的控制器，且所述控制箱一侧设置有触摸显示屏。3.根据权利要求2所述的搬运机器人，其特征在于，所述承载台上还设有报警器，所述报警器与所述控制器电连接。4.根据权利要求2所述的搬运机器人，其特征在于，所述移动底盘的四周还设置有安全组件，所述安全组件包括防撞条和压力...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟勇，李海全，张泉伟，韦增辉，
申请(专利权)人：广东长虹智能制造技术有限公司，
类型：新型
国别省市：